OLEDCELL制程和设备介绍专题培训课件

1、OLED CELL制程和设备介绍目录 Contents1OLED CELL制程功能简介2OLED CELL工艺流程简介3CELL内各工艺制程及设备介绍Gap sealing偏光片贴附CELL测 试Cell Aging Cell 切 割 1/4 切 割 清 洗 检 查 磨 边ArrayCELL前Cr 的 刻 蚀ITO 的 刻 蚀制 作 绝 缘 层阴 极 隔 离 柱OLED CELL制程功能简介5.5G Array基板4分切割以便投入蒸镀1/4中片切割成Panel前制程&本制程不良检出完成Aging/Gap seal/偏光片贴附后output to MODOLED CELL工艺流程简介ArrayO

2、LEDTP/Cover iutputLTPS Input1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED封装Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍【1/4切割目的】：利用刀轮，将5.5G 单板Glass(13001500mm)切割成1/4中片(650750mm)，以

3、便适用于OLED蒸镀封装设备。LTPS/Cover Input1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLED CELL工艺流程及设备介绍【切割原理】：利用高硬度的聚合金刚石刀轮，在玻璃表面形成沿着刀轮行进方向，垂直于玻璃表面的纵向裂纹，从而使玻璃能沿切割方向断开。以产生Median Crack为主,其它Crack越小越好。LTPS/Cover Input1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLED CELL工艺流程及设备介绍【切割设备】：【切割品质要求】：切割尺寸精度、切割深度、玻璃强度。【切割工艺参数】：刀轮角

4、度、切割压力、切割速度、刀轮下压量等；插孔挡片刀头单体机全自动全自动LTPS/Cover Input1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装砂轮OLED CELL工艺流程及设备介绍砂 轮【磨边目的】：利用高速旋转的砂轮，将切割后Glass倒角，及边缘磨边，将不良（崩缺、裂纹、凸缘等）研磨掉，避免此类不良在后制程中导致破片。LTPS/Cover Input1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLED CELL工艺流程及设备介绍【磨边设备】：【磨边工艺参数】：研磨量、研磨角度；【磨边品质要求】：研磨精度搬送单元CCD

5、Align单元研磨砂轮单元砂轮Glass Cover研磨平台单元LTPS/Cover Input1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLED CELL工艺流程及设备介绍毛 刷2流体喷淋纯水洗净Air Knife风干【清洗目的】：利用毛刷、2流体喷淋去离子水等冲洗干净Glass，并风刀风干，避免Particle污染后制程。LTPS/Cover Input1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLED CELL工艺流程及设备介绍OLED【检查目的】：利用CCD Camera扫视Glass基板边缘，识别边缘缺陷（崩缺、

6、裂纹、凸缘等）并拦截不良Glass。LTPS/Cover Input1/4切割磨边(Grinding)清洗(Clean)外观检查OLED蒸镀/封装OLED CELL工艺流程及设备介绍【Cell切割目的】：利用刀轮，将贴合后中片Glass切割成Cell。Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍【OLED Cell切割设备】：切割-翻面-切割 机型俯视图上切割-

7、下切割 机型侧视图上下同时切割 机型侧视图 Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍【Cell Aging目的】：通过点亮OLED产品并施加一定电压、电流、温度，持续一定时间，使OLED有机发光材料有效融合，改善发光稳定性及显示寿命。Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeel

8、ingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍【Cell Aging设备】：Align SystemAging Chamber SystemUnloading SystemBlade最小Pitch: 85umFPCB最小Pitch: 180umPogo Pin最小Pitch: 300um Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol Rework

9、Auto ClaveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍【一次VT目的】：不良检测：利用测试治具点亮产品，在特定画面下检测筛选出显示不良品（不良主要为Array/OLED蒸镀阶段的点类/线类/mura类不良）； Device监控：点亮产品，测量亮度、对比度、色坐标、CIE等光学指标是否正常。【二次VT目的】：利用测试治具点亮产品，在特定画面下检测筛选出显示不良品（不良主要为一次电测可能漏检的前制程不良以及偏光片类显示不良）。亮度：XXXX对比度：XXXXCIE：XXXXCell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap

10、SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍【VT治具】： Number of signal output : 42signals Number of power output : 10powers Editing of signal width is 0.1us step. Rising time of signal is under 100ns. Maximum level of signal is -15V+15V. Maximum power output

11、 level is -20V+20V. Maximum current output 2,000mA.PGCell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍LED UVLED UVLED UV喷 阀【Gap sealing目的】：利用喷阀喷射UV胶至AMOLED边缘（Pad区边缘除外），使胶渗入基板与封装玻璃之间的缝隙。并LED 线性UV侧照固化，借以增强产品的粘合强

12、度与防水性。Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell Output流片方向OLED CELL工艺流程及设备介绍【Gap sealing设备】：Tray上料喷涂封胶UV固化下料撞针UV1UV3UV2喷阀CCDCell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkA

13、uto ClaveCell Output【Gap sealing工艺参数】：点胶压力、点胶循环时间、点胶速度、UV固化时间；【Gap sealing品质要求】：喷涂精度、溢胶高度、UV胶气泡等；OLED CELL工艺流程及设备介绍【Polishing clean目的】：利用研磨装置、毛刷、2流体喷淋等手段洗净毛 刷2流体喷淋纯水洗净Air Knife风干研磨带研磨头旋转清洗研磨带清洗Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto C

14、laveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍离 型 膜偏光片本体保 护 膜 表面附有胶粘剂【偏光片贴附目的】：将偏光片剥离离型膜后贴附于AMOLED产品出光侧玻璃表面，使偏光片对OLED显示起到防眩光和消光作用。Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍【圆偏光片作用原理】：对OLED显示起到防眩光和消光作用。without filmsw

15、ith films有外光入射without filmswith films无外光入射OLED偏光片/4 位相差板Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell OutputOLED CELL工艺流程及设备介绍【偏光片贴附设备】：【偏光片贴附工艺参数】：1、贴附速度；2、贴附压力；3、贴附Gap；4、贴附角度。【偏光片贴附品质要求】：1、贴片精度；2、贴片气泡；3、偏贴Particle（异物）；4、前端贴附气泡线/印痕Panel贴付Roller偏光片偏光片吸着TablePanel吸着TablevTable移动竖立双面贴附panel偏光片贴附滚轮偏光片panel贴附滚轮水平贴附:panel上Pol下偏光片贴附滚轮Panel吸着垫辅助贴附Cell input清洗覆膜Cell切割清洗(Clean)TP测试Cell Aging一次VT Gap SealingPeelingPolishing clean偏光板贴附二次VT Pol ReworkAuto ClaveCell Output滚筒双面贴附PanelPol滚筒OLED CELL工艺流程及设备介绍【Au