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1、n-p-np-n三极管的集电极必须在硅片的表面引出,为了减小集电极的串联电阻 rcs电极底部设计了一个低租的 n(5n-p-np-n三极管的集电极必须在硅片的表面引出,为了减小集电极的串联电阻 rcs电极底部设计了一个低租的 n(51015/cm3杂志浓度越 从工艺上如何控制Re/RbWbRe/Rb1020/cm3/360/RsWbWbWbWb区调变效应显著,对Wb=Xjc-Xje的大小就决定于发射结结深XjeXje/360/RsWbWbWbWb区调变效应显著,对Wb=Xjc-Xje的大小就决定于发射结结深XjeXje25SiP2O775%偏磷酸铝 Al(PO3)3700800SiP2O7Si
2、O2+Al(PO3)3AlPO4+P2O5SiSiO2 和P5Si+215做过外延的 n 型陪片。在炉温 1000 的情况下, 分 4 次各取出一块试片和一块陪片, 时间分别为10,20,30,40将扩散后的试片和衬底片用 HF:H2O=1:1子水漂洗干净,用分析滤纸吸干。分别用四探针测量陪片的方块电阻 Rs,针和图示仪测量试片的、BVCEO、BVCBO、BVEBO,然后作 Rst 关系曲线和3、BVCEO、BVCBO12NPN3将扩散后的试片和衬底片用 HF:H2O=1:1子水漂洗干净,用分析滤纸吸干。分别用四探针测量陪片的方块电阻 Rs,针和图示仪测量试片的、BVCEO、BVCBO、BVEBO,然后作 Rst 关系曲线和3、BVCEO、BVCBO12NPN3题 TtRe 减小, XjeWb,增加,BVEBOBVCEO2磷扩散浓度越高,随着浓度增加,增加,但是浓度过高的时候,3Wb4BVCEO原因之一,在 eb题 TtRe 减小, XjeWb,增加,BVEBOBVCEO2磷扩散浓度越高,随着浓度增加,增加,但是浓度过高的时候,3Wb4BVCEO原因之一,在 ebIb当 ?当工艺卫生和衬底材料较差时,会引起严重的表面漏电和管道漏电,使 Ib 增大,造成?当工艺卫
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