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文档简介

1、线切操作细节培训线切操作细节培训 一、 滑轮的检查与更换 PV800和442机型使用如上图所示双轨滑轮,所有双轨滑轮在开机前检查滑轮的磨损程度、转动是否灵活、有无松动,导轮中心是否呈V形。更换滑轮注意事项 1、每刀切割前检查滑轮及轴承使用情况,磨损严重的需要及时更换;2、在易耗品计数器中将滑轮的使用寿命设定为100小时,禁止私自更改;3、滑轮到达使用寿命,出现“易耗品计数器上升”报警时,必须更换槽位或滑轮,并将计数器清零,禁止更改滑轮使用时间或屏蔽;4、更换滑轮时必须将所有滑轮同时更换,确保滑轮更换的同步性;5、更换滑轮后,仔细确认滑轮安装情况以及气管连接情况;6、将换下的滑轮清洗干净放入指定

2、位置; 7、滑轮更换记录表的填写必须真实、完整、及时。8 、 在使用寿命100小时内,如何有效的检查滑轮的使用状况。使用薄约0.5mm厚刀片在滑轮槽内,轻微用力晃动,是否有卡住或者刀片无阻力。这需要大量的实际操作经验积累。 MB和B5 机型滑轮的检查方式 新 深度磨损 偏磨损滑轮更换方式为 :2刀一换 二、 操作中可能导致弯曲片1、锁晶托1)选择合适的晶托,先用水冲洗干净再用气枪吹干,确保表面无异物、螺丝孔内无砂浆;弹簧垫片用力过大会拧断螺丝2、将工件板用无尘纸擦拭干净,晶托残胶清理。3、准备锁紧螺丝及其相应的弹簧垫片4、用扭力扳手将螺丝扭紧5、在听到扭力扳手发出“咔”的响声后就不要再用力拧,

3、以防拧断螺丝120N1 将装好晶托的硅块装到工件车上2 用毛巾清洁夹具槽 3 用工件车将晶托挂到工件导轨里4 用力拉晶托对齐夹具槽里端,保持4硅块在同一直线上 注意:晶托未拉紧,会对硅块和机器造成重大损伤用力拉紧,不能有缝隙,使用刀片 尝试是否可以塞入。5)进入进刀夹紧画面,点“夹紧”健,夹紧硅块晶托反复点击“加紧”和“相反加紧”2-3次6)下降进刀装置,直至工件下端导向条接触线网6)按住键不放,慢速下降进刀装置复位键8)点击“复位”健,再按键不放,慢速上升进刀装置至-1.0左右 三、 切割原点的校正 442442切割原点对刀操作切割原点对刀操作在两块硅块高度一致的情况下,树脂条轻微接触线网原

4、点复位,在两块硅块高度一致的情况下,树脂条轻微接触线网原点复位,然后上升然后上升1mm即可。即可。 ( (图图1) (图(图2)在在B棒比棒比A棒低时,将棒低时,将A棒与棒与B棒的位置进行调换(图棒的位置进行调换(图1),更换),更换后后如如B棒与棒与线网接触,线网接触,A棒还相差棒还相差1mm时,取之间的平均差值时,取之间的平均差值0.5mm。B棒在轻微接棒在轻微接触线网后下压触线网后下压0.5mm。然后原点复位,上升工作台至。然后原点复位,上升工作台至-1mm。(图。(图2) 切割原点的校正-1mm-1mmBD在两块硅块高度一致的情况下,树脂条轻微接触线网原点复位,然后上在两块硅块高度一致

5、的情况下,树脂条轻微接触线网原点复位,然后上升升1mm即可。即可。HCT机台切割原点的校正HCT切割原点以最先接触线网的为基准,点击原点复位,上升1mm后在点击一次原点复位。DBHCT机台切割原点的校正 四、砂帘的判定方式 砂帘的判断方法.不好不好不好不好好线网上的砂帘线网 (好的砂帘)从机器侧到操作侧, 砂帘宽度相等; 不好的砂帘,从机器侧到操作侧, 砂帘宽度不相等.;检查砂帘步骤检查砂帘步骤: 打开砂浆,走动线网, 然后停止线网,接着观察砂帘是否良好 .(这样看起来更清晰, 能避免线网上以前砂浆痕迹的影响;a、布线前一定要检查主辊槽是否有磨损,表面是否粘有杂物,如有大量杂物则需剪掉线网刷洗

6、主辊,先用回收悬浮液刷洗,再用无尘纸擦干净,最后用无尘纸粘取酒精擦拭干净并用压缩空气吹干净;b、布线前需检查钢线有无异常,并需要检查钢线有无压线或者受损的情况,否则就需更换新的钢线;c、布线时必须保证左右主辊槽正确对位,一定要将左右主辊槽数对准,如左1槽对右1槽;d、进出线口滑轮必须使用直角尺进行测量,保证进出线口钢线与主辊的线槽相平行。d、跑新线时,观察移动架上下限位的情况,张力臂摆动是否异常;e、布好的线网不能有跳线、叠线、交叉线。如果出现使用胶带进行处理跳线,叠线后,必须使用酒精清理掉线网上的胶迹。五、布线网 六、下片的操作升棒前注意事项:升棒前注意事项:a、待切割结束后关闭砂浆,检查硅

7、块是否切透玻璃倒角(切至玻璃2-3mm),否则就需要加切;b、观察是否有掉片,倒角处是否有碎片、崩边;升棒操作规范:升棒操作规范:a、将升棒速度设为30mm/min;b、升棒的同时注意观察有无夹线或卡线,有则应停止升棒,将线压平再继续;c、如发生大量卡线现象,硅片成八字型时,表面硅片间浆料很多,则剪线网升棒下棒注意事项:下棒注意事项:a、升棒结束后观察掉片情况;b、硅棒中夹有掉的硅片时应将片拿下再下棒;c、下棒车必须与硅棒对齐,慢慢的拖入工件小车,同时观察工件小车两边是否会和硅片相碰撞,目的是避免硅棒刮伤或造成掉棒事故;d、卸片后停留不应操作40分钟,应及时送往预清洗区并交接数量;八、断线处理

8、办法和工序 断线处理办法和工序首先做好断线记录(断线时间、机台号、部位、切割深度 断线图片)留好线头,详细步骤如下;一、查明断线原因及断线情况。二、如实填写并在随工单上注明断线信息三、.处理流程; 1、在出线端断线,宽度不超过10毫米的直接拉线切割。 2、切深40mm中部或进线端断线,以30mm/min直接升起迅速布线,砂浆冲洗硅片,冲片时在线网上铺上无尘纸,冲开粘在一起的片子后,迅速把晶棒降到距线网2mm处,然后以10mm/min的进给认真仔细的“认刀”。 3、中部或进线端断线,切深在50mm-80mm之间的,以10mm/min的速度升料到距进刀处30-40毫米停止。线速调到2m/s,以2%

9、走线1cm以调平线网停止。打开砂浆8000流量均匀冲片子,把晶棒两侧的线网小心的剪掉(剪时要用手捏着)留出3-4厘米的线头,另一端不剪(进线端有线网的一定要保留该部分线网以便重新布线,剪两侧线网时一定要用手或其他夹紧物,夹紧预留的线网头)布线网,重新切割。 4、进线端或中部断线切深超过60mm的视情况能认刀的就认刀否则就反切或直接拉线正向切割。 5、进线端断线,第一次断线,切深在100mm.1换掉放线轮,用一个空的收线轮来代替。以低于原2N(左19和右21)的张力,切割线方向改为右,其他参数不变,手动2m/s的线速走1m,打开砂浆。 6、把晶棒提升至15mm-25mm处,然后从断线处拉出钢线,

10、以4cm一根钢线的间距拉到收线端,收线张力改小1N,继续切割。经12N的线速走线100-200米,改张力为自动切割的张力,每秒1米,打开砂浆,走到出线端5米时,把张力改为15N,待线头在收线轮上绕2-3圈,改回原来的张力。把晶棒压到断线位置误差在0.05mm,打开砂浆,以1m/s速度走上1m,经确认无误后进行切割。 7、经上环节中必须处理好线网(其中包括,碎片、胶条、沙浆颗粒)在升晶棒前,把胶条去掉,上升速度为每分钟10mm,上升过程中如夹线,不可用手去摸,只能用手动轻微探摁一下,把线网走平。 8、认线前5m/s的速度走线100m,在不松开张力的情况下,停止走线,然后以10mm/min认刀,要一次性认进。 9、反向切割工艺设置修改:切割张力分别减小1N.八、断线你处理办法和工序断线处理办法和工序四、断线晶棒的处理注意事项: 1、切割是否执行的本次断线的切割工艺在运行, 程序始端需按下去,执行本次程序的切割完成.在切割后查看切割位置是否在下降,如一切都是正常,切割位置上升,停下机器,进入运行准备宏程序调整修改程序段 上次执行的程序段号 修改成600 .就可以继续切割. 2、 在用水冲洗硅片后. 硅片要吹分离开来. 在认刀的时候先认刀进入百分之八十的位置停止,打开砂浆,因为在晶棒断线根部处的水分是没有办法吹干净,打开砂浆后继续认刀. 把晶棒压到断线位置误差在0.05mm

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