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文档简介
1、透射电镜成像原理及透射电镜成像原理及H-800H-800操作操作透射电镜的构造电子光学系统电子光学系统w照明系统照明系统电子枪电子枪 双聚光镜双聚光镜: 第一级聚光镜是短焦距强磁透镜,以缩小后焦面上的光斑;第二级聚光镜减少照明孔径角,以得到接近平行光轴的电子束,提高分辨率w成像系统成像系统物镜物镜: 电镜的”心脏”中间镜中间镜: 改变放大倍数;选择成像或衍射模式投影镜投影镜: 接力放大图像;因孔径角小使景深大 , 焦深长w观察和照相系统观察和照相系统真空和供电系统真空和供电系统灯丝 栅极 阳级 枪倾斜 枪平移 一级聚光镜 二级聚光镜 聚光镜光栏 光倾斜 光平移 试样架 物镜 物镜光栏 选区光栏
2、 中间镜 投影镜 荧光屏透射电镜的合轴与工作方式透射电镜的合轴与工作方式w操作之一(合轴)合轴的目的 合轴是一种操作,即通过机械和电参数的调整,使电子光学系统中的电子枪,各组透镜,荧光屏的中心在同一轴线上.合轴的操作要领查明各类不合轴现象采取针对性的合轴操作序号不合轴的类型合轴操作1电子枪倾斜未合轴集中光斑,灯丝欠饱和,显示灯丝像;调枪倾斜钮,使灯丝像对称;恢复灯丝电流的饱和状态 2聚光镜光栏不对中用聚光镜钮收缩光斑,用光平移将光斑移到荧光屏中心;用聚光镜钮放大光斑,调光栏位置,使光斑对中;反复上述操作,使两者同心变化为止。 3电子枪平移未合轴现象选用小尺寸光斑,用聚光镜钮收缩光斑,用光平移将
3、光斑移到荧光屏中心;选用大尺寸光斑,用聚光镜钮收缩光斑,调枪平移钮,使光斑再对中;反复上述操作,使两者同心变化为止。4光平移不对中现象用光平移将光斑移到荧光屏中心5电压中心不对中现象开启电压中心调节钮,像开始抖动;调正光倾斜钮,使抖动中心移向荧光屏中心;关闭电压中心调节钮操作之二(明场像BF)w操作之二(明场像BF)电子束平行于电镜中轴,垂直射入试样电子束在物镜后焦面上w操作之三(暗场像DF)移动光栏暗场像中心暗场像(CDF)弱束暗场像(WBDF)移动光栏暗场像移动光栏暗场像移动光栏暗场像像的特征像的特征:光不在轴中心光不在轴中心, 成像质量差成像质量差应用应用: 识别复合衍射谱识别复合衍射谱实例3 (孪晶)可确认为:BCC结构112孪晶中心暗场像中心暗场像(CDF)CDF像的特征: 光在轴中心,成像质量好CDF 操作: 产生选区衍射倾转试样使有兴趣的斑点变亮使束进行倾斜,使有兴趣的衍射在荧光屏中心套住中心衍射斑成像弱束暗场像(WBDF)wWB
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