6.磷扩散实验六扩散工艺_第1页
6.磷扩散实验六扩散工艺_第2页
6.磷扩散实验六扩散工艺_第3页
6.磷扩散实验六扩散工艺_第4页
6.磷扩散实验六扩散工艺_第5页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领

文档简介

1、n-p-np-n三极管的集电极必须在硅片的表面引出,为了减小集电极的串联电阻 rcs电极底部设计了一个低租的 n(5n-p-np-n三极管的集电极必须在硅片的表面引出,为了减小集电极的串联电阻 rcs电极底部设计了一个低租的 n(51015/cm3杂志浓度越 从工艺上如何控制Re/RbWbRe/Rb1020/cm3/360/RsWbWbWbWb区调变效应显著,对Wb=Xjc-Xje的大小就决定于发射结结深XjeXje/360/RsWbWbWbWb区调变效应显著,对Wb=Xjc-Xje的大小就决定于发射结结深XjeXje25SiP2O775%偏磷酸铝 Al(PO3)3700800SiP2O7Si

2、O2+Al(PO3)3AlPO4+P2O5SiSiO2 和P5Si+215做过外延的 n 型陪片。在炉温 1000 的情况下, 分 4 次各取出一块试片和一块陪片, 时间分别为10,20,30,40将扩散后的试片和衬底片用 HF:H2O=1:1子水漂洗干净,用分析滤纸吸干。分别用四探针测量陪片的方块电阻 Rs,针和图示仪测量试片的、BVCEO、BVCBO、BVEBO,然后作 Rst 关系曲线和3、BVCEO、BVCBO12NPN3将扩散后的试片和衬底片用 HF:H2O=1:1子水漂洗干净,用分析滤纸吸干。分别用四探针测量陪片的方块电阻 Rs,针和图示仪测量试片的、BVCEO、BVCBO、BVEBO,然后作 Rst 关系曲线和3、BVCEO、BVCBO12NPN3题 TtRe 减小, XjeWb,增加,BVEBOBVCEO2磷扩散浓度越高,随着浓度增加,增加,但是浓度过高的时候,3Wb4BVCEO原因之一,在 eb题 TtRe 减小, XjeWb,增加,BVEBOBVCEO2磷扩散浓度越高,随着浓度增加,增加,但是浓度过高的时候,3Wb4BVCEO原因之一,在 ebIb当 ?当工艺卫生和衬底材料较差时,会引起严重的表面漏电和管道漏电,使 Ib 增大,造成?当工艺卫

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论