扩散卡槽印分析报告

1、 扩散卡槽印分析报告技术部 王永伟/张洪栋 2014.4.24原因分析原因确认以及措施小结及后续计划目录目录卡槽印1.制绒后未吹干、或存在酸碱残留2.石英舟较脏3.集液瓶液位超过1/34.尾气管堵塞或尾排抽风关闭5. 炉口偏磷酸较多6.石英舟洗后未吹干就饱和、或酸洗后未经水洗就吹干饱和7.洗舟后未饱和或饱和不彻底（未饱和结束就跳步退出）等原因分析原因分析 1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留： 取4片制绒下料后的片子，上面重新喷淋碱液后吹干，如右图所示，为避免对其它硅片污染，单独在扩散1线 1-1管做片。碱液喷淋碱液喷淋后未经酸洗和水洗直接吹干原因确认以及措施 1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留

2、： 扩散后烧焦，且在卡槽处留有卡槽印并污染石英舟如右上图所示，将污染的石英舟继续做18片实验片，出现大量轻微卡槽印的片子，如右下图所示。 确认：药液残留会导致卡槽印。卡槽处留有卡槽印，并对石英舟造成污染，污染的石英舟继续做片将会产生大量轻微卡槽印污染污染的石英舟继续做片产生大量轻微卡槽印污染的石英舟继续做片产生大量轻微卡槽印原因确认以及措施 1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留： 选取制绒3线10pcs未吹干并带有水珠的硅片，如右下图所示。原因确认以及措施 1. 制绒后未吹干、或存在酸碱残留： 由于制绒后未吹干程度不同，扩散后有8pcs存在轻微卡槽印，非扩散面边缘存在不同程度的发暗情况，如图所示

3、： 确认：不同程度的制绒下料未吹干会造成部分卡槽印。 措施：严格控制制绒下料和酸碱槽吹干情况，下料有未吹干的片子必须返工处理，酸碱槽发现未吹干及时通知工艺调试。非扩散面边缘暗原因确认以及措施 2. 石英舟较脏： 4月22日2-4管扩散后的两个石英舟均出现大量不同程度卡槽印，如右图所示：大量轻微卡槽印大量轻微卡槽印原因确认以及措施 2. 石英舟较脏： 观察石英舟发现较脏，硅粉较多，如图所示，放在其他炉管试片后也是出现很多卡槽印。原因确认以及措施 2. 石英舟较脏： 确认：石英舟较脏，特别是卡槽处硅粉较多时会污染电池片，产生卡槽印。 措施：要求扩散生产人员每天清洗4个较脏石英舟并做吹干和饱和，由当

4、班工艺 确认签字。原因确认以及措施 3. 集液瓶液位超过1/3： 4月2日发现1-4管炉口持续出现卡槽印的片子，更换不同石英舟同样炉口出有约20pcs卡槽印的片子，观察积液瓶发现集液瓶的液位超过1/3，如图所示，清理集液瓶后生产。集液瓶液位过高，酸气通过尾气管直通炉口，污染炉口电池片原因确认以及措施 3. 集液瓶液位超过1/3： 扩散后炉口卡槽印消失，继续跟踪几管无异常。 确认：集液瓶液位过高会产生部分卡槽印。 措施：生产负责检查集液瓶集液情况，液位超过1/3就必须更换，更换后由设备人员安装，当班工艺负责监督 。集液瓶清理后原因确认以及措施 4.尾气管堵塞或尾排抽风关闭： 4月8日2-1管连续

5、出现炉口卡槽印的片子，将尾排抽风开大观察压力值无变化。尾排开关任意调整，压力显示无变化原因确认以及措施 4. 尾气管堵塞或尾排抽风关闭： 和设备一起检查，发现尾气管堵塞，如图所示：堵塞尾气管尾气管原因确认以及措施 4. 尾气管堵塞或尾排抽风关闭： 更换新的尾气管并开启尾排抽风生产，卡槽印消失，将尾排抽风关闭做片，出片炉口有约20pcs卡槽印。 确认：说明尾排堵塞或抽风关闭，炉口会出现卡槽印。 措施：在各项指标（方阻、外观等）正常的情况下，尽量将所有炉管的抽风都开启。原因确认以及措施5. 炉口偏磷酸较多： 右图为4-6管，炉口和炉门偏磷 酸较多。炉口和炉门有大量偏磷酸，酸气污染炉口电池片原因确认

6、以及措施 5. 炉口偏磷酸较多 4-6管做的电池片扩散后常出现炉口轻微卡槽印的情况，如右图所示： 确认：炉口偏磷酸偏多影响卡槽印 5.措施：安排每周清洗3个石英管，优先清洗炉口偏磷酸多的炉管，尽快将所有炉管清洗一遍，结合保压测试，将保压测试合格的炉管尾排抽风打开，减少炉口偏磷酸的形成。原因确认以及措施6. 石英舟洗后未吹干就饱和、或酸洗后未经水洗就吹干饱和：取酸洗后的石英舟，未经水洗，测试其表面pH值，呈强酸性，如右图所示：吹干后饱和，饱和后正常工艺生产18片试片。石英舟表面液体呈酸性原因确认以及措施6. 石英舟洗后未吹干就饱和、或酸洗后未经水洗就吹干饱和：扩散后18片中有8pcs卡槽印的片子

7、，其余扩散面发黄。确认：石英舟洗后未吹干或酸洗后未经水洗就吹干饱和会产生卡槽印措施：生产人员洗舟并吹干后必须通知当班工艺确认并签字。扩散面边缘发黄原因确认以及措施7.洗舟后未饱和或饱和不彻底（未饱和结束就跳步退出）等取洗后的两个石英舟确认已经洗干净并无酸残留，如右图所示，吹干后，1号石英舟不饱和直接做12片实验片。正常洗舟后吹干前石英舟表面液体呈中性或弱酸性原因确认以及措施7.洗舟后未饱和或饱和不彻底（未饱和结束就跳步退出）等：扩散后1号石英舟上的12片均有卡槽印，如右图所示：2号石英舟饱和后中途跳步退出（共7步工艺，运行到第5步时跳步退出），然后同样做12片实验片，扩散后有1pcs卡槽印，其

8、余正常，如右下图所示。确认：洗舟后未饱和或饱和不彻底（未饱和结束就跳步退出）会产生卡槽印措施：对于已清洗石英舟的饱和要有当班工艺确认，饱和时间严格控制，不得私自跳步或不饱和直接用于生产。卡槽印原因确认以及措施小结扩散后卡槽印产生的原因主要有：1.制绒后未吹干、或存在酸碱残留；2.石英舟较脏；3.集液瓶液位超过1/3；4.尾气管堵塞或为排抽风关闭；5炉口偏磷酸较多；6.石英舟清洗后未吹干就饱和或酸洗后未经水洗就吹干饱和；7.洗舟后未饱和或饱和不彻底（未饱和结束就跳步退出）等。小结及后续计划后续计划1.对所有炉管的大小饱和工艺进行统一检查和调整；2.所有扩散炉管的清洗按照每周清洗3个正常进行，优先拆洗污染严重的；3.石英舟的清洗：清洗后的石英舟必须吹干，特别是卡槽处尤其重点吹干，此 类情况要由当班