真空系统组成

1、会计学1真空系统组成真空系统组成2真空包装机3玻璃板的运输家用吸尘器4电子管真空保温杯，保温饭盒5太阳能电池相机镜头l 另一方面，直接利用真空的制品也有很多，真空蒸发和真空涂层技术制作的透镜、玻璃、反射镜、太阳能电池、LED照明、液晶显示、IC器件等。LED照明61.1 真空、真空系统的概念1.2 真空应用概述 1.3 真空系统的组成和分类1.4 真空系统设计的基本内容1.5 真空抽气设备简介78图1 地表以上的真空度 9Magdeburg-spheres Experimentl 用两个直径119厘米的半球合起来，用水银真空泵将球内空气抽至粗真空，每个半球用8匹马才能向相反方向拉开。10霓虹灯

2、制作设备白炽灯泡11低真空105102Pa中真空10210-1Pa高真空10-110-5Pa超高真空10-510-8Pa极高真空10-8 Pa以下12年年作者作者科学技术科学技术1643年托里拆利760mmHg上的真空1650年帕斯卡大气压力随高度而变化，活塞式真空泵1654年波义耳定律理想气体的压力与体积的关系1738年Bernoulli气体分子运动论1775年Lavoisier大气的空气是N2和O2的混合物1802年盖吕萨克定律气体体积温度定律1810年Medhurst第一条真空邮递线1811年阿佛加德罗气体恒定的分子密度1843年Samuda第一条真空铁路（都柏林）1850年Toeple

3、r汞柱真空泵1859年Maxwell气体分子速度分布定律13年年作者作者科学技术科学技术1865年Sprengel汞滴下真空泵1874年Mcleod压缩式真空计1879年Edison碳丝白炽灯1879年Crookes阴极射线管1878年W.Gaede在德国诞生1881年Van der Waals真实气体状态方程1893年Dewar真空绝缘瓶1902年Fleming真空二极管1905年Gaede旋转汞真空泵，Leybold使泵企业化1906年Pirani热传导真空计14年年作者作者科学技术科学技术1907年Forest真空三极管1909年Coolidge钨丝白炽灯，钨的粉末冶金1909年Gaed

4、e发明旋片旋转泵（Gaede型泵）1909年Knudsen气体分子流1911年Gaede分子真空泵发明1915年CoolidgeX射线管1915年Gaede汞扩散泵发明S0.10.2L/s1916年Langmuir冷凝扩散泵发明S35L/s1916年Buckley热阴极电离计15年年作者作者科学技术科学技术1923年Holweck盘形分子泵1923年Gaede全金属三级汞扩散泵制造S60L/s，20Torr1935年Gaede气镇真空泵，机械泵气镇原理发明1936年Hickman分馏式油扩散泵1937年Penning冷阴极电离计1950年Bayard和Alpert超高真空计（称BA计）1953

5、年Schwartz离子泵1953年Herb等吸气离子泵发明16年年作者作者科学技术科学技术1951年Vacuum创刊（英国）1964年JVST创刊（美国）1958年第一次国际真空会议1961年第二次国际真空会议1955年Heraeas公司机械增压泵1958年Hall溅射离子泵1718195.Vacuum Environment simulation6.Manufacturing of semiconductor Industry2021222324252627282930幕墙玻璃幕墙玻璃相机镜头哈勃太空望远镜3132333435 扫描电子显微镜：363738年年作者作者科学技术科学技术1907年Forest真空三极管1909年Coolidge钨丝白炽灯，钨的粉末冶金1909年Gaede发明旋片旋转泵（Gaede型泵）1909年Knudsen气体分子流1911年Gaede分子真空泵发明1915年Coolidge