扩散炉常见故障整合

1、1按下进舟按钮时,桨不移动1、桨速度未设置（300MM/MIN、500MM/MIN）；2、马达驱动器损坏，无法进桨；3、桨马达损坏或皮带断裂，无法运转；4、桨传动丝杠两端轴承卡死无法运行；5、工控机726板损坏，无法传输信号；2、 无法开机或黑屏 1、触摸屏损坏，无显示； 2、机台未上电，工控机未上电； 3、工控机电源损坏；3无法加热1、加热开关未开；2、热电偶短路断路保护，检查热电偶有无断路短路，并重新连接或更换；3、加热端子烧坏，无法加热，重新更换加热端子；4、加热功率触发板损坏，无法加热，更换触发板；气体流量异常1、流量计故障，可上下调换检查；2、压缩空气过低，气动阀无法动作，调整压缩空

2、气大小；3、气动阀损坏无法动作，更换气动阀；4、工控机812板元件损坏，更换812板；5、检查单向阀是否装反；6、24V直流电源损坏，无法提供电源控制电磁阀；5恒温槽温度异常1、恒温槽内液位低于顶部以下5CM；恒温槽内加入纯水至顶部以下3CM处；2、恒温槽循环泵卡死，无法进行水循环；更换循环泵；3、恒温槽制冷片损坏，更换制冷片；按上电开关不上电1 QX01主断路器断开1检查线路接点有无短路，重新合上2 R12继电器不工作2更换同型号的继电器3 F01熔断器芯熔断3 更换同型号的5A熔断器芯4上电按扭开关接触不良4 检查线路，重新接线温控器上显示00001 热电偶开路换新热电偶或重新热电偶及导线

3、2 热电偶与补偿导线接触不良3 补偿导线与温控器接触不良系统显示超温报警并自动切断加热电源1 热电偶开路1 接好热电偶2 可控硅烧坏短路2 换同型号的可控硅3 温度保护值低于工艺温度值3 重新设置保护温度4 可控硅触发板坏4 更换同型号的可控硅触发板炉体不升温1 前面板加热开关按扭失控1 检查按扭接线或更换2 可控硅输入保险烧坏2 更换100A保险3 触发板上保险烧坏3 更换同型号保险0.25A4 炉体加热丝断4 更换炉体5 可控硅开路5 更换同型号可控硅6 触发板触发电源故障6 检查来自源柜的+15V电源不能自动进出上下舟1面板上的急停按扭处于按下位置1 松开急停按扭2极限，限位开关没复位或

4、损坏2 检查平移行程开关及上下光电开关3驱动器与计算机通讯不上3 检查通讯线路4 驱动器本身显示报警状态4 检查或更换同型号驱动器5 平移，上下步进电机故障5 检查或更换同型号电机炉门不能自动开关1进气压力不够，压力报警1 调节气压，消除报警2 PLC与计算机通讯故障2 检查通讯线路3 PLC无输出3 检查PLC及相关线路4 PLC有输出但继电器没工作4 检查线路或更换同型号的继电器5电磁阀或汽缸故障5 检查或更换同型号的电磁阀或汽缸6 气路故障6 检查气路或更换气管无流量显示1 减压阀，手动阀没打开1 打开相应的阀门2 电磁阀没打开2 在计算机上打开相应的电磁阀3 流量计与计算机通讯故障3

5、检查线路或更换同型号流量计TempressTempress扩散炉扩散炉1TUBE尾气压力偏高检查尾气管是否被偏磷酸堵塞检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭2TUBE尾气压力偏低检查炉管是否存在缺口或裂口检查炉门是否关闭不良检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大3各气路流量异常检查气路阀的气路气管或接头是否漏气检查气路阀气是否损坏检查气路流量计是否工作正常4部分制程中Paddle TC温度偏高或偏低检查随温度升高，加热区的输入功率是否正常，如果有波动，可让工艺做profiling检

6、查Spike TC是否与炉管接触良好5全制程中Paddle TC温度较高或显示1499度检查Paddle TC接头是否接触不良检查paddle TC是否损坏6DMC通迅错误检查CPU模块错误指示灯是亮起在手动情况下确认各个电机和Sense是否正常检查各个电机到DMC的电缆是否损坏7在制程中卡桨检查电机是否损坏检查传动部分是否工作正常(丝杆和轴承)检查电机到DMC的电缆是否接触不良或断裂8炉管无法升温检查温度控制器是否警报9R2D机械手在自动或Home中不移动检查控制Y轴的保险丝是否烧断10R2D机械手在自动无法从桨上取舟检查工艺制程是否完成在R2D屏幕中检查输入输出通迅是否正常检查R2D机械手的触点开关是否工作正常检查Shuttle上的触点开关是否工