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文档简介
1、2022/7/171条纹解释: 透射光路(透明试件): 位相物体是指忽略内部折射效应的透明物体。当光线穿过此物体时将沿入射方向出射不发生偏折,但产生相应的位相延迟。 2022/7/172条纹解释: 反射光路(不透明试件): 由于观察系统的孔径是有限的,因此仅仅以试件表面上 P 点为中心的小区域内的点对观察记录平面上Q点的光强有贡献 。被称为Q点对应的物面Airy斑,其大小一般为微米或几十微米量级。2022/7/173条纹解释: 反射光路(不透明试件):, 变形前:定义灵敏度矢量:2022/7/174条纹解释: 反射光路(不透明试件):变形后小区域内的 M 点移到M点,相应的位置矢量由 变为 ,
2、对应的位移为 。由于区域很小,可认为区域内位移和子光波实振幅均为常数。合成再现光强:2022/7/175反射光路(不透明试件):, 合成再现光强:条纹方程: 干涉条纹实际上是位移在灵敏度矢量方向分量的等值线. 2022/7/176 灵敏度分析提高灵敏度的方法:减小照明激光的波长改变灵敏度矢量的方向,减小其与位移方向的夹角增大灵敏度矢量的大小。测试方法的灵敏度是指该法可以测量的最小物理量值。对干涉方法,一般以一阶条纹对应的被测物理量值定义为方法的灵敏度。可以由条纹方程计算物理量对条纹级数的偏微商得到。现在,位移测试灵敏度为:由2022/7/177反射光路(不透明试件):灵敏度矢量:定义: 方向:沿 夹角的平分线方向。大小: 与 的夹角有关。夹角越小灵敏度矢量的模越大,灵敏度越高 。当 同向时,达到最大值 2 。光路布置原则: 的夹角越小越好灵敏度矢量 与位移矢量的夹角越小越好 2022/7/178实例1:薄方板受纯扭 SZXQ122022/7/179实例 2:讨论如下条件下得到的再现全息图的干涉条纹形状: 试件被与表面法线成60度方向的准直相干光照明,再现时沿表面法线方向准直观察,平板试件做如下运动面内刚体平移离面刚
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