真空炉温度均匀性的测量过程

1、Ill准备工作将测量热电偶及控温热电偶按GB/ J351 1996中华人民 共和国国家计量鉴定规程中相关规定进行检测，检测合格 方能进行炉温均匀性测定。自炉体拆下测温孔的盖板，将 9根经过检测合格的热电偶依次穿上密封垫圈、橡胶垫圈， 自法兰孔中引入炉腔内，并依次按图1位置固定在位于炉门 口支撑架上，支撑架的尺寸为有效加热尺寸。将支撑架小心 地移入炉腔内，放在炉床上，调整其位置，使之恰好与有效 加热空间重合。固定测温法兰的热电偶孔，依次放入密封垫 圈，橡胶垫圈上涂布真空脂，旋紧压紧螺栓，安装好法兰。 按操作规程手动先后启动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空， 直到工作真空度到达2 Pa后，停机30 m

2、in，观察真空计读 数，看压升率是否在正常的0. 5Pa/ h之内，正常则继续进行 炉温均匀性的测量，不正常则重新调整旋紧螺栓，重新测定 压升率，直到正常，才能继续进行炉温均匀性的测定。测定过程根据工艺需求进行选定测量温度点为650 C、850 C和 1000 C，在FP21控温仪表上，设定升温曲线。在控制偶到 设定温度120min后，开始测定各支热电偶的值。每隔5min读取1次，连续3次，如果各点温度在所要求温度的5 C以内，则此温度点测量完毕，否则继续等温，直到温度均匀 或时间到达3h （工艺设定的保温时间）为止并记录各点的温 度。调整FP21表，自650 C升温至850 C，保温120m

3、in， 重复650 C温度点测量步骤。同样自850 C升温到1100 C，保温120min，重复650 C 温度点测量步骤。以上数据分别填入记录表中，完成测定后， 按正常的空炉冷却步骤进行降温。3.恢复设备打开炉门，拉出测量支架，拆开固定热电偶的铁丝，拆下法 兰盘，安装好原盖板，按正常使用进行压升率测试，按操作 规程手动先后启动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空，直到工 作真空度到达2Pa后，停机30min，观察真空计读数，看压 升率是否在正常的0. 5Pa/h之内，合格则继续，设备可以 正常使用，否则继续重新安装原测温口盖板。从测温法兰盘 中拆下测量热电偶，注意抽出时要小心取直，以防止折断、 损坏

4、热电偶。四、真空炉温度均匀性测量的数据控制偶的记录数据PID调节控温系统中，控制热电偶与横河AX104无纸记录仪 连接，作实时记录，由FP21控温表输出指令，品闸管加热 电源开始加热的同时测量炉腔内的温度。加热过程完成后， 取出记录仪中的存储块，插入取卡器中，读出数据，并在横 河DATA Viewer浏览器中查看数据，圆型记录形式见图4。 可见其中的温度、真空度、冷却水温曲线及相应的开炉时间。测量热电偶的记录数据某次650 C温度点测量数据，记录数据见附表。数据分析由表中数据可知，真空炉在650 C点温度均匀性都在5 C 范围内，达到真空炉的正常的温度均匀性的要求，因此判定 在该温度点的温度均匀性是合格的。五、结语真空炉的炉温均匀性的测量不同于普通炉，测量时需保 证炉体的正常工作条件下的真空度及压升率，才能正确测定 炉温。由于真空炉的传热方式与普通炉不同，实际测温过程表 明控制热电偶的温度值在保