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文档简介
1、R面板(右手)R面板按钮1.BEAM:电子束阀开关:按下开关,打开V1 阀,开始TEM观察。2.光阑控制:未安装相应附件,不能工作。3.模式切换:1.TEM模式;2.EDS模式:高电流密度、微区照明模式,可用于能谱分析;3.NBD模式:小会聚焦、微区照明模式,用于纳米束衍射;4.CBD模式:大会聚焦、微区照明模式,用于会聚束衍射;5.a角选择钮:保持束斑尺寸不变的情况下,改变会聚角;6.束斑大小选择钮:改变束斑尺寸。4.房间灯开关:打开、关闭房间壁灯。R面板按钮5.DEF/STIG 开关:按下这些开关中的一个,开关内置的灯亮,利用DEF/STIG X(L-10) 和DEF/STIG Y(R-4
2、) 旋钮调节相应的线圈电流。再次按下开关,开关内置灯灭,关闭开关。IMAGE SHIFT switch: 在高的放大倍数下,打开IMAGE SHIFT 开关, 调节DEF/STIG(L-10,R-4)旋钮,平移图像;PLA switch: :在衍射模式下,打开PLA 开关,调节DEF/STIG(L-10,R-4)旋钮,改变投影镜偏转线圈电流,平移衍射斑点;COND STG switch: 打开COND STG 开关,调节DEF/STIG(L1-10,R1-4)旋钮,改变聚光镜像散线圈电流,校正聚光像散;OBJ STIG switch: 打开OBJ STIG开关,调节DEF/STIG(L1-10
3、,R1-4)旋钮,改变改变物镜像散线圈电流,校正物镜像散;DARK TILT switch: 打开DARK TILT 开关,调节DEF/STIG(L1-10,R1-4)旋钮,改变聚光镜束流偏转线圈电流值并记录在选择的内存,用于倾斜电子束,观测暗场像;BRIGHT TILT switch: 打开BRIGHT TILT 开关,调节DEF/STG(L1-10,R1-4)旋钮,改变聚光镜束流偏转线圈电流值并记录在选择的内存,用于倾斜电子束,观测明场像;NTRLswitch: 按下这个开关,清除所选择开关的内存记录。R面板按钮6.BRIGHTNESS旋钮:散开和收缩电子束,改变电子束的亮度。7.BRIG
4、HTNESS CRS开关:打开这个开关,BRIGHTNESS旋钮的每个步进增加16倍。8.SHIFT X旋钮:通过调节聚光镜偏转线圈电流,沿X方向平移电子束。9.SHIFT CRS开关:打开这个开关,SHIFT X旋钮的每个步进增加16倍10. DEF/STIG X旋钮(L-10):选择DEF/STIG开关,调节相应偏转线圈电流。11. DEF-STIG CRS开关:打开这个开关,DEF/STIG X旋钮的每个步进增加16倍。L面板(左手)L面板1.Wobbler switchesIMAGE WOBB X:用于聚焦。当开关打开,第一和第二束流偏转线圈周期性变化,如果图像远离焦平面,则图像沿X
5、方向抖动;IMAGE WOBB Y:用于聚焦。当开关打开,第一和第二束流偏转线圈周期性变化,如果图像远离焦平面,则图像沿Y 方向抖动;HT WOBB:用于电压中心合轴。当开关打开,电压周期性变化。2.Function switches:用于选择成像模式。选择模式下的放大倍数和相机长度可通过MAG-CAM L 旋钮改变。MAG 1开关:选择正常的放大模式:6000150000 倍;MAG 2开关:未设定;LOW MAG开关:选择低倍放大模式:802000倍;SA MAG开关:未设定;SA DIFF开关:选区衍射模式。L面板3.SHIFT Y旋钮:通过调节聚光镜偏转线圈电流,沿Y方向平移电子束。4
6、.DEF/STIG Y旋钮(R-4):选择DEF/STIG开关,调节相应偏转线圈电流。5.MAG/CAM L旋钮:打开MAG 1 开关或LOW MAG 开关,调节旋钮改变放大倍数;打开SA DIFF 开关,调节旋钮改变相机长度。顺时针转动旋钮,增加放大倍数或相机长度,逆时针转动旋钮减小放大倍数或相机长度。6.OBJ FOCUS 旋钮FINE旋钮:精细调焦;CORASE旋钮:粗调焦,是精细调焦步进的16 倍;CRS switch:打开这个开关,精细调焦和粗调焦的步进增加16 倍。7.DIFF FOCUS旋钮:在SA DIFF 开关打开时,衍射斑点聚焦;CRS switch:打开这个开关,旋转DI
7、FF FOCUS,步进增加16倍。L面板8.EXP TIME/PHOTO:照相机照相时的参数调节,现在使用gatan 公司的CCD,该项功能不能使用。9.STD FOCUS switch:按下这个开关,物镜电流恢复到原始参考值。10. F switches:只有F1 键用于打开盖板,用CCD 采集图像,其他键禁用。11. Z switches:调解样品的垂直高度。基本应用操作要点基本应用操作要点 选区衍射 明场像 暗场象 高分辨像 枪对中 电压对中 聚光镜消像散 聚光镜光阑对中 物镜消像散选区衍射选区衍射1、确定合轴完成2、TEM 、MAG1模式下,在适合的放大倍数下选择感兴 趣的区域,用tr
8、ackball将其移动至荧光屏中心3、选择适合尺寸的选区光阑插入光路,套取感兴趣区 域(1200nm,500nm,200nm,100nm)4、按下SA DIFF按钮转为衍射模式,退出物镜光阑,荧 光屏上出现衍射花样,调节MAG/CAM L旋钮至希望的 相机长度(20cm)5、顺时针旋转BRIGHTNESS使图像足够暗6、调节DIFF FOUCS获得圆锐的衍射斑点。明场像明场像1、获得感兴趣的选区衍射图像2、在SA DIFFT模式按下BRIGHT TILT按钮,用DEF/STIG X Y 旋钮将透射斑点移至荧光屏中心3、选择合适尺寸的物镜光阑插入光路,套取透射斑点3、按下MAG1按钮转为MAG模
9、式,退出选区光阑,荧光屏上出现明场图像4、调节放大MAG/CAM L旋钮,获得合适放大倍率的图像。中心暗场像中心暗场像1、获得感兴趣的选区衍射图像2、在SA DIFFT模式按下DARK TILT按钮用DEF/STIG X Y 旋钮将感兴趣的衍射斑点移至荧光屏中心3、选择合适尺寸的物镜光阑插入光路,只套取感兴趣的衍射斑点3、按下MAG1按钮转为MAG模式,退出选区光阑,荧光屏上出现中心暗场图像4、调节放大MAG/CAM L旋钮,获得希望的放大倍率的暗场图像。高分辨像高分辨像1、获得感兴趣的选区衍射图像2、在SA DIFFT模式按下PLA按钮,用DEF/STIG X Y旋钮将透射斑点移至荧光屏中心
10、3、选择合适尺寸的物镜光阑插入光路,同时套取透射和衍射斑点3、按下MAG1按钮转为MAG模式,退出选区光阑,荧光屏上出现明场图像4、调节放大MAG/CAM L旋钮,获得合适放大倍率的图像(400K以上),选 择洞边非晶区域,进行物镜消像散。5、调节OB旋钮,获得高分辨晶格像高分辨电子显微像拍摄顺序 电子显微镜的合轴 寻找试样薄区和合适的区域 大致设定衍射条件 物镜消像散 检查样品漂移 衍射条件的最终设定 设定拍摄放大倍率 设定最佳离焦量 设定合适的曝光时间 拍摄使用电镜必须牢记的内容使用电镜必须牢记的内容TEM是一台高真空设备是一台高真空设备TEM 总是保持在高真空状态,因此总是保持在高真空状
11、态,因此,插拔样品杆时一定要精心插拔样品杆时一定要精心TEM 是一台高电压设备是一台高电压设备200 kV的高电压用于加速电子运动,任何不合适的操作都很容易通过电的高电压用于加速电子运动,任何不合适的操作都很容易通过电子的放电损坏设备。子的放电损坏设备。场发射场发射TEM的电子枪必须保持在高真空状态的电子枪必须保持在高真空状态场发射场发射TEM的电子枪必须时刻保持在的电子枪必须时刻保持在10-7MPa的高真空下,否者就被损坏的高真空下,否者就被损坏.TEM 样品杆是一个脆弱的环节样品杆是一个脆弱的环节样品杆频繁的从电镜中插入和拔出,很容易造成样品杆的损坏,必须及时样品杆频繁的从电镜中插入和拔出,很容易造成样品杆的损坏,必须及时复位,同时还对电镜的真空造成破坏,导致电镜故障,维修费用昂贵。复位,同时还对电镜的真空造成破坏,导致电镜故障,维修费用昂贵。TEM CCD 很容易被损坏很容易被损坏强电子束强电子束的照射很容易损坏的照射很容易损坏CCD,其
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