机械与电子职业病危害因素分析-姜向阳

1、1 2012年职业卫生技术服务机构专业技术人员培训年职业卫生技术服务机构专业技术人员培训讲师：姜向阳讲师：姜向阳2目 录2芯片制造业主要生产工艺及职业病危芯片制造业主要生产工艺及职业病危害因素分析害因素分析机械制造业主要生产工艺及职业病危机械制造业主要生产工艺及职业病危害因素分析害因素分析汽车生产项目评价案例汽车生产项目评价案例3一、芯片制造一、芯片制造业业3现代电子芯片制造业概况现代电子芯片制造业概况芯片制造业基本生产工艺芯片制造业基本生产工艺工作场所主要职业病危害因素工作场所主要职业病危害因素职业危害因素的预防与控制职业危害因素的预防与控制44指集成电路，它是微电子技术的主要产品指集成电路

2、，它是微电子技术的主要产品微电子业以集成电路技术为核心，包括集成电路的设计、制造微电子业以集成电路技术为核心，包括集成电路的设计、制造5p 2、芯片制造主要生产单元、芯片制造主要生产单元制备制备主要生产单元主要生产单元测试测试扩散、光刻、离子注入、湿法工艺扩散、光刻、离子注入、湿法工艺(清洗清洗)、刻蚀、薄膜、金属化、化、刻蚀、薄膜、金属化、化学机械抛光等工序学机械抛光等工序超负荷试验、前测试、高温烘烤、超负荷试验、前测试、高温烘烤、后测试等工序后测试等工序6p 芯片制造基本生产工艺芯片制造基本生产工艺制备制备测试测试扩散扩散光刻光刻离子注入离子注入湿法工艺湿法工艺(清洗清洗)刻蚀刻蚀薄膜薄膜

3、金属化金属化化学机械抛光化学机械抛光7制备制备测试测试p 芯片制造基本生产工艺芯片制造基本生产工艺超负荷试验超负荷试验前测试前测试高温烘烤高温烘烤后测试后测试83.工作场所主要职业病危害因工作场所主要职业病危害因素素主生产单元主生产单元助生产单元公用工程单元9p 主生产单元主生产单元磷化氢、砷化氢、氯化氢、氟磷化氢、砷化氢、氯化氢、氟化氢、氟化物、乙硼烷、二氧化氢、氟化物、乙硼烷、二氧化氮（一氧化氮）、噪声化氮（一氧化氮）、噪声氧化氧化/退火炉退火炉高温原子层沉积高温原子层沉积多晶硅沉积设备多晶硅沉积设备高温原子层沉积高温原子层沉积氧化炉氧化炉氟化物、乙酸丁酯、丙酮、噪氟化物、乙酸丁酯、丙酮、

4、噪声、紫外辐射声、紫外辐射光刻机光刻机涂胶显影轨道涂胶显影轨道光刻搭载设备光刻搭载设备10p 主生产单元主生产单元X射线、高频电磁场、噪声射线、高频电磁场、噪声大束流离子注入机大束流离子注入机高能量离子注入机高能量离子注入机硫酸、异丙醇、氟化氢硫酸、异丙醇、氟化氢(氢氟酸氢氟酸)、氟化物、氟化物(氟化氨氟化氨)、二氧化氮、二氧化氮(硝硝酸酸)、乙酸、乙酸(醋酸醋酸)、磷酸、丙酮、磷酸、丙酮、二氧化碳、氢氧化钾、过氧化氢二氧化碳、氢氧化钾、过氧化氢、噪声、噪声清洗机清洗机湿法去胶机湿法去胶机擦片机擦片机片盒清洗机片盒清洗机假片清洗机假片清洗机去胶清洗机去胶清洗机氮化硅刻蚀机氮化硅刻蚀机11p 主

5、生产单元主生产单元氢氟酸、氟化物氢氟酸、氟化物(氟化氨）、磷氟化氨）、磷酸、二氧化氮酸、二氧化氮(硝酸硝酸)、乙酸、乙酸(醋醋酸酸)、六氟化硫、氯气、溴化氢、六氟化硫、氯气、溴化氢、磷化氢、一氧化碳、乙硼烷、磷化氢、一氧化碳、乙硼烷、噪声、噪声氧化物刻蚀机氧化物刻蚀机干法去胶机干法去胶机氧化物刻蚀机氧化物刻蚀机氧化物刻蚀机氧化物刻蚀机干法去胶机干法去胶机多晶层刻蚀机多晶层刻蚀机氨、乙二醇、噪声氨、乙二醇、噪声铜工艺铜工艺金属化工艺中的沉积金属化工艺中的沉积化学气相沉积设备化学气相沉积设备12p 主生产单元主生产单元高频电磁场、噪声高频电磁场、噪声溅射机溅射机二氧化碳、过氧化氢、乙酸二氧化碳、过

6、氧化氢、乙酸(醋醋酸酸)、噪声、噪声铜铜CMP、钨、钨CMP、氧化物氧化物CMP硫酸硫酸铜工艺铜工艺Cu电镀设备电镀设备X射线射线X射线衍射仪射线衍射仪13p 辅助生产单元辅助生产单元腐蚀性气体存腐蚀性气体存放间放间气体存放区气体存放区易燃气体存放易燃气体存放间间气瓶存放间气瓶存放间泵及气体纯化、泵及气体纯化、废气处理间废气处理间氯气、溴化氢、氯化氢、氟氯气、溴化氢、氯化氢、氟化物（氟化氨）、氟化氢、化物（氟化氨）、氟化氢、砷化氢、磷化氢砷化氢、磷化氢乙硼烷乙硼烷一氧化碳、二氧化碳、二一氧化碳、二氧化碳、二氧化氮氧化氮(一氧化氮一氧化氮)噪声噪声14p 辅助生产单元辅助生产单元酸存放间、碱酸存

7、放间、碱存放间存放间化学品存放区化学品存放区有机存放间有机存放间化学品试剂瓶化学品试剂瓶存放间存放间氯气、溴化氢、氯化氢、氟氯气、溴化氢、氯化氢、氟化物（氟化氨）、氟化氢、化物（氟化氨）、氟化氢、砷化氢、磷化氢砷化氢、磷化氢乙硼烷乙硼烷一氧化碳、二氧化碳、二一氧化碳、二氧化碳、二氧化氮氧化氮(一氧化氮一氧化氮)15p 辅助生产单元辅助生产单元噪声噪声高温检测设备高温检测设备探针台探针台烘箱烘箱清洗机清洗机分片机分片机打标机打标机16p 公用工程单元公用工程单元冷冻站冷冻站动力系统动力系统换热站换热站真空系统真空系统冷库冷库噪声噪声生产供水生产供水空调及洁净系统空调及洁净系统备用电力备用电力一氧

8、化碳、二氧化氮、一氧化碳、二氧化氮、二氧化碳、噪声二氧化碳、噪声17p 公用工程单元公用工程单元系统名称系统名称主要设备主要设备职业病危害因素职业病危害因素含氟废水、酸性废水、含氨含氟废水处理系统絮凝剂加药区其他粉尘(氯化钙、聚丙烯酰胺)废水贮存槽、处理罐氟化氢、硫酸、盐酸含氟污泥压滤机氟化物、噪声污泥泵、废水输送泵噪声含铜废水处理系统絮凝剂加药区其他粉尘(氯化钙、聚丙烯酰胺)含铜污泥压滤机氟化物、噪声污泥泵、废水输送泵噪声碱性废水处理系统废水贮存槽、处理罐氢氧化钠、硫酸、盐酸有机废水处理系统废水贮存槽、沉淀池氨、硫化氢生产废水回用水系统反渗透冲洗噪声杀菌系统废水加氯装置氯气(次氯酸钠)18p

9、 公用工程单元公用工程单元系统名称系统名称主要设备主要设备职业病危害因素职业病危害因素综合酸性废气集中处理系统综合酸性废气洗涤塔氢氧化钠、硫酸、二氧化氮、氟化氢、氯化氢、氯气、噪声氟化氢废气处理系统氟化氢废气洗涤塔氢氧化钠、氟化氢、噪声氯化氢废气处理系统氯化氢废气洗涤塔氢氧化钠、氯化氢、噪声碱性废气处理系统碱性废气洗涤塔氨、硫酸、噪声有机废气处理系统沸石转轮浓缩塔、焚烧塔异丙醇、二氧化碳、二氧化氮、噪声19p 公用工程单元公用工程单元工房名称工房名称主要设备主要设备职业病危害因素职业病危害因素危险化学品仓库氢氟酸溶液贮存罐、硝酸溶液贮存罐氟化氢(氢氟酸)、二氧化氮(硝酸)危险气体仓库氨气贮存罐

10、氨204.职业危害因素的预防与职业危害因素的预防与控制控制21p 芯片制造职业危害因素的预防与控制芯片制造职业危害因素的预防与控制22p 芯片制造职业危害因素的预防与控制芯片制造职业危害因素的预防与控制23p 芯片制造职业危害因素的预防与控制芯片制造职业危害因素的预防与控制24二、机械制造二、机械制造业业24机械制造业概况机械制造业概况机械制造业基本生产工艺及职业病危机械制造业基本生产工艺及职业病危害因素分析害因素分析职业危害因素的预防与控制职业危害因素的预防与控制2525 机械制造是各种工业的基础；机械制造是各种工业的基础；26p 2、机械制造基本生产工艺、机械制造基本生产工艺下料下料铸造铸

11、造锻压锻压热处理热处理成品成品成品检验成品检验装配装配表面处理表面处理机械加工机械加工原材料和能源供应原材料和能源供应 毛坯和零件成型毛坯和零件成型 零件机械加工零件机械加工 材料改性与处理材料改性与处理装配与包装装配与包装搬运与储存搬运与储存检测与质量监控检测与质量监控自动控制装置与系统自动控制装置与系统焊接焊接27一、铸 造28p 铸造工艺流程及职业病危害因素分析铸造工艺流程及职业病危害因素分析原辅材料准备原辅材料准备型芯砂的配制型芯砂的配制造造 型型合合 型型合金熔炼合金熔炼铸铸 件件后处理后处理铸件落砂清砂铸件落砂清砂模样制造模样制造浇注浇注铸造：铸造：熔炼金属、制造与零件形状相适应的

12、铸型，并将液态金属熔炼金属、制造与零件形状相适应的铸型，并将液态金属浇注到铸型中，待其冷却凝固后，获得铸件或毛坯的工艺方法；浇注到铸型中，待其冷却凝固后，获得铸件或毛坯的工艺方法；铸造方法很多，但最基本的方法是铸造方法很多，但最基本的方法是砂型铸造砂型铸造29p 铸造工艺流程及职业病危害因素分析铸造工艺流程及职业病危害因素分析30p 铸造工艺流程及职业病危害因素分析铸造工艺流程及职业病危害因素分析存在环节存在环节职业病危害因素职业病危害因素备注备注造型造型粉尘、甲醛、酚、氨、二乙胺、噪声、粉尘、甲醛、酚、氨、二乙胺、噪声、振动、高温振动、高温粉尘视砂的种类而定，一般粉尘视砂的种类而定，一般为矽

13、尘，毒物与使用粘合剂为矽尘，毒物与使用粘合剂的种类有关的种类有关砂型（芯）砂型（芯）烘干烘干高温、热辐射、高温、热辐射、CO、CO2、SO2、氮、氮氧化物等、高频电磁场和微波辐射氧化物等、高频电磁场和微波辐射合箱合箱粉尘粉尘熔炼熔炼高温、热辐射、一氧化碳、二氧化碳、高温、热辐射、一氧化碳、二氧化碳、氮氧化物、金属烟雾、噪声氮氧化物、金属烟雾、噪声浇注浇注高温、热辐射、金属氧化物粉尘、高温、热辐射、金属氧化物粉尘、CO、CO2落砂清理落砂清理粉尘、噪声、振动粉尘、噪声、振动劳动强度大、危害程度高劳动强度大、危害程度高31p 职业病危害因素的预防与控制铸造职业病危害因素的预防与控制铸造32毛坯毛坯

14、加热加热锻锻 锤锤成型成型冲压冲压板料板料冷却冷却p 锻压工艺流程及职业病危害因素分析锻压工艺流程及职业病危害因素分析产品产品锻压是对坯料施加外力，使坯料产生部分或全部的塑性变形，从锻压是对坯料施加外力，使坯料产生部分或全部的塑性变形，从而获得锻件的加工方法而获得锻件的加工方法33二、锻 压34p 铸压工艺流程及职业病危害因素分析铸压工艺流程及职业病危害因素分析职业病危害因素职业病危害因素存在环节存在环节噪声噪声（脉冲噪声、非稳态噪声）（脉冲噪声、非稳态噪声）振动振动（全身振动、局部振动）（全身振动、局部振动）锤锻（空气锤、压力锤）锤锻（空气锤、压力锤）冲床、压床冲床、压床高温、热辐射高温、热

15、辐射加热炉、锻打过程中加热炉、锻打过程中毒物毒物（一氧化碳、二氧化碳、二氧一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氮氧化物等有害气体）化硫、氮氧化物等有害气体）锻造炉可产生锻造炉可产生粉尘粉尘（金属粉尘、煤尘、石墨尘、金属粉尘、煤尘、石墨尘、其他粉尘等）其他粉尘等）锻造炉、锤锻工序中加料、出炉锻造炉、锤锻工序中加料、出炉和锻造过程中可产生和锻造过程中可产生35p 职业病危害因素的预防与控制锻造职业病危害因素的预防与控制锻造36p 热处理工艺流程及职业病危害因素分析热处理工艺流程及职业病危害因素分析热处理工艺热处理工艺主要是使金属零件在不改变外形的条件下，改变金属主要是使金属零件在不改变外形的条件下，改变

16、金属的性质（硬度、韧度、弹性、导电性等。的性质（硬度、韧度、弹性、导电性等。金属件金属件加热加热淬火淬火回火回火氨气、氢化物、氨气、氢化物、氮氧化物氮氧化物37三、热 处 理38p 热处理工艺流程及职业病危害因素分析热处理工艺流程及职业病危害因素分析种类种类职业病危害因素名称职业病危害因素名称存在环节存在环节毒物毒物氯化钡、氨气、氢化物。氯化钡、氨气、氢化物。氮氧化物、甲醇、乙醇、氮氧化物、甲醇、乙醇、丙烷、丁烷、丙酮、汽丙烷、丁烷、丙酮、汽油等有机溶剂油等有机溶剂主要来源于热处理工序中使用的品主要来源于热处理工序中使用的品种繁多的辅助材料。氮化过程会产种繁多的辅助材料。氮化过程会产生氨气；盐

17、浴炉熔融的硝盐与工件生氨气；盐浴炉熔融的硝盐与工件的油污作用产生氮氧化物。的油污作用产生氮氧化物。物理物理因素因素高温、热辐射高温、热辐射各种加热炉、盐浴槽和被加工的工各种加热炉、盐浴槽和被加工的工件件高频电磁场高频电磁场如使用高频电炉进行热处理时如使用高频电炉进行热处理时噪声、振动噪声、振动各种电机、风机、工业泵和机械运各种电机、风机、工业泵和机械运转设备均可产生，但多数情况下噪转设备均可产生，但多数情况下噪声强度不大，超标情况较少见。声强度不大，超标情况较少见。39p 职业病危害因素的预防与控制热处理职业病危害因素的预防与控制热处理40p 表面处理工艺流程及职业病危害因素分析表面处理工艺流

18、程及职业病危害因素分析镀件镀件除油除油浸蚀浸蚀镀金属镀金属根据不同工艺使用不同的化学物质而产生相应的职业病危根据不同工艺使用不同的化学物质而产生相应的职业病危害；害；工艺过程中通常产生工艺过程中通常产生酸雾、碱（酸雾、碱（硫酸、盐酸、磷酸、氢氧硫酸、盐酸、磷酸、氢氧化钠、二氧化氮、噪声铬酸盐）化钠、二氧化氮、噪声铬酸盐） ；有些工艺会使用有些工艺会使用氰化物、氰化物、镍化合物镍化合物、镉及其化合物镉及其化合物、氧化氧化锌锌、氯化物、苯、二甲苯、乙二醇氯化物、苯、二甲苯、乙二醇等化学物质等化学物质41 电镀电铸单元主要包括电镀、电铸镍、镀氮化钛等工艺。 电镀工艺主要包括镀锌、镀镉、镀银、镀铜（酸

19、性铜、亮铜）、镀镍（亮镍、暗镍）、镀铬（硬铬、装饰铬）等。p 表面处理工艺流程及职业病危害因素分析表面处理工艺流程及职业病危害因素分析42镀前验收热水洗冷水洗装挂化学除油热水洗冷水洗强腐蚀冷水洗弱腐蚀冷水洗中和冷水洗氰化镀锌槽回收三级逆流漂洗干燥除氢活化出光回收三级逆流漂洗钝化回收三级逆流漂洗热水老化吹扫卸挂件检验包装氢氧化钠盐酸硫酸氢氧化钠氰化氢、氧化锌噪声铬酸盐盐酸二氧化氮图1 镀锌生产线工艺流程图p 表面处理工艺流程及职业病危害因素分析表面处理工艺流程及职业病危害因素分析43镀前验收热水洗冷水洗装挂化学除油热水洗冷水洗出光槽冷水洗去离子水洗槽电铸镍槽回收槽冷水槽回收槽电铸镍槽循环处理槽冷

20、水槽退芯模槽氢氧化钠二氧化氮镍及其可溶性化合物镍及其可溶性化合物图2 文氏管电铸镍生产线工艺流程图p 表面处理工艺流程及职业病危害因素分析表面处理工艺流程及职业病危害因素分析44验收装挂去包铝层冷水洗出光二氧化氮冷水洗卸夹具干燥去包铝层回收冷水洗检查涂胶硫化苯、甲苯、二甲苯刻型刻型检查测量装夹化铣回收冷水洗出光冷水洗二氧化氮工序间检查、测量化铣补胶氢氧化钠苯、甲苯、二甲苯局部化铣氢氧化钠回收冷水洗出光冷水洗卸夹具剥胶局部修磨装夹净化腐蚀冷水洗出光冷水洗纯水洗卸夹具干燥交检二氧化氮二氧化氮图3 铝合金化铣生产线工艺流程图 p 表面处理工艺流程及职业病危害因素分析表面处理工艺流程及职业病危害因素分

21、析45图4 铝合金氧化碱腐蚀线验收装挂化学除油热水槽冷水槽出光冷水洗回收喷淋洗纯水洗吹干或烘干卸夹具氢氧化钠二氧化氮交检包装碱腐蚀氢氧化钠热水槽硫酸阳极氧化槽硫酸磷酸阳极氧化槽磷酸填充槽重铬酸盐p 表面处理工艺流程及职业病危害因素分析表面处理工艺流程及职业病危害因素分析46图5 发蓝磷化生产线工艺流程图验收化学除油热水洗氢氧化钠冷水洗除铜回收冷水洗腐蚀冷水洗出光冷水洗冷水洗磷化填充回收冷水洗吹干盐酸二氧化氮磷酸铬酸盐、硫酸中和冷水洗重铬酸盐p 表面处理工艺流程及职业病危害因素分析表面处理工艺流程及职业病危害因素分析47主要工种工作时间及所接触的职业病危害因素主要工种工作时间及所接触的职业病危害

22、因素生产线工种定员/工作时间/工作内容接触职业病危害因素接触时间（h）接触方式电镀工段电镀工一班制，3人/班，8:0012:00，13:0017:30，负责电镀镍生产线盐酸3上下件可溶性镍化合物3上下件噪声0.25压缩空气吹扫电镀工一班制，3人/班，8:0012:00，13:0017:30，负责电镀锡生产线二氧化锡、氢氧化钠3上下件噪声0.25压缩空气吹扫电镀工一班制，3人/班，8:0012:00，13:0017:30，负责电抛光等处理槽硫酸、磷酸、三氧化铬3上下件噪声0.25压缩空气吹扫化铣生产线化铣工两班制，10人/班，早班8:0020:00，晚班20:008:00，负责化铣槽、出光槽、碱

23、腐蚀槽、喷胶等工作氢氧化钠2上下件二氧化氮1苯、甲苯、二甲苯1手动喷胶含氰废水处理水处理工一班制，5人/班，8:0012:00，13:0017:30，负责含氰废水处理设备运行氯气7加药、现场控制48生产线生产线工种工种定员定员/工作时间工作时间/工作内容工作内容接触职业病接触职业病危害因素危害因素接触时接触时间（间（h）接触接触方式方式镀镉、镀锌生产线电镀工两班制，7人/班，早班8:0016:00，晚班16:0024:00，负责镀镉、镀锌、氰化镀铜、铜件氧化线各处理槽运行盐酸、氧化锌、铬酸盐、镉及其化合物、氢氧化钠、噪声5上下件氰化镀铜线电镀工氰化氢、噪声1上下件铜件氧化线电镀工盐酸、二氧化氮

24、、二氧化锡、镍及其化合物、铜烟、噪声3上下件镀铬及深孔镀铬线电镀工两班制，8人/班，早班8:0016:00，晚班16:0024:00，负责镀铬线各处理槽运行铬酸盐、硫酸、氢氧化钠、噪声2.5上下件贵金属电镀线电镀工两班制，8人/班，早班8:0016:00，晚班16:0024:00，负责镀银槽、去铜槽、铬酸阳极氧化槽、硬质阳极氧化槽、碱蚀槽等氢氧化钠、铬酸盐、盐酸、二氧化氮、二氧化锡、氰化氢3上下件硬质阳极氧化生产线铬酸盐、二氧化氮、硫酸、氢氧化钠、噪声3上下件氧化生产线电镀工两班制，7人/班，早班8:0016:00，晚班16:0024:00，负责去油槽、硫酸槽、锌盐磷化槽、涂胶间等的运行盐酸、

25、氢氧化钠、硫酸3上下件快磷、锌磷、磷化线盐酸、氢氧化钠、硫酸、氧化锌、噪声3上下件涂胶生产线苯、甲苯、二甲苯、噪声0.5涂胶废水处理废水处理工两班制，3人/班，早班8:0016:00，晚班16:0024:00，负责加药及废水处理设施巡检硫酸、氢氧化钠1手工加药达克罗生产线表处工一班制，4人/班，8h/班，负责达克罗生产线运行金属粉尘、噪声1.5抛丸处理表处工乙二醇、三氧化铬、噪声4外表涂覆49 抛光精饰间工艺设备自带除尘器，并设置全室机抛光精饰间工艺设备自带除尘器，并设置全室机械排风系统。械排风系统。 对生产过程中散发大量含酸、碱、氰化氢、铬酸对生产过程中散发大量含酸、碱、氰化氢、铬酸盐、重铬

26、酸盐等有害物质的处理槽设计槽边局部防盐、重铬酸盐等有害物质的处理槽设计槽边局部防腐机械排风系统。腐机械排风系统。 对含酸碱性排风系统进行酸碱中和后设置干法酸对含酸碱性排风系统进行酸碱中和后设置干法酸气吸附净化设备，对含铬酸的排风系统设置铬酸回气吸附净化设备，对含铬酸的排风系统设置铬酸回收器，对含氰的排风单独设置干法吸附净化设备，收器，对含氰的排风单独设置干法吸附净化设备，废气净化合格后经废气净化合格后经15m15m或或25m25m高排气筒排放。高排气筒排放。p 职业危害因素的预防与控制电镀职业危害因素的预防与控制电镀50 化蜡间设计机械排风自然进风的全室换气系统。化蜡间设计机械排风自然进风的全

27、室换气系统。 电镀电铸区设置屋顶机械排风系统，在生产时间定期排风电镀电铸区设置屋顶机械排风系统，在生产时间定期排风及非生产时间值班排风。及非生产时间值班排风。 喷黄胶间设置两台水幕喷胶室（喷黄胶间设置两台水幕喷胶室（400040002400240020002000），喷），喷绿胶间设置一台封闭喷胶室（绿胶间设置一台封闭喷胶室（11400114004630463042004200），工艺），工艺设备自带净化设备，同时设计机械排风自然进风的全室换气设备自带净化设备，同时设计机械排风自然进风的全室换气系统。系统。 喷绿胶间排风机与可燃气体报警装置联锁设计。喷绿胶间排风机与可燃气体报警装置联锁设计。p 职业危害因素的预防与控制电镀职业危害因素的预防与控制电镀51应急救援措施应急救援措施 机械加工可能发生的急性职业危害事故类型包括苯、氯气、硫化机械加工可能发生的急性职业危害事故类型包括苯、氯气、硫化氢等可能引起的急性职业中毒，硫酸、盐酸、硝酸、重铬酸盐、氢等可能引起的急性职业中毒，硫酸、盐酸、硝酸、重铬酸盐、氢氧化钠等可能引起的眼睛和皮肤