先进制造技术——微机电系统

1、F微电子压力传感器微电子压力传感器聚合物薄膜聚合物薄膜硅硅压敏电阻器压敏电阻器吸湿膨胀吸湿膨胀电阻变化？电阻变化？微电子湿度传感器微电子湿度传感器硅硅Si基体基体硅尖锥硅尖锥玻璃玻璃荧光粉荧光粉电子电子电电场场发光发光机械机械部分部分传感传感执行执行控制部分控制部分电子学电子学MEMS微电子学微电子学Fabrication of Silicon Tips for Scanning Probe MicroscopyFabrication of Silicon Tips for Scanning Probe Microscopy High aspect ratio 60um trenchSTSDe

2、epRIEsystematFID ?微执行器：微马达、微齿轮、微泵、微阀门、微执行器：微马达、微齿轮、微泵、微阀门、微开关、微喷射器、微扬声器、微谐振器等微开关、微喷射器、微扬声器、微谐振器等?微型构件：微膜、微梁、微探针、微齿轮、微型构件：微膜、微梁、微探针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等连杆等?微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等?1、微传感

3、器：、微传感器：机械类：力学、力矩、加速度、速度、机械类：力学、力矩、加速度、速度、角速度角速度(陀螺陀螺)、位置、流量传感器、位置、流量传感器磁学类：磁通计、磁场计磁学类：磁通计、磁场计热学类：温度计热学类：温度计化学类：气体成分、湿度、化学类：气体成分、湿度、PH值和离值和离子浓度传感器子浓度传感器生物学类：生物学类：DNA芯片芯片?微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等腔激光器、光编码器等MirrorSupportStr

4、uctureSubstrateHingesTorsionHinges1stDOF2ndDOFForce-redirectingLinkage?理论基础：随着理论基础：随着MEMS尺寸的缩小，有些宏观尺寸的缩小，有些宏观的物理特性发生了改变，很多原来的理论基础的物理特性发生了改变，很多原来的理论基础都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等等，面效应、微观摩擦机理等等，微动力学微动力学微流体力学微流体力学微热力学微热力学微摩擦学微摩擦学微光学微光学微结构学微结构学?技术基础：设计、工艺加工技术基础：设计、工艺加工( (高深宽比多层高深宽比多层微结构微结构) )、微装配工艺、微系统的测量等。、微装配工艺、微系统的测量等。?应用研究：如何应用这些应用研究：如何应用这些MEMSMEMS系统也是一系统也是一门非常重要的学问。人们不仅要开发各种门非常重要的学问。人们不仅要开发各种制造制造M