IC行讲义业特种气体简介课件

1、IC行业特种气体简介精品行为和环境诊断包括两个方面：一个是行为的诊断，另一个是环境诊断。行为诊断是系统的分析与伤害问题或计划目标有关行为问题，即能导致伤害问题发生或增加严重程度的高危人群的行为和生活方式。环境诊断是指分析与伤害有关的社会和物质环境，是指个体之外，非个体所能控制的因素。通过改变这些因素，支持行为的改变或影响伤害的结局。通常情况下，行为因素往往受到环境因素的影响。（一）行为诊断 一个人的行为方式与伤害发生与否和伤害的后果等关系非常密切。从健康行为学的角度而言，人的行为可以分为两大类，即：促进安全健康的行为和危害安全健康的行为。促进安全健康行为是个人或群体表现出来的。促进安全健康行为

2、通常可以分为七大类：日常安全健康行为；保健行为；避免有害环境行为；戒除不良嗜好行为；预警行为；遵医行为；应急行为等。（如驾车时使用安全带）。危害安全健康行为是指个体或群体偏离个人、他人和社区规范 的期望。客观上对自身和他人健康有害的行为表现。这种行为不仅对人体有害，而且这种有害作用比较稳定，有一定的强度和持续时间。危害健康行为表现为不遵守交通规则，运动时不做准备活动和不使用防护装备等。危害健康行为分为两大类，即：导致意外伤害的危险行为和导致有意伤害的危险行为。行为诊断分为五个步骤：1.鉴别导致伤害发生的行为与非行为因素。例如开车不使用安全带；过马路不走人行横道线；使用饮料瓶存放洗涤剂和化学物品

3、等是伤害发生的危险因素。而性别、年龄等则是非行为因素。2.建立行为分类目录。例如哪些行为是安全行为；哪些行为是导致伤害发生的高危行为；哪些属于预防性行为；哪些属于应急行为。另外，对于某些特定的行为可分为多个层次或行为组。这要视具体情况而定。3.按照行为重要性分级整理，行为目录可以使数十条或段百条，在列出行为目录后，还需要根据行为的重要性分级整理。如何判断一个行为是否重要通常遵循两个原则：一是该行为的发生频率是否很高；二是该行为与伤害发生的关系的密切程度是否很高。在判断时就可以使用社区资料，也可以通过参考有关文献进行判断。4.按行为可改变性分级管理有些行为通过干预是可以改变的，而有些行为则是根深

4、蒂固非常难以改变。所以，必须对行为的可改变性有一个明确的认识。否则，项目很难产生效果。另外，在考虑行为的可改变性还必须考虑时间因素，因为时间也是一种资源。5.选择行为目标在完成以上四个步骤之后，就可以选择项目所干预的行为目标，主要是根据行为的重要性和可改变性两个方面进行综合评价。对于处于原点位置的行为应选择作为项目干预行为的目标，对于星号位置的行为则可视为推迟选择的行为目标IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介精品行为和环境诊断包括两个方面：一个是行为的诊断，另一个是环境诊断。行为诊断是系统的分析与伤害问题或计划目标有关行为问题，即能导致伤害问题发生或增加严重程度的高危人群的行为和生活方式。

5、环境诊断是指分析与伤害有关的社会和物质环境，是指个体之外，非个体所能控制的因素。通过改变这些因素，支持行为的改变或影响伤害的结局。通常情况下，行为因素往往受到环境因素的影响。（一）行为诊断 一个人的行为方式与伤害发生与否和伤害的后果等关系非常密切。从健康行为学的角度而言，人的行为可以分为两大类，即：促进安全健康的行为和危害安全健康的行为。促进安全健康行为是个人或群体表现出来的。促进安全健康行为通常可以分为七大类：日常安全健康行为；保健行为；避免有害环境行为；戒除不良嗜好行为；预警行为；遵医行为；应急行为等。（如驾车时使用安全带）。危害安全健康行为是指个体或群体偏离个人、他人和社区规范 的期望。

6、客观上对自身和他人健康有害的行为表现。这种行为不仅对人体有害，而且这种有害作用比较稳定，有一定的强度和持续时间。危害健康行为表现为不遵守交通规则，运动时不做准备活动和不使用防护装备等。危害健康行为分为两大类，即：导致意外伤害的危险行为和导致有意伤害的危险行为。行为诊断分为五个步骤：1.鉴别导致伤害发生的行为与非行为因素。例如开车不使用安全带；过马路不走人行横道线；使用饮料瓶存放洗涤剂和化学物品等是伤害发生的危险因素。而性别、年龄等则是非行为因素。2.建立行为分类目录。例如哪些行为是安全行为；哪些行为是导致伤害发生的高危行为；哪些属于预防性行为；哪些属于应急行为。另外，对于某些特定的行为可分为多

7、个层次或行为组。这要视具体情况而定。3.按照行为重要性分级整理，行为目录可以使数十条或段百条，在列出行为目录后，还需要根据行为的重要性分级整理。如何判断一个行为是否重要通常遵循两个原则：一是该行为的发生频率是否很高；二是该行为与伤害发生的关系的密切程度是否很高。在判断时就可以使用社区资料，也可以通过参考有关文献进行判断。4.按行为可改变性分级管理有些行为通过干预是可以改变的，而有些行为则是根深蒂固非常难以改变。所以，必须对行为的可改变性有一个明确的认识。否则，项目很难产生效果。另外，在考虑行为的可改变性还必须考虑时间因素，因为时间也是一种资源。5.选择行为目标在完成以上四个步骤之后，就可以选择

8、项目所干预的行为目标，主要是根据行为的重要性和可改变性两个方面进行综合评价。对于处于原点位置的行为应选择作为项目干预行为的目标，对于星号位置的行为则可视为推迟选择的行为目标IC行业特种气体简介精品行为和环境诊断包括两个方面：一个是行IC的定义 IC即集成电路，是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。 IC行业通常包括设计、制造及封装三大块。与我们气体相关主要是其制造模块，另外封装模块也涉及很少的一部分。2022/10/10IC的定义 IC即集成电路，是采用半导体制作工特气在IC行业里面的应

9、用电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺：薄膜沉积；刻蚀；掺杂；钝化；清洗；或用作载气、保护气氛等等。2022/10/10特气在IC行业里面的应用电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺特气在IC体制造中的应用-工艺Wafer-Probe Test(Front end or back end)AssemblyFinal TextShip to CustomerOther Processing:-Ion ImplantDiffusionCMPPhotolithography-Resist Coat-Bake-ExposureEtch Film-Plasma-Wet EtchingDeposit or

10、Grow Film-Oxidation-Metallization-CVDMaterial Preparation:Epitaxial Growth(Optional)LPCVDMetal CVDPECVDSACVDAPCVDEPIDry Etch特气使用2022/10/10特气在IC体制造中的应用-工艺Wafer-Probe Tes特气在IC制造中的应用-原理 CVD Deposition: SiH4+N2(Carrier gas)+NH3 plasma & heat SixNy + H2 + N2 + other volatilesCVD Chamber clean NF3+ SixNy

11、plasma SiF4+N2+other volatile掺杂: (如 Implant/DOPOS) PH3+H2混气等刻蚀: SiO2+CF4*SiF4+CO+CO2反应气载气清洁气体固态气态,可被排出腔体固态刻蚀气体气态,可被排出硅片及腔体主要应用：反应载气腔体清洁掺杂刻蚀2022/10/10特气在IC制造中的应用-原理 CVD Deposition特气在IC制造中的应用-分类 大宗气体 N2 O2 Ar离子注入 BF3 SF6 Xe （ 红磷、黄磷、金属砒霜 ） PR（印刷） F2 He Kr Ne扩散 H2 POCl3DRY He CF4 C4F8 C5F8 CHF3 CH2F2 Cl

12、2 HBr BCl3 SF6 COCVD TEOS TEB TEPO PH3 ClF3 SiH2Cl2 NF3 SiH4 NH3 He N2O WF6 C2F6 TiCl4 CH4 2022/10/10特气在IC制造中的应用-分类 大宗气体2022/10/9特气在IC制造中的应用-用量一个八寸的芯片厂每年气体的使用金额约为5千万元人民币。感官认识：2022/10/10特气在IC制造中的应用-用量一个八寸的芯片厂每年气体的使用金国内6寸以上芯片客户不完全统计所在区域名称规模备注长三角台积电（中国）8寸已在供应中芯国际8寸正在评估华力微电子12寸上海先进半导体8寸初试已经通过华宏NEC8寸已在供应

13、宏力半导体8寸无锡海力士12寸无锡华润上华8寸、6寸已在供应苏州和舰8寸正在评估珠三角深圳深爱半导体6寸深圳方正微电子6寸深圳中芯国际12寸已报价京津唐及陕西天津中芯国际8寸北京中芯国际8寸西安三星12寸华中武汉中芯国际12寸长沙创芯6寸南车6寸西北成都德州仪器8寸中航微电子8寸已发样品重庆渝芯8寸已发样品东北大连因特尔12寸2022/10/10国内6寸以上芯片客户不完全统计所在区域名称规模备注长三角台积芯片厂商对客户要求合法安全可靠的质量管理体系有效的质量监控手段稳定有效的管理团对强大的技术研发实力物流能力专用危险品仓储场所2022/10/10芯片厂商对客户要求合法2022/10/9芯片厂商

14、对特气评价流程供应厂商的资质气体规格的确认/比较控片/实验片上基础数据的确认小量产品的实验评价中量产品的实验评价大量产品的实验评价品质管理体系的审核量产审查通过成为合格供应商2022/10/10芯片厂商对特气评价流程供应厂商的资质2022/10/9IC行业有竞争力的气体公司和产品氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4产品） 日本企业（昭和、住友以及大阳日酸） 绿菱气体（CF4、C2F6、CHF3等） 黎明化工院（SF6、C2F6等） N02:林德气体NF3和WF6:718所硅烷：AP2022/10/10IC行业有竞争力的气体公司和产品氟碳化合物（C2F6、CF4华特气体在芯片行业的竞争力国内本土厂商:承担国家02专项项目（C2F6、CHF3）。产品种类齐全：C2F6、CF4、SF6、CHF3、C3F8、C4F8、NO（3N）、NH3、C02、CO（4N）、SiH4等。良好的品牌效应（已经供应的客户）性价比高，确实降低客户的成本快捷的物流配送（交货期短、应急反映迅速）中芯国际（8寸、12寸）2022/10/10华特气体在芯片行业的竞争力国内本土厂商:承担国家02专项项目如何开发芯片行业客户个人经验，与大家探讨。要有信心，相信自己