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文档简介
1、（七）（七） 固体电解质氧所传感器固体电解质氧所传感器 3、对湿敏传感器的基本要求、对湿敏传感器的基本要求（1）能满足所要求的湿度测量范围，且响应迅速）能满足所要求的湿度测量范围，且响应迅速（2）在各气体环境中特性稳定。）在各气体环境中特性稳定。（3）受温度的影响小，能在）受温度的影响小，能在-301000C的环境的环境温度中使用。温度中使用。（4）不受尘埃附着的影响。）不受尘埃附着的影响。（5）工作可靠。互换性好，使用寿命长。）工作可靠。互换性好，使用寿命长。（6）制造简单，价格便宜。）制造简单，价格便宜。 4、金属氧化物膜湿敏传感器、金属氧化物膜湿敏传感器 利用三氧化二铁（利用三氧化二铁（
2、Fe2O3）、四氧化三铁）、四氧化三铁 （Fe3O4）、三氧化二铝（）、三氧化二铝（Al2o3）、三氧化二镁）、三氧化二镁 （Mg2O3）、氧化锌（）、氧化锌（ZnO）及）及 二氧化钛（二氧化钛（TiO2）等金属氧化物）等金属氧化物 可以研制出多种金属氧化物膜湿可以研制出多种金属氧化物膜湿 敏传感器。其结构如图敏传感器。其结构如图1337 （a）所示。）所示。 （3）ZnO-Cr2O3陶瓷湿陶瓷湿 敏传感器敏传感器其结构如图其结构如图1343所示。所示。 4、微波水分传感器、微波水分传感器微波水分传感器是利用微波在水蒸汽的空气中传播，微波水分传感器是利用微波在水蒸汽的空气中传播，水汽吸收微波使其产生损耗而制成的。水
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