MSDS 培训(特气部分)

1、 特种气体部分设备运行部：陈波设备运行部：陈波FAB区域各设备所需气体lCVD: CVD: SiH4、NH3、NF3、N2O、O2、He、Ar、H2lRIE: RIE: SF6、CL2、O2、Ar、CF4lELA: ELA: NE、HCL、XE、O2l 蒸度蒸度: : H2N2、O2、ArlDry Remove : Dry Remove : H2、O2、Ar 、He 、CF4lALMOAL : ALMOAL : Kr、Ar lCDE : CDE : O2、He 、CF4lION doping : ION doping : ArlSPC : SPC : ArlITO : ITO : Ar 、O2

2、lIPIP：B2H6易燃、易爆SiH4、NH3 、H2 、 20%PH3/H2 、10%B2H6 SIH4性状：SIH4为无色有窒息性味道的高压气体，其在空气中的比重为1.2（air=1）。有自燃的特性，其爆炸的范围为1.4%96%。时量平均容许浓度（TWA）：5PPM毒性：硅烷的毒性为急性、局部性。危险性：在空气中会自燃，爆炸，无需引火点。SIH4若发生泄漏，则可能燃烧或爆炸，其燃烧的副产物，sio2会对眼睛，呼吸道及皮肤产生刺激，仍要避免不必要的接触钢瓶储存温度不可高于125 (52)、热源、明火和火花。可能与空气和氧化剂形成爆炸性混合物。NH3性状：无色，有刺激性恶臭的气体。在适当压力下

3、可液化成液氨，同时放出大量热。当压力减低时，则气化而逸出，同时吸收周围大量热。有毒，空气中最大允许浓度为50ppm。本品易溶于水、乙醇和乙醚，水溶液呈碱性。毒性：不管是在气体状态还是在水溶液状态，都象碱那样起作用。根据浓度的不同，其作用也就不同。其刺激缓慢，到对于鼻、喉、肺、眼的敏感的覆膜产生强烈的刺激。在氨蒸气浓度超过700ppm以上的浓度中受害半小时以上，则眼睛就要引起不治的伤害。如吸入600010000ppm的氨污染空气，就会产生急剧的痉孪及喉头炎症等暴卒死去。如泄漏到大气中，即使浓度相当低，也能够通过刺鼻的臭气来检测。由于氨蒸气对水的溶解度很高，所以要刺激湿的皮肤表面。危险性：受到猛烈

4、撞击使钢瓶受到损伤时，气体外逸会危及人畜健康与生命。遇水则变为腐蚀性氨水，受热后瓶内压力增大。空气中氨蒸气浓度达15.727.4%时，遇火星会引起燃烧爆炸。有油类存在时，更增加燃烧危险。20%PH3/H2性状：无色气体，剧毒。空气中含有0.01毫克/升时，吸入即中毒。能溶于乙醇、乙醚，微溶于冷水，不溶于热水。极易燃烧。是一种较强的还原剂。平时制得的PH3中因含有少数的二磷化四氢，在空气中能自燃。毒性：急性中毒表现为中枢神经受害，引起厉害的痉挛，并伴有呼吸困难、血压下降、呕吐、腹泻、衰弱和发抖。很多场合与食物中毒症兆相似，常常诊断错误。慢性中毒时，将产生抗胆硷脂酶那样的中枢神经系统反应，并伴有牙

5、痛、下巴浮肿及下颚坏等。征兆有：胸部郁闷、头痛、眼花（发晕）、食欲不振，容易自然骨折、体重减轻、不安以及疲劳、贫血、干渴。在空气中最大允许浓度为0.3ppm。危险性：能自燃，受高热分解放出有毒的PO4气体。遇氧化剂发生强烈反应。遇火种立即燃烧爆炸。灭火时应戴防毒面具 H2性状：无色无味的压缩气体。毒性：无毒；只造成窒息、人体会因急速缺氧造成受伤甚至死亡。应该注意超过其空气中爆炸下限（既浓度超过），会造成缺氧及爆炸性的危害。中等浓度吸入造成晕眩、头痛、反胃、呕吐、意识不清。危险性：燃烧时发出肉眼难见的淡蓝色火焰，氢气极仪易点燃，即使是静电火花也会产生燃烧爆炸。曝露于高热或火焰时，钢瓶内压力会上升

6、，大部分的钢瓶皆被设计可由钢瓶阀的破裂片释放高压气体。如果破裂片失效，可能导致爆炸。毒性、腐蚀性CL2 、 HCL、 NH3、NF3 、10%B2H6 、 20%PH3/H2 CL2性状：黄绿色有刺激性气体。液化后为黄绿色透明液体。有剧毒，空气中最大容许浓度为1ppm。易溶于水和碱溶液。常温时加压到6-8大气压或在大气压下冷至-3540可液化。危险性：在日光下与易燃气体混合时会发生燃烧爆炸。气体外泄时会使人畜中毒，甚至死亡。对支气管及肺脏有刺激作用，并导致支气管炎、肺气肿、肺炎等严重疾病。受高热时瓶内压力增大，危险性增加，本身虽不燃，但有助燃性。HCL性状: 是腐蚀性气体,易溶解于水、乙醇、乙

7、醚，能和多数金属反应，生成氯化物和氢气，与氟起激烈反应。空气中容许浓度为5ppm。毒性：如吸入就要刺激眼、气管、喉、鼻的粘膜并咳嗽。在35ppm中被侵害不久，就刺激喉咙；到了50100ppm浓度时，还能忍耐1小时；在350ppm浓度时，浸害10分钟，喉及胸就疼痛，同时呼吸困难；在此以上浓度时，就要肺气肿，常常产生喉头痉缩。在10002000ppm浓度时，就有生命危险。盐酸雾的有毒作用比氯化氢少，这是因为它不象氯化氢那样有加水分解作用。作为紧急处理，轻度的情况下为气管发炎程度，一般要进行吸氧。急性中毒时，要将昏倒的患者移到空气新鲜并且暖和的地方。停止呼吸时，要进行人工呼吸，并火速去叫医生。患者要

8、放在舒适暖和的环境，但不要过热。在适当进行吸氧时，不必要注射刺激剂。10%B2H6性状：无色易燃剧毒气体，有不适的气味，易水解，能溶于二硫化碳。空气中最大容许浓度为0.1ppm。毒性：遇火种极易燃烧。受热和遇碱均分解产生硼和氢。一吸入硼烷，肺部就要受到侵害，肾脏、肝脏就会患病。如接触到皮肤，就会引起皮肤炎。慢性中毒的症状是：如受到硼烷的侵害，一时会出现浑身发冷、咳嗽、胸部压迫等症状。灭火时切忌用水及泡沫 NF3性状：无色，无嗅有毒腐蚀气体，有时浓度很低的不纯气体会有刺鼻的霉味。 毒性：急性暴露会降低血液的携氧能力。短期急性暴露在NF3中会使血红素转变为高铁血红蛋白，从而使血红细胞不能运输氧气并

9、导致青紫。当短期暴露结束后，这个反应会向相反方向进行，生成血红素。暴露在高浓度的NF3中会破坏血红细胞(溶血症)。由于血液中的氧气减少会引起虚弱、眩晕和混乱。危险性：该气体会加强其它物质的燃烧。在火焰或热量的作用下，钢瓶会剧烈排空或爆炸。惰性lN2O、H2、O2、Ar 、He 、CF4、Kr、NE、XE、H2N2、SF6惰性气体惰性气体如在空气中的含量过高，会置换出空气中的氧气而引起窒息，暴露在氧气含量19.5%的大气中会导致头晕，昏迷，口水增多，反应迟钝，反胃，呕吐，失去意识和死亡。暴露在氧气含量12%的大气中会无任何先兆的失去知觉，并失去自我救护的能力。当气瓶处于高温或有火的环境中时，气瓶

10、内的压力会上升此时会通过泄压装置迅速排放，如泄压装置失灵会引起钢瓶剧烈爆炸。O2性状：无色无味的气体。氧是不可燃但助燃的物质。它是氧化性气体并可以急剧加速燃烧。氧气一定要远离油和油脂。危险性：氧能剧烈的加速燃烧。有些物质在空气中不会燃烧，但在含有超过23的氧的空气中就会燃烧。防火服在氧气含量过高的空气中也会燃烧，起不到任何保护作用。当氧气接触易燃物、油、油脂或其它碳氢化合物时会形成爆炸物质。当钢瓶暴露在高温或有火的环境中时由于热量的作用，钢瓶中的压力会升高，造成迅速排空或爆炸。多数钢瓶设有温度上升时的泄压装置。由于温度升高钢瓶内的压力迅速增大，如果泄压装置失灵会引起钢瓶爆炸。常用气体特性表英文

11、名称分子式中文名称钢瓶压力钢瓶接口瓶内毒腐燃双层管(psig)70CGA/DISS状态Hydrogen FluorineHF3氟化氢1450670/640气毒腐否否AmmoniaNH3氨气114.1660/720液毒腐燃否Nitric OxideNO一氧化碳2000660/728气毒否否需OxygenO2氧气2600540/714气否否否否OzoneO3臭氧- -/- 气毒否否否PhosphinePH3磷化氢(磷烷)593350/632液毒否燃需Phosphorus OxychloridePOCL3氯氧化磷-14.19N/A/N/A液毒腐否否Sulfur HexafluorideSF6六氟化硫

12、320590/716液否否否否Silicon TerachlorideSICL4四氯化硅-11N/A/636液毒腐否否Silicon TetrafluoridsSIF4四氟化硅1000330/642气毒否否否Dichlorosillane(DCS)SIH2CL2二氯二氢硅9.1678/636液毒腐燃否SilaneSIH4四氢化硅(硅烷)1000350/632气毒否燃需Trichlorosilane(TCS)SIHCL3三氯氢硅-4.7678/636液毒腐燃否Tungsten HexafluorideWF6六氟化钨2.4670/638液毒腐否否XxnonXe氙气970580/718气否否否否气体

13、反应表CH42CL203F2232GeH420230：No ReactionH2103301:Reaction PossibleH2O2012002:Strong Reaction possibleH2S20220003:Expiosion possibleHCL00020010HF210020120N2O1322320211NF302123212101NH3203310112222O21301330200003PH320330000223313SI2H6203300001233230SIF40112333111002033SIH420330000123323003SICL4012331310

14、222221033WF60200333200003033032BCL3CH4CL2F2GeH4H2H2OH2SHCLHFN2ONF3NH3O2PH3SI2H6SIF4SIH4SICL4气体泄漏的处理自我保护一、如闻到异味，尽量不要长时间待在该区域，请立即通知你的主管或安全员查证解决。二、如遇泄露报警，请尽快撤离该区域。三、如果吸入，应将吸入者转移到空气新鲜的地方；如果呼吸刺激持续，应就医。如果皮肤接触到（液态），立即用大量水冲洗皮肤15分钟，就医。如果进入眼睛，立即用大量水冲洗15分钟，立即就医。安全措施1.气体侦测系统2.VMB抽空3.气柜过流保护4.排风 化学品部分FAB区域各设备所需化学

15、品HMDS 0.5%显影液 光刻胶 隔离柱用光刻胶 TMAH (2.38%) N342 BHF306 ITO-刻蚀液HNO3/C2H4O2/H3PO4 1% HF 清洗剂 Thinner 去静电液 TEOSIPA 丙酮(ACETONE) 无水乙醇按类型分类n酸性n碱性n有机按有害性分类n腐蚀性n易燃易爆性n毒性等相关性n腐蚀性酸碱性n反应性氧化还原性n易燃易爆性闪点、自然温度、爆炸极限等化学品性质简介化学品性质简介磷酸磷酸英文名：英文名：PHOSPHORIC ACID分子式分子式：H3PO4 分子量：98.0性状：性状：无色透明柱状结晶或无色无臭的粘稠液体吸湿性强。理化常数：理化常数： 相对密

16、度：1.834（18） 熔点：41.5 蒸气压：3.8Pa（20） 相对密度：1.685（25） 凝固点：21.1 沸点：158 粘度：47.0C.P溶于水、醇和醚危险特性：危险特性：不燃，但遇金属会反应发出氢气，能与空气形成爆炸性混合物。强腐蚀性，特别是磷酸烟雾对眼睛粘膜，上呼吸道粘膜有刺激性炎症，吸入后引起咳嗽、气管、支气管炎。高浓度磷酸本身对皮肤的粘膜有刺激作用，与皮肤接触能引起腐蚀性灼伤，但腐蚀性不强。消防方法：消防方法：用水灭火，并用雾状水保持火场容器冷却。急救：急救：防止磷酸接触皮肤和溅入眼内，以免严重灼伤皮肤和腐蚀眼睛。应使患者脱离污染区，立即脱去衣物，用大量水冲洗皮肤和眼睛，皮

17、肤上再涂敷氧化镁甘油软膏如有灼伤送医院就救治。误服立即漱口、饮水及镁乳，急送医院救治。储运注意事项：储运注意事项：储存于阴凉通风处。严禁与碱类、有毒品及其他易腐蚀品共储混运。操作人员必须穿戴耐酸防护用品。泄漏处理：泄漏处理：对泄漏物处理需戴防毒面具与手套。污染地面上洒碳酸钠，用水冲洗，经稀释的污水放入废水系统。 氢氟酸氢氟酸分子式：分子式：HF 理化性质理化性质：是氟化氢40%的水溶液，极易挥发，露置空气中即冒白烟。危害特性：危害特性：极毒，有强烈的腐蚀性。除金、铂、铅、石蜡和塑料外，腐蚀大多金属物质，特别是硅极硅化和物反应生成的气态四氟化硅，故不能用玻璃及陶瓷作容器。常温下极易挥发出剧毒氟化

18、氢气体。触及皮肤极为疼痛，伤口触及皮肤极为疼痛，伤口愈合及慢并能腐烂指甲、骨头。愈合及慢并能腐烂指甲、骨头。消防方法消防方法：雾状水、泡沫。禁用柱状水，以防止飞溅伤人。急救：急救：应使吸入蒸气的患者脱离污染区，安置休息并保暖。眼睛受到刺激，用水冲洗并就医诊治。皮肤接触先用水冲洗再涂敷氧化镁甘油软膏。 严重的须就医诊治。误服立即漱口、饮水及镁乳，急送医院救治（不应使用催吐方法）。 醋酸醋酸别名：别名：醋酸；冰醋酸分子式分子式：CH3COOH性状：性状：无色透明易燃液体。有刺激性酸味。溶于水、乙醇、甘油、不溶于二硫化碳，与醇酯起化学反应。危害特性：危害特性：吸入本品蒸汽对鼻，喉和呼吸道有刺激性，对

19、眼有强烈刺激作用。皮肤接触，轻者出现红斑，重者引起化学灼伤。慢性影响：眼睛水肿，结膜充血、慢性咽喉炎和支气管炎。长期反复接触，可导致皮肤干燥，脱脂和皮炎。紧急处理：紧急处理：如果皮肤接触立刻脱去被污染的衣着，用大量的流动清水冲洗，至少15分钟；如果眼睛接触，立即在洗眼器上用大量的水冲洗至少15分钟。就医。灭火方法：灭火方法：用雾状水保持火场容器人却，用水喷射逸出液体，使其稀释成不燃烧性混合物，并用雾状水保护消防员。灭火剂：雾状水、干粉、二氧化碳。丙酮丙酮英文名：英文名：Acetone分子式分子式：C3H6O分子质量：分子质量：58.08性状性状: 无色透明易流动液体，有芳香气味，及易挥发。危害

20、和特性：危害和特性：C3H6O其蒸汽与空气可形成爆炸性混合物。遇明火，高热极易燃烧爆炸。与氧化剂能发生强烈反应其蒸汽气比空气重能在较低处扩散到很远处，遇明火会引着回燃。若遇高热，容器内压曾大，有爆炸的危险。C3H6O能吸入 食入 经皮肤吸入 如有以上会出现乏力 ，恶心 ，头痛头晕易激动，重者发生呕吐，气急，痉挛，甚至昏迷。对眼鼻喉有刺激有烧灼感。泄漏处理：泄漏处理：如有泄露：迅速撤离至安全区域，切断火源，应急人员处理时戴自给式呼吸器，穿消防服如小量泄露：请沙土或其他不然材料吸附或吸收。也可用大量的水稀释。灭火剂：灭火剂：用抗容性泡沫，二氧化碳，干粉，沙土。水无效。边胶清洗液组成：本品为丙二醇单

21、甲醚、醋酸丁酯的混合溶液。性状：本品为无色透明液体，溶于水，微有醚味。对中枢神经有抵制作用，吸入其蒸汽对眼睛及上呼吸道均有强烈刺激作用，且刺激肺泡黏膜，引起肺水肿和支气管炎。受热或遇到明火有燃烧爆炸危险，蒸汽能与空气形成爆炸混合物。灭火剂：泡沫、干粉、二氧化碳、沙土储存、搬运及使用注意事项： 储存：储存于阴凉、干燥处，严格避光，远离热源及火种，避开强氧化剂。 搬运：穿适宜防护服，穿戴防护镜，轻拿轻放。 使用：使用点要有适当通风，用后拧紧盖子。万一打翻泄漏，用干布、纸、木屑或活性炭吸掉，用水浸湿后丢到安全地带，对污染地点用肥皂水清洗。氟化铵 BHF 性质：液体、潮解性的无色晶状物，可溶于水。危险

22、、有害性：着火性、爆炸性：没有。腐蚀性：用温水进行分解，就成为氨与重氟化铵。如进行加热，就分解为氨和氟化氢，能腐蚀玻璃。对人体的影响：如摄取或吸入，则毒性很大。对眼睛、皮肤有强烈刺激。事故预防的要点：保管、处理：容器要盖严，保管在通气良好的低温场所，并装有换气装置。保护用具：作用手套、长靴、围裙、眼镜。应急处置：沾到皮肤上时：用大量的流水清洗，接受医生的处置。进入眼睛时：用大量的流水清洗，接受眼科医生的处置。吸入时：进行吸氧，立即接受医生的处置。铝腐蚀剂名称：磷酸、硝酸、乙酸的混合物性状：本品为磷酸、硝酸、乙酸与水一定比例的混合物，无色透明粘稠液体，略带酸味，具有强酸性，接触皮肤能使皮肤破损溃

23、烂，溅入眼内能刺激眼球，严重者失明。急救：皮肤接触本品液体应立即脱去衣物，用大量水冲洗，必要是用5%稀氨水浸泡，接触眼部应提起眼睑用清水冲洗，马上就医。乙醇 C2H5OH 性质：液体、无色、芳香、易溶于水。危险、有害性：着火性、爆炸性：在常温中散发着火性蒸气，容易着火。对人体的影响：如果喝下或吸入高浓度的蒸气，则要引起中毒。直接接触皮肤，有刺激作用。事故预防的要害（关键）：火源管理：严禁烟火。.4.2.7.3保管处理：将盖子盖严，保管在规定的低温场所，不要同高氯酸、过氧化钠、过氧化氢、铬酸、硝酸等氧化剂酸类保管在一起。简易探测：气体探测器。保护用具：根据需要，使用有机气体用防毒面具。应急处置：吸入蒸气时：带到新鲜空气的地方。进入眼睛时：用流水冲洗。灭火方法：使用粉末，二氧化碳灭火器。少量时可用注水灭火（浇水灭火）。显影液性质：液体、无色、有刺激味，不溶于水，比重为0.9，蒸气压为10mmHg（32）。危险、有害性：着火性、爆炸性：爆炸范围为邻二甲苯1-0.6%，由于二甲苯蒸气比空气重，滞留在低处所以容易形成爆炸性混合气体。对人体的影响：对眼睛、鼻子、咽喉有刺激作用，如反复接触皮肤，则要引起皮肤炎。如吸入高浓度的蒸气，应会处于麻醉状态，有死亡的危险。事故预防的要害（关键）：火源管理：严禁烟火，电气设备必须为防爆结构。保管、处理：容器要盖严，保管在低温场所，