激光扫描测微仪

激光扫描微表，名称：小头爸爸学本：20112411，激光扫描微表介绍，激光扫描大小测量是1972年Zygo公司发展的技术，随着科学技术的增加，激光扫描测量技术也有了很大发展。是一种通用的光电检测技术，精度高、速度快、不接触、自动化程度高。主要使用，激光扫描测微仪适用于直径、之间的缝和位置，尤其适用于热、辐射和脆性物体的测量和生产线的在线尺寸测量和控制应用。在实际应用中，漆包线、光纤生产和电缆外皮涂层等电缆生产应用也可用于轴类零件的测量和过滤等质量控制。外径测量、外径和距离测量、宽度测量、边界位置测量、激光扫描测微仪可以在各种加工噪声下工作；能够适应实时数据处理和处理控制。利用基本原理、基本原理、激光束的方向和高能量密度的特性，通过面旋转镜光学扫描系统的光束扫描在测量区域形成“光幕”，测量对象在“光幕”中遮挡光线，生成“影子”，通过此“影子”的计时，将测量对象的空间尺寸或位置转换为电信号的时间序列，以及，优点、非接触、高精度和快速响应与成像方法、衍射方法相比，测量范围、高分辨率、原理和性能分析，面旋转镜以由扫描马达驱动的恒定角速度旋转，扫描光束通过K-Theta镜头后形成以恒定线速度扫描的平行光束。该部分是激光扫描测微仪的关键技术之一，直接确定测量区域扫描光束的线速度v的稳定性、光束的平行和准直特性，同时确定仪器的测量精度。原理和性能分析、扫描电动机的速度稳定性、轴向和径向跳动以及面旋转镜的面形误差影响扫描光束的线速度v的跳动，确定仪器的重复性和稳定性。k-theta镜头将以等轴测速度扫描的光束转换为以等轴测线速度扫描的平行光束。该光束不仅决定了扫描线速度v随垂直位置变化的特性，还决定了仪器的线性指标，影响了扫描光束的平行和准直特性，确定了仪器的水平测量有效范围指标。光学系统分析、激光扫描微表系统图、激光扫描微表光学扫描系统由激光系统、面旋转镜和K-Theta镜头组成的半导体激光作为系统光源，为仪器提供稳定亮度的准细光束面旋转镜由扫描马达驱动，以恒定角速度的K-Theta镜头将均匀速度扫描的光束转换为均匀线速度扫描的平行光束，光学扫描系统、激光扫描微，面旋转由恒定角速度旋转，面旋转由n个镜子组成，电机速度为n(rpm)，扫描角速度束对扫描频率旋转计角速度束的扫描线速度，K-Theta镜头光路，K-Theta镜头分析，K-Theta镜头分析，K-Theta镜头分析具有外部光圈光杆，放置在物镜的前焦点上，构成矩形中心系统，有助于减小扫描仪大小和提高动态特性。扫描高度h与扫描角度和镜头焦距f的乘积成正比。此特性成为K-Theta特性，K-Theta特性通过恒定角速度扫描仪反射的光，通过镜头的均匀线性速度，1是正常扭曲校正镜头。2是k-theta镜头。3是f-theta镜头。4是傅里叶透镜。，H=kf，v=dHdt=2，ks 透镜结构形式，ks 透镜的光路是具有一定扫描视角的小相对孔径的测深系统，如上图所示。K透镜基本上是光热球差具有一定光热辉差的透镜。如果以光热作为水面，以光热作为水面，这通常消除了骨差，但一定的辉差，也就是脱离正弦条件的透镜。选择双分离结构，引入必要的光热辉差，增加双分离正负透镜的间距，适当控制R2，R3值，以满足我们的使用要求。误差源，对准误差：测量外径时扫描线和圆柱表面的非垂直运动误差：物体测量运动时引入了一个运动分量和扫描方向一致的误差激光漂移：光斑形状，光束方向变化，振幅噪声。机械错误：应力、振动等。错误源、电子部件错误：光学扫描系统错误，包括时钟精度和信号处理电路中的错误：K-Theta镜头异常、扫描电机的速度稳定性和跳动、全面旋转镜几何误差以上列出的错误源中，对仪器测量的影响最大的是光学扫描系统错误，其中K-Theta镜头理想引起的非线性错误是主要错误。发展方向，激光光源：最初通常使用He-Ne激光器，体积大，不易集成。半导体激光技术发展，可以大大减少体积。扫描电动机：同步电动机的初步使用，微电子和控制技术的发展，目前扫描电动机一般采用无刷直流电动机，具有PLL控制、长电机寿命、小尺寸、高控制精度。发展方向，光学系统：光学材料和光学加工技术和技术的发展，特别是