《微电子工艺实验》课程教学大纲_第1页
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文档简介

1、微电子工艺实验Microelectronics technics （Experiments）一、课程基本情况课程总学时：48学时实验总学时： 16学时学 分：3学分开课学期：第6学期课程性质：选修对应理论课程：微电子工艺适用专业：电子科学与技术教 材：微电子工艺原理,化学工业出版社，李薇薇，2007开课单位：电子与信息工程学院 电子科学与技术系二、实验课程的教学目标和任务“微电子工艺实验”是微电子工艺课程教学内容的一部分，是微电子工艺课程的课内实验。实验内容包括设计一个基于51系列单片机的温湿度测量与显示系统；设计一个基于51系列单片机的气压测量与显示系统。所设计系统以51系列单片机为核心，采

2、用温湿度和气压传感器采集温湿度和气压信号，将采集到的信号转换成数字信号，再运用单片机进行数据的分析和处理，在显示器上显示当前检测的温湿度和气压。该实验课程可以加强训练学生基本的实验技能，培养分析和解决问题的能力。增强电子科学与技术专业学生对该课程知识的感性认识，帮助学生进一步理解该门课程所涉及的内容，是培养学生实践技能的重要方面。对学生的具体要求是：正确使用微电子实验仪器；掌握系统设计的流程与方法，能正确地分析实验与设计中所遇到的各种现象；掌握数据整理、实验结果分析和系统调试的正确方法。三、实验课程的内容和要求 序号项目名称所需学时内 容 提 要项目要求实验类型必开选开实验一温湿度测量与显示系

3、统设计（一）2了解51系列单片机和温湿度传感器等芯片的特性。设计温湿度测量与显示系统设计（二）2确定总体设计方案，学习与设计相关内容。设计温湿度测量与显示系统设计（三）2进行系统软硬件设计，确定电子元器件的选用、布局、排版，进行电路板的焊接。温湿度测量与显示系统设计（四）2根据实时检测外部环境的温度和湿度结果，进行提出改进方案。设计实验二气压测量与显示系统设计（一）2了解M430系列单片机和气压传感器等芯片的特性设计气压测量与显示系统设计（二）2确定总体设计方案，学习与设计相关内容。设计气压测量与显示系统设计（三）2进行系统软硬件设计，确定电子元器件的选用调试。设计气压测量与显示系统设计（四）2进行系统器件布局、排版、电路板的焊接现调试。根据实时检测外部环境的气压结果，提出改进方案。设计四、课程考核（1）实验报告的撰写要求：内容包括系统总体设计方案、单片机和传感器芯片的介绍、电路图、软件设计、参考文献等。格式规范，语句通顺，结构合理。（2）实验实习报告：2 次；（3）考核及成绩评定：占总评成绩的10%五、参考书目1. 美Stephen A. Campbell著，严利人等译，微纳尺度制造工程（第三版），电子工业出版社，20112施敏，半导体器件物理及工艺原理，科学出版社，1

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