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文档简介

1、第五章第五章 非平衡载流子(非平衡半导体)非平衡载流子(非平衡半导体)1. GeN 313410,101cmpsp解:解:131731410101 10ppUcm s2. 空穴在半导体内均匀产生,其产生率空穴在半导体内均匀产生,其产生率00px0 xE22ppppEppppDEpgtxxx022dxpdDp解:解:由空穴连续性方程,由空穴连续性方程,pg由于杂质均匀分布、体内没有电场、非平衡载流子均匀产生,所以,由于杂质均匀分布、体内没有电场、非平衡载流子均匀产生,所以,pppgdtpd得到非平衡空穴所满足的方程,得到非平衡空穴所满足的方程, 达到稳定状态时的非平衡空穴浓度,达到稳定状态时的非

2、平衡空穴浓度, ppgp光照下,产生和复合达到稳定时,光照下,产生和复合达到稳定时, 0pppg0dpdt3. SiNsp6101132210scmgpcm 100解:解:1316226101010scmgppp半导体内光生非平衡空穴浓度,半导体内光生非平衡空穴浓度, 光照下,半导体的电导率,光照下,半导体的电导率,001619110.1 101.6 1013505003.1nppqScm光照下,半导体电阻率,光照下,半导体电阻率,cm33. 01 . 311光照下,电导中少数载流子(空穴)贡献的比例,光照下,电导中少数载流子(空穴)贡献的比例,%261 . 3500106 . 1101916

3、ppq4. sp5101解:解: 光照停止后的非平衡空穴浓度,光照停止后的非平衡空穴浓度,teptp0)()(0 0t tpp0p ep0停止停止2020微秒后,微秒后,%39)20(10200epsp5. 31431610,10cmpncmND解:解:无光照的电导率,无光照的电导率,1191602 . 21350106 . 110cmSnqpqnqnpn有光照的电导率,有光照的电导率,1191405 . 25001350106 . 1102 . 2)(cmSnqpn 光照下,光照下,半导体处于非平衡态,其偏离程度由电子准费米能级、空穴半导体处于非平衡态,其偏离程度由电子准费米能级、空穴准费米

4、能级描述。准费米能级描述。nFEpFECEVEFE 小注入时,小注入时,空穴准费米能级比平衡费米能级更靠近价带顶,但偏离小。空穴准费米能级比平衡费米能级更靠近价带顶,但偏离小。电子准费米能级比平衡费米能级更靠近导带底,且偏离大。电子准费米能级比平衡费米能级更靠近导带底,且偏离大。6. VECEiE光照前光照前光照后光照后iE7. 314315/10,/10cmpncmND0000explnFiiFiiEEnnnEEk Tk TneVnnEEiiF29. 01067. 6ln026. 0105 . 110ln026. 0ln026. 0410150没有光照时,半导体的平衡费米能级位置,没有光照时

5、,半导体的平衡费米能级位置,解:解: 00explnnnFiiFiiEEnnnEEk Tk Tn光照小注入下,导带电子浓度,光照小注入下,导带电子浓度,eVnnnEEiinF30. 01034. 7ln026. 0105 . 11010ln026. 0ln026. 041014150小注入下,电子准费米能级位置,小注入下,电子准费米能级位置, 00explnppiFiiFiEEppnEEk Tk Tn 小注入下,价带空穴浓度,小注入下,价带空穴浓度,eVnppEEipFi23.01067.6ln026.0105 .1101025.2ln026.0ln026.03101450小注入下,空穴准费米

6、能级,小注入下,空穴准费米能级, 8. 解:从题意知,解:从题意知,P P型半导体,小注入下,复合中心的电子产生率等于空穴捕获率,型半导体,小注入下,复合中心的电子产生率等于空穴捕获率,电子产生率电子产生率tns10expnrTkEENrsnctcntppnr空穴俘获率空穴俘获率AppppnNrprpprprnr001TkEENnctc01expNNTkEEEEcFctln0TkEENpF00exp对于一般的复合中心,对于一般的复合中心,rrrpn01pn 因为半导体本征费米能级,因为半导体本征费米能级, 对一般掺杂浓度的对一般掺杂浓度的P P型半导体,其平衡费米能级远在禁带中央能型半导体,其

7、平衡费米能级远在禁带中央能级以下。从上式中得出复合中心能级远在本征费米能级以上(离导级以下。从上式中得出复合中心能级远在本征费米能级以上(离导带底很近,离本征费米能级很远),因而它不是有效复合中心。带底很近,离本征费米能级很远),因而它不是有效复合中心。NNTkEEEcciln210所以,所以,FiitEEEE9. itEE 本征半导体,小注入,本征半导体,小注入,证明:证明:)()()(001010ppnrrNppprpnnrUpnptpn非平衡载流子寿命,非平衡载流子寿命,inpnp2)(00npntptnptpnrNrNrrNrr11inpn00inpn1110. 16310tNcm小注

8、入时,小注入时,N N型半导体非平衡少子空穴的寿命主要由金复合中心决定,型半导体非平衡少子空穴的寿命主要由金复合中心决定,scmrp/1015. 137scmrn/103 . 638 srNptp10716109 . 81015. 11011 srNntn9816106 . 1103 . 61011在在N N型硅中,金的受主能级起作用,金负离子对空穴的俘获系数,型硅中,金的受主能级起作用,金负离子对空穴的俘获系数,解:根据解:根据PP158PP158给出数据,给出数据,在在P P型硅中,金的施主能级起作用,金正离子对电子的俘获系数,型硅中,金的施主能级起作用,金正离子对电子的俘获系数,小注入时

9、,小注入时,P P型半导体非平衡少子电子的寿命主要由金复合中心决定,型半导体非平衡少子电子的寿命主要由金复合中心决定,11. 解:根据单一复合中心得到的间接复合的净复合率公式,解:根据单一复合中心得到的间接复合的净复合率公式,)()()(112pprnnrnnprrNUpnipnt0,2Unnpi(净复合)(净复合) 净产生净产生在载流子完全耗尽的半导体区域,在载流子完全耗尽的半导体区域,inpn, 0, 00,2Unnpi在只有少数载流子被耗尽的半导体区域,如对于在只有少数载流子被耗尽的半导体区域,如对于N N型半导体,型半导体,00, 0nnnnnppp 净产生净产生0,2Unnpi在在

10、的半导体区域,的半导体区域,inpn12. itpDEEscmN,101105316,scmpRGp3954103 . 210103 . 2解:因为少子空穴的浓度,解:因为少子空穴的浓度,0p所以,所以,3416210200103 . 210105 . 1cmNnppppDi达到稳态时,少子产生率,达到稳态时,少子产生率,13. sVcmsnn/3600,105 .324解:由爱因斯坦关系式,得到电子扩散系数,解:由爱因斯坦关系式,得到电子扩散系数,nnnnqTkDqTkD00电子扩散长度,电子扩散长度, cmqTkDLnnnnn12/1432/10108 . 1105 . 3106 . 30

11、26. 014. 2400/pcmV s解:由爱因斯坦关系式,得到空穴扩散系数,解:由爱因斯坦关系式,得到空穴扩散系数,xp43 10cmscmqTkDpp/4 .10400026.020空穴扩散浓度梯度,空穴扩散浓度梯度, 191821.6 1010.4 3.3 105.5/ppdpJqDA cmdx151844103.3 103 10dpcmdx 空穴扩散电流密度,空穴扩散电流密度, 15. sVcmcmncmNcmnt/135010,10,123100315,解:由电阻率查表解:由电阻率查表PP124PP124图图4-154-15(b b),得到半导体平衡多子浓度,),得到半导体平衡多子

12、浓度, srNntn8815106 .1103 .61011边界处电子扩散电流密度,边界处电子扩散电流密度,非平衡少子寿命,非平衡少子寿命,316010cmNpAp平衡少子浓度平衡少子浓度34162100103 .210105 .1cmnp00000191045280.026 13501.6 10102.3 107.5 10/1.6 10nnnnnxnnnqDnDk Td nJqDqnqndxLqA cm非平衡少子分布(半导体无限厚),非平衡少子分布(半导体无限厚), 0nxLn xne 16. ssVcmcmpcmpp623130105,/500,10,3解:由电阻率查表,得平衡多子(电子)

13、浓度和少子(空穴)迁移率,解:由电阻率查表,得平衡多子(电子)浓度和少子(空穴)迁移率,315010cmNnDn平衡少子浓度,平衡少子浓度,35152100103 .210105 .1cmnp从表面处向半导体内扩散的少子空穴扩散电流密度,从表面处向半导体内扩散的少子空穴扩散电流密度,32000002.6 10/pppppxpppqDDk Td pJqDpqpqpA cmdxLqsVcmp/5002 pLxepxp0非平衡少子在半导体内的分布(半导体无限厚),非平衡少子在半导体内的分布(半导体无限厚), 半导体内非平衡空穴浓度等于半导体内非平衡空穴浓度等于 对应的位置,对应的位置,31210cm

14、12130621010ln10ln102.30.065005 101.9 10pxLpppek TxLqcm 17. scmssscmgcmpp/100,10/10,15317,解:解: 000()0ssxUspsp xpsp xp稳态下,根据(稳态下,根据(5-1625-162)空穴浓度分布,)空穴浓度分布, 01pxLpppppsp xpgeLs得到在半导体表面处空穴浓度,得到在半导体表面处空穴浓度,由于由于 ,查图,查图4-154-15(b)b),得到,得到, cmqTkDLppppp25010110430026. 0cm 1315/103cmND查图查图4-14 4-14 得到空穴迁移

15、率得到空穴迁移率 ,空穴扩散长度,空穴扩散长度, sVcmp/43021 1、单位时间、单位表面积的表面复合空穴数,、单位时间、单位表面积的表面复合空穴数,得到单位时间、单位表面积在离表面三个扩散长度体积内复合的空穴数,得到单位时间、单位表面积在离表面三个扩散长度体积内复合的空穴数,pLxpppppppesLgsgppp00025517113225011010101019.1 10101010pxLpppxppsp xpgeLscm2 2、由下式,、由下式, 1321000()09.1 10ssxUspsp xpsp xpcms330033313pppxLLLppppppppppppppppp

16、pppspdxgLedxLssg Lsg LL geL gLsLs1532.910/ cm s得到,得到,18. 由氧化(温度由氧化(温度11801180) 后表面复合中心浓度后表面复合中心浓度 ,得,得到金复合中心在硅片中的均匀分布浓度,到金复合中心在硅片中的均匀分布浓度,解、解、10210 /tsNcm55515310101010 /tNcm1 1、硅片内少子空穴的寿命,、硅片内少子空穴的寿命,1pptr N由教材由教材PP158PP158第第6 6行给出的数据,行给出的数据,731.15 10/prcms得到,得到, 9715118.7 101.15 1010pptsr N硅片中总杂质浓度,硅片中总杂质浓度,16151632 10102.1 10iDtNNNcm 查表查表4-144-14,得到少子空穴的迁移率,得到少子空穴的迁移率,2350/pcmV s硅片表面复合速度,硅片表面复合速度,得到少子空穴的扩散系数,得到少子空穴的扩散系数,200.026 3508.75/ppk TDcmsq948.75 8.7 102.76 10pppLDcm得到少子扩散长度,得到少子扩散长度,71031.15 10101.15 10/ptssr Ncm s得到,得到,0039491783439011.15 108.7 101.18 108.7

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