线路板蚀刻液再生利用项目调查报告

1、PAGE PAGE 74线路板氯氯化铜蚀蚀刻废液液现场再再生利用用项目调查评估估报告编制单位位：*市环境境工程咨咨询服务务中心20077年033月122日责 任任 表表项目名称称：线路路板氯化化铜蚀刻刻废液现现场再生生利用项项目调查查评估报报告委托单位位：*处处理站*环保股股份有限限公司承担单位位：*市环境境工程咨咨询服务务中心法人代表表：* 注册咨咨询工程程师项目负责责人：*注册咨咨询工程程师参加人员员：姓名咨询工程程师注册册号环评上岗岗证号分工签字*咨询24400*环评B228*项目设计计报告执笔笔*环评B228*风险评价价*咨询24400*环评B228*审定目录一、任务务由来线路板被被称

2、为电电子产品品母板，所有的的IC、集成电电路、电电阻、电电容的组组装均离离不开线线路板，是为信信息产业业服务的的必不可可少的上上游供应应链，由由于深圳圳市政府府高度重重视通讯讯、信息息、数码码产业发发展，在在信息产产业得到到高速发发展的同同时，作作为基础础产业的的线路板板行业也也得到长长足发展展。深圳市目目前已成成为我国国最重要的的线路板板生产基基地之一一，现有有线路板板生产企企业约4450家家，年总产值达达1999.9亿亿元，占占全国PPCB总总产值8850亿亿元的223.55%，从从业人员员总数超过过20万万人。目前线路路板生产产企业所所采用的的线路板板覆铜板板蚀刻工工艺，主主要有“盐酸+

3、氧化剂剂蚀刻”和“氨水+氯化铵铵蚀刻”两种。前一种种生产工工艺所产生的的蚀刻废废液主要要含氯化化铜和盐盐酸，呈呈强酸性性，称为为酸性氯氯化铜蚀蚀刻废液液；后一种生生产工艺艺所产生的的蚀刻废废液主要要含氯化化铜氨络络合物和和氯化铵铵，废液液呈偏碱碱性，称称为碱性性氯化铜铜蚀刻废废液。两两种废液液中铜含量量约为5%15%，均属危险险废物，潜在价价值均很高。对于蚀刻刻废液的的处理，线路板板行业一一贯延续续的处理理方式是是将废液液交由具具有危险险废物处处理资质质的专业业公司资源源化综合合利用，主要是是以其为为原料生生产硫酸酸铜产品品，对于于线路板板生产企企业经济济效益相对对较低。*处处理站为为我国含含

4、铜蚀刻刻废液综综合利用用技术研研究的先先行者，历经110年研研究开发发成功并并首先在在该站应应用，还还经过多多次技术术改造日日趋成熟熟完备，取得了了非常良良好的经经济效益益和环境境、社会会效益，为保障障深圳经经济与环环境的协协调持续续发展做做出贡献献。该技技术的基基本原理理是将印印制线路路板碱性性蚀刻废废液与酸酸性氯化化铜蚀刻刻废液进进行中和和沉淀，生成的的碱式氯氯化铜沉沉淀用于于生产工工业级硫硫酸铜；沉淀压压滤母液液用于生生产碱性性蚀刻液液；其余余废水经经金属铝铝屑置换换去除铜铜离子，进行蒸蒸发浓缩缩生产混混合铵盐盐。另将将三氯化化铁蚀刻刻废液投投铁提铜铜后通入入氯气并并蒸发浓浓缩，生生成三

5、氯氯化铁回回用于线线路板蚀蚀刻。目目前己开开发出硫硫酸铜、碱式碳碳酸铜、饲料级级碱式氯氯化铜、氢氧化化铜等多多种铜盐盐产品。*处理站站的“综合利利用电子子线路板板行业含含铜蚀刻刻废液生生产工业业级硫酸酸铜”列列入国家家科技成成果重点点推广计计划，获获国家环环保总局局科技进进步二等等奖；“印制线线路板行行业氨蚀蚀板废液液经酸性性氯化铜铜蚀板废废液中和和沉淀后后的再生生利用”获广东东省最佳佳实用技技术、深深圳市科科技进步步三等奖奖。随着线路路板行业业清洁生生产的推推广，目目前部分分线路板板企业采采取蚀刻刻液萃萃取电电积（EET-SX-EW）再生闭闭路循环环工艺，该工艺处处理失效效蚀刻液液时，可可随

6、意调调节，在在被萃取取液中能能萃取一一定量的的铜或全全部萃取取铜，萃萃取出来来的铜，可以用用电解法法生产紫紫铜板或或用生产产硫酸铜铜；部分分线路板板企业采采用长沙沙绿铱环环保科技技有限公公司的蚀蚀刻液再再生机回回收铜，对失效效蚀刻液液再生处处理，循循环使用用。鉴于印制制线路板板生产厂厂家自行行回收利利用蚀刻刻液将对对我市实实行的危危险废物物集中处处理模式式构成一一定的冲冲击，对对危险废废物集中中处理处处置单位位的经营营造成一一定的影影响，受受*处理站站、*环保股股份有限限公司的的委托，*环境工工程咨询询服务中中心承担担对相关关厂家采采用的氯氯化铜蚀蚀刻废液液现场再再生利用用项目的的现场调调查任

7、务务，并通过过现场调调查所取取得的技技术资料料和管理理现状，向*处理理站、*环保股股份有限限公司提提供氯化化铜蚀刻刻废液现现场再生生利用项项目调查查评估报报告。二、企业业自主回回收利用用蚀刻液液的合法法性分析析1、中中华人民民共和国国固体废废物污染染环境防防治法的相关关规定修订后的的中华华人民共共和国固固体废物物污染环环境防治治法自自20005年44月1日日起施行行，该法法律中的的部分条条款简单单摘要说说明如下下：第三条 国家对对固体废废物污染染环境的的防治，实行减减少固体体废物的的产生量量和危害害性、充充分合理理利用固固体废物物和无害害化处置置固体废废物的原原则，促促进清洁洁生产和和循环经经

8、济发展展。 第五条 国家对对固体废废物污染染环境防防治实行行污染者者依法负负责的原原则。第三十二二条 国国家实行行工业固固体废物物申报登登记制度度。产生工业业固体废废物的单单位必须须按照国国务院环环境保护护行政主主管部门门的规定定，向所所在地县县级以上上地方人人民政府府环境保保护行政政主管部部门提供供工业固固体废物物的种类类、产生生量、流流向、贮贮存、处处置等有有关资料料。第三十三三条 企企业事业业单位应应当根据据经济、技术条条件对其其产生的的工业固固体废物物加以利利用；对对暂时不不利用或或者不能能利用的的，必须须按照国国务院环环境保护护行政主主管部门门的规定定建设贮贮存设施施、场所所，安全全

9、分类存存放，或或者采取取无害化化处置措措施。第五十三三条 产产生危险险废物的的单位，必须按按照国家家有关规规定制定定危险废废物管理理计划，并向所所在地县县级以上上地方人人民政府府环境保保护行政政主管部部门申报报危险废废物的种种类、产产生量、流向、贮存、处置等等有关资资料。第五十五五条 产产生危险险废物的的单位，必须按按照国家家有关规规定处置置危险废废物，不不得擅自自倾倒、堆放；不处置置的，由由所在地地县级以以上地方方人民政政府环境境保护行行政主管管部门责责令限期期改正；逾期不不处置或或者处置置不符合合国家有有关规定定的，由由所在地地县级以以上地方方人民政政府环境境保护行行政主管管部门指指定单位

10、位按照国国家有关关规定代代为处置置，处置置费用由由产生危危险废物物的单位位承担。禁止无经经营许可可证或者者不按照照经营许许可证规规定从事事危险废废物收集集、贮存存、利用用、处置置的经营营活动。 禁止将危危险废物物提供或或者委托托给无经经营许可可证的单单位从事事收集、贮存、利用、处置的的经营活活动。以上条款款说明，产生危危险废物物的单位位，必须须按照国国家有关关规定处处置危险险废物，并向所所在地县县级以上上地方人人民政府府环境保保护行政政主管部部门申报报危险废废物的种种类、产产生量、流向、贮存、处置等等有关资资料，并并应当根根据经济济、技术术条件对对其产生生的工业业固体废废物加以以利用。2、中中

11、华人民民共和国国清洁生生产促进进法的的相关规规定20022年6月月29日日通过20003年年1月11日起施施行的中华人人民共和和国清洁洁生产促促进法第二十十六条规规定“企业应当当在经济技技术可行行的条件件下对生产和和服务过过程中产产生的废废物、余余热等自自行回收收利用或或者转让让给有条条件的其其他企业业和个人人”。中华人人民共和和国清洁洁生产促促进法鼓励企企业在经经济技术术可行的的条件下对生产过过程中产产生的废废物自行行回收利利用或者者转让给给有条件件的其他他企业和和个人。中华人人民共和和国清洁洁生产促促进法见附件件1。3、国国务院关关于加快快发展循循环经济济的若干干意见国发2000522号号

12、的相关内容容国务院院关于加加快发展展循环经经济的若若干意见见中明确确的“发展循循环经济济的重点点工作和和重点环环节”分别是是：重点工作作。一是是大力推推进节约约降耗，在生产产、建设设、流通通和消费费各领域域节约资源源，减少少自然资资源的消消耗。二二是全面面推行清清洁生产产，从源源头减少少废物的的产生，实现由由末端治治理向污污染预防防和生产产全过程程控制转转变。三三是大力力开展资资源综合合利用，最大程程度实现现废物资资源化和和再生资资源回收收利用。四是大大力发展展环保产产业，注注重开发发减量化化、再利利用和资资源化技技术与装装备，为为资源高高效利用用、循环环利用和和减少废废物排放放提供技技术保障

13、障。重点环节节。一是是资源开开采环节节要统筹筹规划矿矿产资源源开发，推广先先进适用用的开采技技术、工工艺和设设备，提提高采矿矿回采率率、选矿矿和冶炼炼回收率率，大力力推进尾尾矿、废废石综合合利用，大力提提高资源源综合回回收利用用率。二二是资源源消耗环环节要加加强对冶冶金、有有色、电电力、煤煤炭、石石化、化化工、建建材（筑筑）、轻轻工、纺纺织、农农业等重重点行业业能源、原材料料、水等等资源消消耗管理理，努力力降低消消耗，提提高资源源利用率率。三是是废物产产生环节节要强化化污染预预防和全全过程控控制，推推动不同同行业合合理延长长产业链链，加强强对各类类废物的的循环利利用，推推进企业业废物“零排放放

14、”；加加快再生生水利用用设施建建设以及及城市垃垃圾、污污泥减量量化和资资源化利利用，降降低废物物最终处处置量。四是再再生资源源产生环环节要大大力回收收和循环环利用各各种废旧旧资源，支持废废旧机电电产品再再制造；建立垃垃圾分类类收集和和分选系系统，不不断完善善再生资资源回收收利用体体系。五五是消费费环节要要大力倡倡导有利利于节约约资源和和保护环环境的消消费方式式，鼓励励使用能能效标识识产品、节能节节水认证证产品和和环境标标志产品品、绿色色标志食食品和有有机标志志食品，减少过过度包装装和一次次性用品品的使用用。政府府机构要要实行绿绿色采购购。国务院院关于加加快发展展循环经经济的若若干意见见将废物资

15、资源化、各类废废物的循循环利用用，推进进企业废废物“零零排放”作为发发展循环环经济的的重点工工作和重重点环节节。国务院院关于加加快发展展循环经经济的若若干意见见见附件件2。4环函函200052033号的相相关解释释说明关于企业业回收利利用自身身产生的的危险废废物是否否属于危危险废物物经营活活动的问问题，国国家环境境保护总总局20005年年05月31日函复吉林林省环境境保护局局的环函200052203号号关于企企业回收收利用自自身产生生的危险险废物是是否属于于危险废废物经营营活动的的复函明确，回回收利用用企业内内部产生生的危险险废物，不属于于利用危危险废物物的经营营活动。因此，对于回回收利用用内

16、部产产生的危危险废物物的企业业，不要要求领取取危险废废物经营营许可证证,但必必须遵照照危险废废物申报报登记、转移联联单制度度，将危危险废物物的产生生、转移移、利用用及处置置情况向向环保主主管部门门进行申申报和登登记，并并保证危危险废物物回收利利用符合合相应的的环保标标准，得得到妥善善无害化化处置。国家环境境保护总总局环函函200052033号详见见附件33。5、相关关产业政政策为适应高高新技术术及产品品快速发发展的需需要，在在中国国高新技技术产品品目录220000的基基础上，科技部部、财政政部、国国家税务务总局共共同组织织开展了了中国国高新技技术产品品目录的修订订工作。经过公公开征集集、专家家

17、评审，并对照照国家家中长期期科学和和技术发发展规划划纲要（20006-220200年）中的重重点领域域、优先先主题和和前沿技技术等，形成了了中国高高新技术术产品目目录20006，20006年年9月88日科技技部、财财政部、国家税税务总局局以国科发发计字200063370号号予以正正式发布布。蚀刻液资资源回收收装置被被列入中国高高新技术术产品目目录20006中，产产品编码码为08802000055，属于于环境保保护领域域，产品品界定条条件包括括蚀刻废废液处理理量25000l/d、洗洗板废水水处理量量10000l/d、金金属铜回回收3500kg/d、铜铜回收率率99%、蚀刻刻液封闭闭循环，用于电电

18、子工业业废液的的回收和和再生，产品等等级分类类属于*，技术水水平属于于最高档档。中国高高新技术术产品目目录20006详见附附件4。6、相关关技术政政策国家环保保最佳实实用技术术评选和和推广工工作从119922年开始始开展，目前该该项工作作由中国国环境保保护产业业协会负负责，一一九九九九年六月月二十一一日国家家环境保保护总局局第4号号令发布布施行了了国家家重点环环境保护护实用技技术推广广管理办办法，该办法法规定“国家重重点环境境保护实实用技术术是指在在一定时时期内同同国家经经济发展展水平相相适应的的、先进进实用的的污染防防治技术术、资源源综合利利用技术术、生态态保护技技和清洁洁生产技技术。国国家

19、环境境保护总总局负责责国家重重点环境境保护实实用技术术推广工工作的统统筹规划划、组织织协调和和监督管管理。”，同时时该办法法第十条条要求“各级环环境保护护行政主主管部门门在环境境影响评评价、建建设项目目“三同同时”、污染源源及重点点流域限限期治理理、城市市环境综综合整治治定量考考核、生生态保护护等环境境管理中中，应鼓鼓励优先先选用国国家重点点环境保保护实用用技术。”、第十一一条要求求“各级环环境保护护行政主主管部门门应设立立国家重重点环境境保护实实用技术术推广专专项资金金，用于于支持国国家重点点环境保保护实用用技术的的推广。”、第十二二条要求求“污染源源治理专专项基金金和环保保补助资资金，应应

20、优先用用于采用用国家重重点环境境保护实实用技术术的建设设项目。”长沙绿铱铱环保科科技有限限公司：长沙绿铱铱环保科科技有限限公司开开发的“蚀刻液液再生循循环新技技术”于二六年获获评为国家家重点环环境保护护实用技技术项目目B类，项目编号号为20006-B-0037，具体情情况见附附件5。深圳拓鑫鑫环保设设备公司司、恩达电电路（深深圳）有有限公司司：中环协20007110号关于发发布二七年年国家重重点环境境保护实实用技术术推广项项目的通通知中中将深圳圳拓鑫环环保设备备公司开开发的“印制板板蚀刻液液再生及及铜回收收技术与设备备”列为国国家重点点环境保保护实用用技术AA类，序序号为220077-A-01

21、00，具体体情况见见附件66。7、小结结通过以上上列出的的相关法法律法规规的规定定、国家家环保总总局的解解释和国国家的技技术产业业政策，可以得得出国家家支持企业业回收利利用自身身产生的的废蚀刻刻液，对已获获得国家家重点环环境保护护实用技技术推广广项目的的技术，各级环环境保护护行政主主管部门门在环境境影响评评价、建建设项目目“三同同时”、污染源源及重点点流域限限期治理理、城市市环境综综合整治治定量考考核、生生态保护护等环境境管理中中，应鼓鼓励优先先选用，但必须须遵照危危险废物物申报登登记、转转移联单单制度，将危险险废物的的产生、转移、利用及及处置情情况向环环保主管管部门进进行申报报和登记记，并保

22、保证危险险废物回回收利用用符合相相应的环环保标准准，危险险废物得得到妥善善无害化化处置。三、调查查对象的的确定及及调查方方法3.1、调查对对象的确确定1）调查查对象选选取原则则已经建成成并投入入使用的的处理装装置和运运行周期期较长但但目前暂暂停运行行或拆除除的处理理装置作作为重点点调查对对象，同同时兼顾顾目前仍仍处于调调试阶段段的处理理装置和和正在申申请要求求安装处处理装置置的线路路板生产产企业。2）最终终确定的的调查对对象根据运行行情况、处理规规模、工工艺类型型和企业业性质确确定的重重点调查查对象见见表1、一般调调查对象象见表22。表1 重点点调查对对象一览览表序号企业名称称运行状况况企业性

23、质质废物经营营单位1恩达电路路（深圳圳）有限限公司运行中市管TMMDD环保2深圳市龙龙岗区坪坪山碧岭岭生利电电子制品品厂运行中市管TMMDD环保3深圳市龙龙岗区布布吉世纪纪电路板板厂运行中龙岗区管管TMMDD环保4宝安区沙沙井沙头头柏拉图图电子厂厂运行中宝安区管管TMMDD环保5深圳顺昌昌线路板板厂运行中市管处理站6至卓飞高高线路板板（深圳圳）有限限公司烧毁停运运市管处理站7深圳市景景旺电子子有限公公司暂停运行行市管处理站8深圳市宝宝安区民民主勤基基电路版版厂已拆除市管处理站表2 一般般调查对对象一览览表序号企业名称称运行状况况企业性质质废物经营营单位1深圳市博博敏兴电电子有限限公司暂停运行行

24、市管处理站2运丰电路路版厂暂停运行行宝安区管管处理站3文明达电电子（深深圳）有有限公司司暂停运行行宝安区管管TMMDD环保4深圳市华华东鑫电电子有限限公司已拆除市管处理站5沙井卓华华电子线线路板厂厂已拆除区管TMMDD环保3.2、调查方方法市管企业业：分两两步进行行，首先先发放蚀蚀刻液再再生回用用系统调调查表，调查表表见附件88，待企业业填好调调查表后后，现场场核实企企业填报报数据的的准确性性，所采采取的手手段包括括现场检检查设备备（包括括提升泵泵、搅拌拌机、直直流电源源）的运运行情况况、调阅阅运行记记录和询询问相关关情况、检查生生产线的的配置情情况、调调阅原材材料采购购情况、检查蚀蚀刻机的的

25、配置情情况等。区管企业业：因区管企企业现场场调查难难度较大大，故采用电电话调查查方式。四、现场场调查结结果汇总总4.1、现场调调查情况况的简单单说明各厂的蚀蚀刻液回回用系统统分别见见图1图图11，各厂处处理装置置情况简简单说明明如下：1）恩达达电路（深圳）有限公公司恩达电路路（深圳圳）有限限公司专专业生产产高频特特性板，蚀刻工工序产生生的碱性性和酸性性蚀刻液液全部现现场再生生回用，碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统220055年033月投入入试生产产，同年年9月稳稳定运行行；酸性蚀蚀刻液再再生回用用系统220066年077月投入入试生产产，同年年12月月基本实实现稳定定运行，目前正正在进一一步优化化

26、工艺控控制参数数。恩达电路路（深圳圳）有限限公司的的碱性和和酸性蚀蚀刻液再再生回用用技术由由深圳拓拓鑫环保保设备公公司和恩达电电路联合合研究开开发。2）深圳圳市龙岗岗区坪山山碧岭生生利电子子制品厂厂深圳市龙龙岗区坪坪山碧岭岭生利电电子制品品厂20005年年扩建，产品种种类由单单一的单单面板扩扩展至单单面板、双面板板和多层层板（446层层），产产品产量量增加，目前产产量尚未未达到设设计规模模。深圳市龙龙岗区坪坪山碧岭岭生利电电子制品品厂危险险废物由由TMMMD环保保负责收收运处理理，其蚀蚀刻液再再生系统统将碱性性蚀刻液液提铜后后蚀刻液液调质处处理再生生使用，设计处处理能力力为处理理蚀刻液液120

27、00L/dd，目前前实际处处理量为为10000L/d。处处理装置置由富源源科技发发展公司司提供，富源科科技发展展公司负负责设计计、安装装、调试试和前期期运行，处理装装置正式式投入正正常运行行的时间间是20004年年，根据据协议要要求，目目前该套套装置已已移交给给深圳市市龙岗区区坪山碧碧岭生利利电子制制品厂自自己运行行。3）深圳圳市龙岗岗区布吉吉世纪电电路板厂厂深圳市龙龙岗区布布吉世纪纪电路板板厂为龙龙岗区所所管企业业，其碱碱性蚀刻刻液再生生回用系系统已投投入正常常运行，该系统统20005年由由深圳市市丰河环环境工程程技术有有限公司司设计（引进关关键技术术），220055年100月220066年

28、3月月系统由由丰河环环境工程程技术有有限公司司、世纪纪电路板板厂联合合施工安安装，220066年7月月开始试试运行，目前已已实现稳稳定运行行。4）宝安安区沙井井沙头柏柏拉图电电子厂宝安区沙沙井沙头头柏拉图图电子厂厂为宝安区所所管企业业，已建建设一套套碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统，部分失失效碱性性蚀刻液液进入处处理系统统，处理理蚀刻液液规模24400LL/d，待条件件成熟，拟扩建建碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统。柏拉图电电子厂碱碱性蚀刻刻液再生生回用系系统由深深圳市天天绿环保保科技有有限公司司负责设设计、施施工和营营运，系系统型号号为CEES-112D，20006年88月开始始安装，目前基基本实现

29、现稳定运运行。5）深圳圳顺昌线线路板厂厂该厂专业业生产单单面板，所产生生的碱性性蚀刻液液全部再再生回用用，其回回用系统统最初由由长沙绿绿铱环保保科技有有限公司司提供，设备型型号为CCPR-10000，220066年年底底长沙绿绿铱环保保科技有有限公司司退出，而后该该厂选用用萃取-电沉积积碱性蚀蚀刻液再再生回用用装置。6）至卓卓飞高线线路板（深圳）有限公公司该厂的碱碱性蚀刻刻液再生生回用系系统由香香港锦卫卫有限公公司于220044年100月开始始建设，年底投投入使用用，在使使用初期期其碱性性蚀刻液液循环周周期接近近一年，随后循循环周期期初步下下降至半半年、三三个月，主要原原因是侧侧蚀现象象比较严

30、严重。20066年12月4日至卓飞飞高线路路板（深深圳）有有限公司司喷锡车车间发生生火灾，大火引引发公司司工厂铜铜回收系系统车间间储罐及及设备起起火，救火过过程中，数吨含含铜浓废废液随消消防灭火火用水直直接流向向市政污污水和雨雨水管网网，部分分含铜废废液流入入南山区区蛇口渔渔港。本本次碱性性蚀刻液液污染事事故是深深圳市第第一件因因火灾引引发的碱碱性蚀刻刻液污染染事故，本次事事故中，碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统的的设备和和储罐全全部烧毁毁，碱性性蚀刻液液再生回回用系统统烧毁后后至卓飞飞高未新建回回用装置置。7）深圳圳市景旺旺电子有有限公司司景旺电子子有限公公司的碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统由由香

31、港锦卫卫有限公公司负责责设计、施工和和运营，20005年88月开始始投入运运行，220066年7月月按照市市环保局局要求停停运，总总运行时时间接近近一年。8）深圳圳市宝安安区民主主勤基电电路版厂厂民主勤基基电路版版厂已拆拆除的碱碱性蚀刻刻液再生生回用系系统由富源源科技发发展公司司负责设设计、施施工和运运营，目目前民主主勤基电电路版厂厂正在向市市环保局局监督处处申请将将碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统恢复使使用，同同时该厂厂申请安安装酸性性蚀刻液液再生回回用系统统，酸性蚀蚀刻液回回用系统统处理能能力为66吨/天天，拟由由广州思思达工程程贸易有有限公司司负责设设计，目目前设计计工作已已完成，广州柏柏宇

32、电子子科技产产品有限限公司负负责施工工和营运运，截止止20007年22月底该该项目无无实质性性进展。9）深圳圳市华东东鑫电子子有限公公司华东鑫电电子有限限公司已已拆除的的碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统由香港锦卫卫有限公公司负责责设计、施工和和运营，该设施施拆除前前尚未投投入正式式运行，设施拆拆除后槽槽、罐存存放在华华东鑫电电子有限限公司，主体设设备香港港锦卫有有限公司司拆走。10）深深圳市博博敏兴电电子有限限公司博敏兴电电子有限限公司已已停运的的碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统由由长沙绿绿铱环保保科技有有限公司司负责设设计、施施工和运运营，220066年4月月投产，运行过过程中车车间内氨氨气和氯氯气

33、污染染较严重重，后将将设备搬搬迁至厂厂房屋顶顶。处理理蚀刻液液设计规模模24000L/dd。11）运运丰电路路版厂运丰电路路版厂为为宝安区区所管企企业，已已停运的的碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统由由富源科科技发展展公司负负责设计计、施工工和运营营，处理理蚀刻液液规模11600LL/d。12）文文明达电电子（深深圳）有有限公司司文明达电电子为宝宝安区所所管企业业，已停停运的碱碱性蚀刻刻液再生生回用系系统由富源源科技发发展公司司负责设设计、施施工和运运营，处处理蚀刻刻液规模模1200LL/d。13）沙沙井卓华华电子线线路板厂厂卓华电子子为宝安安区所管管企业，已拆除除的碱性性蚀刻液液再生回回用系统统由

34、富源源科技发发展公司司负责设设计、施施工和运运营，处处理蚀刻刻液规模模1200LL/d。4.2、现场调调查情况况汇总重点调查查对象蚀蚀刻液循循环利用用设施基基本情况况见表3，一般调查查对象蚀蚀刻液循循环利用用设施基基本情况况见表4。4.3、调查统统计结果果1、全市市使用过过和正在在使用的的蚀刻液液现场回回用装置置的企业业共133家，装装置总套套数177套，目目前共有有5个企企业的蚀蚀刻液现现场回用用装置处处在正常常运行中中，其中中市管企企业3家家，龙岗岗区和宝安安区区管管企业各各1家；暂停运运行的44家，其其中市管管企业22家，区区管企业业2家（全部为为宝安区区区管企企业）；已拆除除的3家家，

35、其中中市管企企业2家家，区管管企业11家；装装置烧毁毁的1家家。2、全市市采用萃萃取-电电解法现现场再生生回用碱碱性蚀刻刻液的装装置（包包括运行行中、停停运和拆拆除的）总套数数15套套，采用用隔膜电电解法的的装置（包括运运行中、停运和和拆除的的）总套套数2套套，萃取取-电解解法装置置占总数数88%，隔膜膜电解法法装置占占12%。3、调查查结果表表明，采采用萃取取-电解解法的碱碱性蚀刻刻液现场场再生回回用装置置总体运运行比较较稳定，蚀刻液液回用率率达到995%，铜回收收率超过过99%。市管管正在运运行装置置均有比比较完善善的二次次污染防防治措施施，工艺艺废气均均得到有有效处理理。但所调查查企业普

36、普遍缺乏乏应急预预防措施施，处理理装置和和生产车车间连接接管道存存在较大大的事故故风险；部分企企业的装装置安装装在简易易雨棚下下，未进进行有效效防护，存在较大大的环境境和安全全风险；部分企企业未配配套设置置有效的的工艺废废气净化化装置。图1恩达达电路碱碱性蚀刻刻液再生生回用系系统 图2恩恩达电路路酸性蚀蚀刻液再再生回用用系统图3恩达达电路蚀蚀刻液再再生回用用系统电电解槽 图44恩达蚀蚀刻液再再生系统统废气净净化塔图5生利利电子碱碱性蚀刻刻液再生生回用系系统 图6生利电电子蚀刻刻液再生生系统电电沉积图7世纪纪电路碱碱性蚀刻刻液再生生回用系系统 图8世纪电电路蚀刻刻液再生生系统电电沉积图7顺昌昌碱

37、性蚀蚀刻液再再生回用用原有系统统 图图8顺昌昌碱性蚀刻刻液再生生回用新新建系统统图9至卓卓飞高线线路板（深圳）有限公公司碱性性蚀刻液液再生回回用系统统现场图10景景旺电子子碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统图图11景景旺电子子碱性蚀蚀刻液再再生回用用系统表3 重点点调查对对象蚀刻刻液循环环利用设设施基本本情况一一览表序号企业名称称产品种类类生产规模模（m2/年）处理蚀刻刻液种类类回用装置置设计规模模实际处理理能力实际处理量运行时间设计施工工单位营运单位位1恩达电路路（深圳圳）有限限公司双面板35.66碱性200ll/h200ll/h200ll/h24h/d深圳拓拓鑫环保保设备公公司恩达电电路深圳拓拓

38、鑫环保保设备公公司恩达电电路多层板32.00酸性200ll/h200ll/h200ll/h10h/d2深圳市龙龙岗区坪坪山碧岭岭生利电电子制品品厂单面板1000000碱性67l/h67l/h50l/h20h/d富源科技技发展公公司富源科科技发展展公司生利电电子制品品厂双面板250000多层板4层500006层200003龙岗区布布吉世纪纪电路板板厂单面板2160000碱性200ll/h200ll/h125ll/h20h/d深圳市市丰河环环境工程程技术有有限公司司世纪电电路板厂厂深圳市市丰河环环境工程程技术有有限公司司世纪电电路板厂厂双面、多多层35000004宝安区沙沙井柏拉拉图电子子厂双面、

39、多多层140000000碱性120ll/h120ll/h120ll/h20h/d深圳市天天绿环保保科技有有限公司司深圳市天天绿环保保科技有有限公司司5深圳顺昌昌线路板板厂单面板1800000碱性50l/h50l/h50l/h20h/d长沙绿铱铱环保科科技有限限公司长沙绿绿铱环保保顺昌线线路板厂厂6至卓飞高高线路板板（深圳圳）有限限公司单面板12000碱性150ll/h2150ll/h2设施已烧烧毁24h/d锦卫有限限公司至卓飞高高双面板730000多层板1410000007深圳市景景旺电子子有限公公司单面、双双面、多多层4200000碱性100ll/h100ll/h100ll/h20h/d锦卫

40、有限限公司锦卫有有限公司司景旺电电子8深圳市宝宝安区民民主勤基基电路版版厂单面板6600000碱性67l/h67l/h56l/h20h/d富源科科技发展展公司广州思思达工程程贸易公公司柏宇电电子科技技产品公公司广州柏宇宇电子科科技产品品有限公公司双面板950000多层板130000表4 一般般调查对对象蚀刻刻液循环环利用设设施基本本情况一一览表序号企业名称称产品种类类生产规模模（m2/年）处理蚀刻刻液种类类回用装置置设计规模模实际处理理能力实际处理量运行时间设计施工工单位营运单位位1深圳市博博敏兴电电子有限限公司双面、多多层板2500000碱性120ll/h120ll/h80l/h20h/d长

41、沙绿铱铱环保科科技有限限公司长沙绿铱铱环保科科技有限限公司2运丰电路路版厂单面、双双面、多多层板碱性80l/h80l/h80l/h20h/d富源科技技发展公公司富源科技技发展公公司3文明达电电子（深深圳）有有限公司司双面、多多层板3000000碱性60l/h60l/h60l/h20h/d富源科技技发展公公司富源科技技发展公公司4深圳市华华东鑫电电子有限限公司单面板750000碱性67l/h67l/h56l/h20h/d锦卫有限限公司未正式运运营双面板300000多层板50000五、失效效蚀刻液液来源5.1、实效蚀蚀刻液来来源线路板图图形部位位电镀金金属体系系抗蚀合合金镀层层或者涂涂敷有机机化合

42、物物体系的的抗蚀剂剂后，用用氯化铜铜溶液将将露出的的铜溶解解，然后后去除抗抗蚀层。线路板板生产中中蚀刻工工序一般般实行自自动化控控制，对对蚀刻液液蚀刻速速度要求求比较严严格，一一般要求求蚀刻速速度最少少达到55um/minn。随着着蚀刻过过程的进进行，溶溶铜量不不断增加加，蚀刻刻液含铜铜量逐渐渐接近其其最大容容量，蚀蚀刻速度度大幅下下降，溶溶液变得得极不稳稳定，易易形成泥泥状沉淀淀，最后后不能满满足蚀刻刻工序要要求需更更换外排排。5.2、碱性蚀蚀刻原理理及失效效蚀刻液液主要成成份5.2.1、碱碱性蚀刻刻原理及及失效蚀蚀刻液主主要成份份碱性蚀刻刻一般适适用于多多层印制制板的外外层电路路图形的的制

43、作及及纯锡印印制板的的蚀刻，主要抗抗蚀剂为为图形电电镀之金金属抗蚀蚀层，如如镀覆金金、镍、铅锡合合金等，碱性蚀蚀刻液一般由氯氯化铜、氯化铵铵、以及及过量氨氨水配置置而成，其中CCu2+与氨生生成深蓝蓝色铜氨氨络合物物，该络络合物可可与金属属铜反应应生成一一价铜氨氨络合物物，主要要反应包包括：Cu2+4NH3=Cuu（NHH3）42+Cu（NH3）42+Cu=2CCu（NNH3）4+4Cu（NH3）2Cl +4NNH3+4NH4Cl+O2=4Cu（NH3）4Cl2+2H2OCu+CCu2+=2Cu+4Cu+4NH4+O2=4Cu2+2H2O+4NNH35.2.2、失效碱性性蚀刻液液主要成成份失效

44、碱性性蚀刻液液主要成成份见表表5。表5失效效碱性蚀蚀刻液主主要成份份一览表表序号指标浓度范围围序号指标浓度范围围1Cu2+40660g/l7V0.51.55g/ll2Cu+70990g/l8添加剂5100g/ll3pH8.08.669Mo0.51.55g/ll4CL-2003000 g/l10S0.51.55g/ll5NH4+50880g/l11CN（有有机氰）0.51.55g/ll6NH31301500g/ll12总磷1.52.55g/ll5.3、酸性蚀刻刻原理酸性蚀刻刻一般适适用于多多层印制制板的内内层电路路图形的的制作及及微波印印制板阴阴极法直直接蚀刻刻图形制制作，酸性蚀刻刻液一般般由氯

45、化化铜、盐盐酸、以以及双氧氧水配置置而成，主要抗抗蚀剂包包括干膜膜、液态态光致抗抗蚀剂等等，酸性性蚀刻主主要反应应包括：蚀铜反应应：Cuu+CuCCl2=2CuCll再生反应应：2CCuCll+2HCl+H2O2=2CuCCl2+2H2O5.4、碱性与与酸性蚀蚀刻液特特性比较较碱性蚀刻刻液与酸酸性蚀刻刻液特性性比较见见表6。表6碱性性蚀刻液液与酸性性蚀刻液液特性比比较一览览表序号项目碱性蚀刻刻液酸性蚀刻刻液1铜含量1401700g/ll1301800 g/ll2温度50555505553毒性低高4蚀刻速度度约1miil/mmin约0.55mill/miin5化性条件件Baumme=22111O

46、RP=45001500mVBaumme=22216水洗水处处理因有络合合物，较较不易处处理较易处理理7自动控制制成本低高8主要特点点蚀刻速度度快，侧侧蚀小；溶铜能能力强，蚀刻液液容易控控制。蚀刻速度度易控制制，蚀刻刻液在稳稳定状态态下能达达到高的的蚀刻质质量；溶溶铜量大大。六、失效效蚀刻液液现场再再生回用用技术类类型6.1、国内蚀刻刻液现场再生生回用技技术概况况失效碱性性蚀刻液液现场再生生回用技技术国内内主要分分为2类类，分别别是萃取取-电解解法和隔隔膜电解解法，应应用成功功的失效效酸性蚀蚀刻液现现场再生生回用技技术国内内采用萃取取-电解解法，即即萃取-电解法法应用领领域由最最初的碱碱性蚀刻刻

47、液扩展展至碱性性蚀刻液液和酸性性蚀刻液液，隔膜膜电解法法目前只只能处理理碱性蚀蚀刻液，萃取-电解法法在深圳圳已安装装蚀刻液液现场再生生回用系系统的线线路板企企业得到到广泛使使用，而而隔膜电电解法的的蚀刻液液现场再生生回用系系统仅个个别线路路板企业业选用。6.2、碱性蚀蚀刻液现场再生生回用技技术6.2.1、萃取电解法法6.2.1.1、萃取电解法法的发展展概况最初真正正实现线线路板行行业碱性性蚀刻液液工业规规模的现现场再生生回收应应用是加加拿大的的Cannadiian RECCYCLLE LLTD.，该公司司开发出出的循环蚀蚀刻再生生系统成成套技术术和设备备，最初初由香港锦卫卫有限公公司（CCON

48、CCORDD SIINO LIMMITEED）负负责国内内市场的的代理销售售，20000年年在广州州第一套套设备安安装使用用，随后后分别派派生出多多家公司司经营CCanaadiaan RRECYYCLEE LTTD.的的产品，并逐渐渐在全套套引进的的基础上上，通过过不断的的消化、吸收和和改进，目前已已基本实实现国产产化。在在广东省省经营萃萃取电解法法回收利利用碱性性蚀刻液液的公司司主要有有锦卫有有限公司司、富源科科技发展展公司、深圳市市天绿环环保科技技有限公公司、广广州思达达工程贸贸易有限限公司和和广州柏柏宇电子子科技产产品有限限公司，以上公公司提供供的设备备外形、工艺控控制参数数、运行行模式

49、基基本相同同。锦卫卫有限公公司、富源科科技发展展公司、深圳市市天绿环环保科技技有限公公司、广广州思达达工程贸贸易有限限公司和和广州柏柏宇电子子科技产产品有限限公司均均未取得得环保工工程设计计、施工工和运营营资质，所提供供的产品品尚未得得到相关关部门的的鉴定。深圳拓鑫鑫环保设设备公司司和恩达电电路在Cannadiian RECCYCLLE LLTD.的产品品基础上上，通过过消化、吸收和和工程实实践，调调整了设设备工艺艺参数和和萃取剂剂，开发发碱性蚀蚀刻液再再生回用用装置，但工艺艺原理与与Cannadiian RECCYCLLE LLTD.产品基基本相同同。深圳圳拓鑫环保保设备公公司开发发的“印制

50、板板蚀刻液液再生及及铜回收收技术与与设备”已被列列为国家家重点环环境保护护实用技技术A类，之前前该套蚀刻刻废液铜铜回收技技术和设设备通过过了国家家信息产产业部的的技术鉴鉴定，技技术鉴定定意见认认为，该该回收设设备的铜铜回收率率99.5%、废液回回用率999.55%，达达到国内内先进水水平。6.2.1.2、萃取电解法法的工艺艺流程目前在国国内市场场销售的的采用萃萃取电解方方法回收收利用碱碱性蚀刻刻液的成套设设备均采采用萃铜铜剂萃铜铜、硫酸酸反萃、电解回回收铜工工艺组合合，存在在的工艺艺控制参参数差异异属于商商业机密密。1、工艺艺原理简简介：失效蚀刻刻液经过过滤去除杂物后，直接进进入萃取取系统用用

51、有机萃取取剂萃取取提铜（铜铜与蚀刻刻液分离离，进入入有机层层），分分离后的的萃取液液经硫酸酸反萃处处理后，提取反反萃取液液中的铜铜（反萃液液送到电电解槽中中用连续续电解沉沉积工艺艺生产紫紫铜板，也可通通过结晶晶生产硫硫酸铜晶晶体，目目前已全全部生产产紫铜板板）。萃萃取后的的残液（蚀刻液液）经调调整pH及添添加少量量蚀刻盐盐后再生生成新的的蚀刻溶溶液，返返回蚀刻刻槽中循循环使用用。萃取取剂、反反萃剂在在萃取系系统中同同样可以循环使使用，但但损耗需需定期添添加。萃铜剂配配方为技技术拥有有方的商商业机密密，但主主要成份份含乙醇醇和丙醇醇，萃铜铜剂可循循环使用用233年。萃取原理理：相当当于液体离离子

52、交换换（树脂脂）铜进进入有机机溶液中中，大约每每萃取1100公公斤铜增增加600升水。Cu2+2HHR22H+CuuR2H+OHH-H2O反萃取原原理（用用高酸2000g/LL、H2SO4）：铜铜从有机机溶液中中被反萃萃进入水水相，有机相相HR与与硫酸铜铜分离又又可返回回萃取机中中。CuR22+H2SO4CuuSO44+2HHR。由于萃取取过程放放出H+（酸）而中和和了蚀刻刻液的碱碱（OHH-）变成成水，使蚀刻刻液体积增增大、碱度降低低，因此此再生蚀蚀刻液时时须补加NHH4Cl及氨水，即萃取取出铜的的蚀刻液液经补充充蚀板盐盐、稳定定剂和氨氨水后，再生为为新鲜蚀蚀刻液，回用于于蚀刻工工序。2、工

53、艺艺流程简介介：恩达电路路：恩达达电路已已建成完完善的失失效蚀刻刻液现场场再生回回用系统统和含铜铜废液铜回回收系统统，失效效蚀刻液液现场再再生回用用系统所所产生的的清洗水水和蚀刻刻液增量量通过含含铜回收收系统和和低铜回回收系统统进一步步深度处处理。对对蚀刻后后氨洗水水工序产产生的清清洗水，恩达电电路将其其排入含含铜废水水处理系系统。恩达电路路碱性蚀蚀刻液再再生及回回用处理理总工艺艺流程方方框图见见图12，碱性蚀蚀刻液再再生再生生处理工工艺流程程方框图图见图13。其它企业业：除恩达达电路外外，其它它安装蚀蚀刻液现现场再生生回用系系统的线线路板企业均仅仅设碱性性蚀刻液液现场再再生回用用系统，未设含

54、含铜和低低铜回收收系统，碱性蚀蚀刻液现现场再生生回用所所产生的的清洗水水直接排入入生产废废水处理理系统，蚀刻液液增量作作为危险险废物委委托处理理，但部部分企业业直接排排入生产产废水处处理系统统。对蚀蚀刻后氨氨洗水工工序产生生的清洗洗水，其其它企业业均将其其纳入碱碱性蚀刻刻液现场场再生回回用系统统。其它企业业萃取电解法法回收利利用碱性性蚀刻废废液和铜铜的工艺艺流程图图见图14。恩达电路路与其它它企业碱碱性蚀刻刻液现场场再生回回用系统统的特性性比较：恩达电路路与其它它企业碱碱性蚀刻刻液现场场再生回回用系统统的特性性比较见见表7。表7 恩达达电路与与其它企企业碱性性蚀刻液液现场再再生回用用系统的的特

55、性比比较一览览表序号项目碱性蚀刻刻液现场场再生回回用系统统恩达电路路其它企业业1设备供应应商自行研制制开发购买成套套设备2设备外形形比较粗、笨比较精、巧3占地面积积相对较大大相对较小小4电解槽配配置数量相对对较多数量相对对较少5蚀刻液增增量处置置方法进含铜废废液回收收系统作为危险险废物委委托处置置或排入入废水处处理站6蚀刻后氨氨水洗水水处理进含铜废废液回收收系统并入再生生回用系系统7水洗水处处理进含铜废废液回收收系统直接排入入废水处处理站8萃取剂萃取剂存存在差异异9萃取温度度变化萃取后温温度有一一定程度度升高萃取后温温度基本本没有变变化，温温升不明明显10反萃温度度变化均不明显显6.2.1.3

56、、主主要生产产设备萃取电电解方法法回收利利用系统统实际由由2个处处理单元元组成，第一个个处理单单元为萃萃取、反反萃单元元，生产产设备包包括萃铜铜反应器器、有机机分离器器；第二二个处理理单元为为电解阴阴极沉铜铜单元，生产设设备包括括电解槽槽、再生生母板器器、取铜铜机。配套储罐罐：包括括储罐、中转罐罐、蚀刻刻液调配配罐等。配套废气气净化塔塔：一般般配套酸酸性废气气喷淋净净化塔。车间储槽（780吨/年）碱性蚀刻线废水处理系统含铜回收系统车间储槽提升泵水洗槽氨水洗槽蚀刻槽含铜回收系统氨水、氯化铵、稳定剂蚀刻液增量（2吨/月）提升泵提升泵提升泵提升泵碱性蚀刻液再生系统喷淋净化塔调配槽中间槽储槽萃余液储槽

57、 电解槽分离槽 反萃 反应槽 分离槽 水洗 反应槽分离槽 萃取 反应槽提升泵反萃剂循环槽萃取剂循环槽水洗水循环槽图12 恩达电路碱性蚀刻液再生及回用处理总工艺流程方框图萃取液失效蚀刻液储槽 分离槽 分离槽 水洗 反应槽 萃取 反应槽提升泵0.8吨/月提升泵萃取剂16.7公斤/月萃取剂循环槽含铜回收系统提升泵水洗水循环槽氨水（4L/月）自来水再生萃取剂废气净化塔 分离槽 反萃 反应槽电解槽富铜液反萃剂（硫酸167公斤/月）99.95%铜提升泵反萃剂循环槽回收铜后电解液图13 恩达电路碱性蚀刻液再生处理工艺流程方框图萃取液失效蚀刻液储槽 分离槽 分离槽 水洗 反应槽 萃取 反应槽提升泵提升泵废水处

58、理站提升泵蚀刻液调配系统萃取剂萃取剂循环槽水洗水循环槽氨水（4L/月）自来水再生萃取剂废气净化塔99.95%铜 分离槽 反萃 反应槽电解槽富铜液回收铜后电解液提升泵反萃剂循环槽萃取反应、分离槽氨水洗水储槽反萃剂.清洗水回水洗槽含铜有机层图14 一般线路板企业碱性蚀刻液再生处理工艺流程方框图6.2.1.4、主要生生产原、辅材料料废蚀刻液液、蚀板板盐、氨氨水、添添加剂、萃取剂剂、硫酸酸。6.2.1.5、主要要工艺控控制参数数恩达电路路：恩达达电路失失效碱性性蚀刻液液现场再再生回用用系统主主要工艺艺控制参参见表88。其它企业业：其它它企业以以生利电电子为典典型代表表，生利利电子失失效碱性性蚀刻液液现

59、场再再生回用用系统主主要工艺艺控制参参见表99。表8 恩达电电路碱性性蚀刻液液再生回回用系统统主要工工艺控制制参数一一览表流量控制制流体种类类失效蚀刻刻液稀氨水萃取剂反萃剂流量200升升/小时时200升升/小时时400升升/小时时600升升/小时时浓度控制制液体种类类失效蚀刻刻液再生蚀刻刻液（调调配前）工作蚀刻刻液电解槽液液控制指标标Cu2+、Cuu+1351600g/l601100gg/l601100gg/l25338g/lpH8.08.669.09.339.310.0CL-2003000 g/ll2003000g/l2003000g/l2000mg/lH2SOO41902100g/llNH

60、4+50880g/lNH31301500g/l4007300ml/l电流强度度控制电解液中中铜含量量40gg/l硫酸浓度度1902100g/ll1902100g/ll1902100g/ll1902100g/ll电解电流流500AA80010000A1000018800AA20000 A萃取剂吸吸铜量：1520gg/l表9生利利电子碱碱性蚀刻刻液再生生回用系系统主要要工艺控控制参数数一览表表流量控制制流体种类类失效蚀刻刻液清洗水萃取剂反萃剂流量20010升/小时时20010升/小时时40010升/小时时60050升/小时浓度控制制液体种类类失效蚀刻刻液再生蚀刻刻液（调调配前）工作蚀刻刻液电解槽液