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文档简介

1、TiXXE真实值真实值测量值测量值%100TXERE%14. 0%1002902. 00004. 00004. 02902. 02898. 0REEXiXXXdi%100XdRddnXXdn1iidR%100XddR%89. 0%10082.1514. 014. 0407. 021. 013. 015. 082.15489.1503.1669.1567.15dRdX10,24. 04 . 0, 3 . 0, 3 . 0, 3 . 0, 2 . 0, 2 . 0, 0 . 0, 1 . 0, 2 . 04 . 0nd甲，10,24. 07 . 02 . 02 . 01 . 00 . 00 . 0

2、1 . 0, 1 . 01 . 0, 9 . 0nd乙，nXn1i2i 1/11i1i2i2i1i2innXXnXXSnnnX28. 01104 . 02 . 04 . 0222甲S40. 01107 . 01 . 09 . 0222乙S%100XSRSDn21,XXXXSXSnSSXXnX1-泵体;2-旋片;3-转子; 4-弹簧;5-排气阀 64 64 66 68 70 74化学吸附是靠固体表面原子与气体分子间形成吸附化学键实现的，与发生化学反应相类似，同物理吸附相比，化学吸附的特点是吸附强，吸附热大，稳定不易脱附，吸附有选择性，温度较高时发生化学吸附的气体分子增多，只能紧贴表面形成单层吸附

3、(在化学吸附的分子上面还能形成物理吸附)，溅射离子泵和电子管中吸气剂的吸气作用就包括化学吸附。压缩器框图膨胀器框图NiSiNoSoSNIR nnnnn21)2(fqIIDC21)2(fqIId21222)41)(4(ffqIIengn上式中I是流过探测器的平均电流，是载流子平均寿命， e是载流子在器件两极间的平均漂移时间，f是电流调制频率，f是测量电路带宽2224f21)(4fqIIeng自相关函数如果f(t)不包含周期性分量，自相关函数从0的最大值，随增大而单调下降， 趋于无穷大时，它趋于f(t)平均值的平方TTTxxdttftfTR)()(21lim如果两个随机过程的发生完全没有关系，其互

4、相关函数是一个常数，等于两随机函数的平均值之积，当其中之一的平均值为零，其互相关函数处处为o。TTTxydttgtfTR)()(21lim)()()()()()(21lim)(nnnssnssTTiTRRRRdttftfTRHznV5mVKHzHznV6 . 110001005HznV510001005HzHznV10001005HzHznV100001. 05HzHznV100001. 05HzHznV)cos(21)cos(21)sin)sin(LrefsigLrLsigrefsigLrLsigrefLsigrsigpsdtVVtVVtVtVV（)cos(21refsigLsigpsdVVV)(refsig)(refsig)90sin(refLLtVsin)sin(2122sigpsdrefsigLsi

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