蓝光LED光子晶体技术原理及制程详解

1、蓝光LED光子晶体技术原理及制程详解为回避日亚化学的蓝光LED 加萤光粉制技术专利，各业者纷纷投入其它能达到散发出白光的LED 技术，目前最被期待的技术是利用UV LED 来达到白光的目的，但是，UV LED 仍旧有著光外漏及低亮度两个不易克服的困难。使得除了继续努力来解决相关的问题外，不得不再去寻求其它的材料或技术来达到散发出白光的LED 技术。    在1987 年，国籍相异且分居不同地点的两位学者，Eli Yablonovitch 与Sajeev John 几乎同一时间在理论上发现，电磁波在周期性介电质中的传播状态具有频带结构，利用两种以上不同折射率(或介电

2、常数)材料做周期性变化来达成光子能带的物质。所以光子晶体(PhotonicCrystal)被发现已将近20 年后的今天，在各领域的应用有著相当令人激赏的表现，一直是备受研发者所关心的一项技术。    目前利用二次元光子晶体来达到完成白光LED 的技术，已陆续出现突破性的发展，使得未来Photonic Crystal LED 已成为众所瞩目的焦点与摆脱日亚化学专利的期望寄托。    1、光子晶体特性与结构    光子晶体随著波长不同，会出现于周期性的结构，可以分别发展出一次元、二次元及三次元的光子晶体。而在

3、这些结构当中，最出名的应该是属于三次元的光子晶体结构，但是，三次元的光子晶体在制造上及商品化，就今天的技术而言是非常困难的。原因是目前主要研究的领域还是保留在二次元的光子晶体，所以，今天在LED 领域各业者相竞开发的光子晶体LED，也是二次元的光子晶体。    一般的材料构造是属于固定构造，所以材料本身会具有的一定的折射率。波数(Wave Number)与频率对于一般材料折射率的影响，横轴是物质的波数(Wave Number)、纵轴是频率、斜线就代表折射率。折射率是非常等比例的成长，也就是代表说不管什么样的波数、什么样的波长，它的折射率都是一定的。那么光子晶体是什

4、么样的结构，再从另外一个角度来说明。光子晶体的特性就是周期构造，也因此会产生多重反射。    光子晶体所构成的波数矢量数和光的频率比例，频率的曲线不是那么单纯，曲线已经会变得非常复杂，这个曲线会随著光的多方向性，就是异向性而出现变化，而随著它的偏光性，就可以运用来设计出不同的产品。光子晶体它有一个很出名的特性，相信大家都知道，就是它有一个光能隙。在光能隙这个区域里面，光线是不存在的。这边的曲线也跟图一A 是的斜率意义是一样的，是折射率的相反。只要在这一点，斜率等于零。所以在这一点以外，光的速度就不会产生零这个现象。所以也可以说，光子晶体也可以控制光的速度。

5、0;   就简单来说，运用光子晶体的目的浓缩成一句话，就是要利用周期构造，以人工的方式来控制这个光学特性。    2、光子晶体与有固态发光元件差异    光子晶体有3 个光学特性，可以利用人工的方式来加以控制而达到不同的目的。第一个特性是，如果利用光能隙的话，就可以遮蔽光通过。利用这个特性可以把光锁在一个相当狭小的区域里面。目前产业界中，就有利用这个特性把光聚集在一个区域里面，制作成一个集成电路。    另外一个特性是，就是光子晶体有异向性，光子晶体的光会朝向很多方向散射，原因是光子晶

6、体可以随著光的偏光角度，出现透光与不透光(某个角度它可以透过，但是有些角度是没办法透过)。    第三个特性就是，光子晶体的曲线非常复杂、变化多端。因为光子晶体的曲线变化非常快，非常不规则，所以只要波长稍有变化，那就可以看到进入光子晶体的光，它的角度就会偏离得非常大。在优点方面，光子晶体的面积要比传统集成电路缩小了千分之一，所以，相对的，电路的积集度就比过去增加了1,000 倍。而另一个优点是折光性倍数可以达到以往1,000 倍。    另外，也可以利用偏光性，改变光的性质，可以将以往正方形的偏光浓缩成以往体积的千分之一。简单来说，光

7、子晶体它有什么样的好处与特性?积集度高，体积小，成本低。    3、利用光子晶体制作出LED    除此之外，光子晶体还有其它的特性。利用它的特性，可以制作出光子晶体LED。大致上可以分为2 种，一种是LED，一种是雷射二极管(Laser Diode)。LD 雷射二极管部分我们可以分为光子晶体 DFB 雷射二极管(Photonic crystal DFB LD)与Photonic crystal defect LD。光子晶体DFB 雷射二极管是大家比较了解的结构，其雷射值可以控制在非常低的区域来做发射，这样子的结构，是必须存在光能隙的

8、区域，也因为是如此，所以这样结构要实现商品化是比较困难。    相对的利用光子晶体的结构制作成LED 是比较简单。有关光子晶体常常被混淆的部分是，以为是利用DFB 雷射，所以就会有人认为是不是利用特定的周期或波长来运用?其实答案是不对的。理由是DFB 雷射跟光子晶体LD，它的入射(Incident)和衍射(Diffracted)的光是受限制的。但是相对光子晶体的入射光角度和衍射光角度是不受限制的。所以并不是利用特定的周期或波长来加强效率，这个特性对于LED来说是非常重要的。    4、光子晶体蓝色LED  

9、0; 利用蓝色LED 来制作的白光LED，蓝色LED 会发出蓝色的光，但是各个蓝色的光会根据YAG 萤光粉部分会转换成黄光，利用蓝色和黄色的光，可以让LED 产生出白光，白光LED 被应用在白光照明灯跟液晶背光的光源，这种白光LED 被称为固体白色照明。这种光有3 个特色：体积小，省能源，寿命长，但是有一个很大的问题需要克服：比起萤光灯，这样的白光LED 发光效率比较差，为了解决这个问题，便可以利用光子晶体来解决这样的问题。    为了克服，蓝光LED 发光效率比较低的问题，可以将光子晶体放在蓝光LED 里，利用光子晶体来提高发光效率，这样生产出的蓝光光子晶体LE

10、D 的特色是周期长，要让发光效率提升，有几个很重要的技术。传统的LED 制作非常简单，但是存在的问题点就是发光效率比较差，因为是传统的蓝光LED表面的全反射，从活性层出来的光线，会被表面全反射掉。这样的光就没有办法发射到LED外面。    针对这个问题，CREE 在制作过程中做了一些改善的动作，在Deformed Chip 中可看到活性层旁边是一个斜面，利用这样斜面的结构，可以让发光效率提高，同样是针对提高效率的问题，我们设计出了二次元的集积表面，利用这样子的结构，可以让表面的发光效率提高，所以我们是利用半导体的Planar 技术，这是一个很精密的技术，用来控制这

11、个构造。    Penetration 是利用二次元的活性层让光穿过，这样的结构可以使发光效率高达80%，但是也有一个问题需要克服，那就是内部量子效率会降低。由于为了要让光透过活性层，就会因为达到透过活性层这个目的而降低内部量子效率。Resonant Cavity 是在光子晶体LED 上面加载共振器，这个设计称为共振器LED，在LED的周边，我们配置上光子晶体，利用这个设计，可以把他LED 效率提高60%，而前面提到我们利用Planar 技术所开发出来的Surface Grating 的设计方式虽然不错，但是在电流的注入上会有一些问题。与Surface Grati

12、ng 相较下，虽然Resonant Cavity 在电流的注入上会比较容易，不过，ResonantCavity 本身也会有问题存在，那就是共振器LED 在制作上比较困难，制作困难就代表说成本就会提高，对于LED 大家都希望可以以低成本量产，这就造成了发展瓶颈，Penetration与Resonant Cavity 这2 个设计，只是在LED 上面加上一个二次元的设计，这样的设计是可以用上原本既有的LED 上。    5、光子晶体蓝色LED 运作原理    现有的LED 结构，可以看到他的全反射，临界度是比较小的，主要是因为表面将光全部

13、反射，相对的，光子晶体蓝色LED 所设计出来的LED，由于衍射的关系，可以修正光的角度，修正后的光可以比临界角还小，并可进入临界角投射到外面，改善过去LED 的光会全部反射的问题。从LED 的活性层发射出来的光，我们可以360 度放射出去，但以往的LED 只能受限于临界角，只能在临界角范围内发光，在临界角内的光才能发射出去，我们知道临界角范围内的面积只占整个范围的4%，所以相对光子晶体的光就比较广，能有更多的面积将光反射出去，就是利用这个原理将发光效率提高。    6、光子晶体的设计要点    在光子晶体的设计上有一些重点，有一个指标

14、是周期这一部分，周期和衍射的距离有关，如果周期越小，衍射的距离就越大，纵使经过修正后还是没有办法将光发射到外面去。相对的如果周期变大，衍射的距离越小，因为这样的关系，光就可以移到外面去了，所以在设计上需要找到一个最适合的周期。    还有一个要点就是高度，高度跟衍射的效率有相当紧密的相关联性，实际上并不是所有的光都会受到衍射的影响，受到衍射影响的光都会跟衍射率产生相关联，所以这两个重要指标就是在开发光子晶体LED 时，需要计算出最适当数值的G 值，所以在设计上就必须经过相当精的密计算来取得G 值。    而在设计中，如何去计算出LED

15、 表面需要多少光，可以利用FDTD 计算方式来做一些运算，这个计算方式在光子晶体上是普遍被运用的一个方式。非光子晶体的LED，是属于表面比较平坦的一种LED。非光子晶体的LED 产生光后，跟空气接触的光源那部分，会因为表面全反射掉。    而光子晶体LED 的设计，可以让光不受反射影响，将光反射到外面。而高度的部分也是成曲线分布，到某一个高度时，效率是最高的，可以看见发光效率最高的周期是在1.5 微米的地方，而发光效率最高是0.25 微米，由此可见，在这个区域是一个非常长的周期，非常短的高度，这就显示说光子晶体的制作非常简单，只要找出最适合的周期1.5 微米，比发

16、光波长还要长的一个周期，然而常说现有的LED 至少要克服这样的条件，但是从这里的设计可以看出，即使这个周期很长，还是可以达到高效率，所以对于这种光子晶体设计，称之为长周期光子晶体。    所以，设计的光子晶体LED周期是比较长的，此外，还有另外的一个特色，就是在光子晶体的表面镀上一整面的薄膜，这个薄膜就是透明电极，透过这个薄膜设计，光可以从整个面都可以发光出去。    7、光子晶体LED制程    制作的光子晶体LED 上透明电极的影响作的解释，可以看到，无论有没有涂上透明电极，对发光效率并没有很大影响。

17、根据这个结果，我们就很放心的在光子晶体上覆上一层透明电极。利用蓝宝石作为基板，再经过MOCVD、EB 和RIE ETCHING 等等制程，制作出来二次元的光子晶体LED。    根据我们的说法，目前暂时是利用EB 的方式，但以后在正式量产或商品化时，就会用另一个成本更低的做法，另外还会做乾式(Dry)Etching，再形成一个透明电极和电极板。就理论来说，在计算后的结果应该是高出3 倍的，但是在这次实验后，得出的结果却只有高出50%。分析原因有可能是在光子晶体形成的制造过程中，所使用的数值并不是最适当的数值。所以我们相信，只要改变这个流程，发光效率应该就会像计算的数值一样达到3 倍。    此外，另外一个可能是在制程中出现一小瑕疵，那就是在芯片中有一个小裂缝，而这个裂缝的出现，也会影响到整个LE