真空知识快问快答-离子泵篇

1、真空知识快问快答离子泵篇什么时候应该选择离子泵离子泵具有封闭抽气、可耐高温烘烤、没有运动部件，长期工作的可靠性高、在超高真空下的寿命很长等特点，这些特点使得其特别适合用于：超高真空、需要高温烘烤的应用、对振动敏感的应用、对可靠性要求很高的应用等。应该选择二极泵还是三极泵型号的选择取决于被抽气体类型。安捷伦 Diode 二极泵对氧气 、氮气 、二氧化碳 、一氧化碳以及其他活性气体具有很高的抽速，而对甲烷、氩气和氦气等非活性气体抽速很小，适用于工作在超高真空，很少破空并且没有惰性气体的应用。StarCell 是优化的三极泵结构，对甲烷、氩气和氦气等非活性气体具有很高的抽速和容量，同时对活性气体也具

2、有较高的抽速；该型号的独特设计使其成为一款可以同时处理惰性气体和活性气体的离子泵，适用于经常破空或者有惰性气体残留的应用。如何确定需要负高压还是正高压的控制器安捷伦 Diode 二极离子泵在正高压下运行，StarCell 三极离子泵在负高压下运行。应该在什么压力启动离子泵？离子泵的最高启动压力可以从产品样本上找到，不过为了尽量延长离子泵的使用寿命，建议在1E6 mbar或更低压力时启动离子泵。离子泵的寿命与操作压力成反比。比如，在 1E6 mbar 时，大部分安捷伦二极离子泵的使用寿命为 50,000 小时， StarCell 离子泵的使用寿命为 80000 小时，而在1E-4 mbar 时，

3、寿命仅为上面数值的 1/100 。是否需要为离子泵安装加热器为了使真空室达到更低的极限压力，建议在离子泵上安装加热器，在泵启动前的预抽阶段对泵进行烘烤，烘烤可以加快离子泵中所捕获的气体的释放，使泵从饱和状态回到不饱和状态。能否更换离子泵内的抽气单元由于成本和空间的限制，一般比较小的离子泵的抽气单元是无法取出更换的。安捷伦生产的150 L/s及以上的离子泵可以单独更换泵内的抽气单元。用于微型离子泵和小型离子泵的磁体为何需要单独订购磁体是单独提供的，因为更换离子泵后，磁体可以重复使用。能否将离子泵当作真空计，读取真空室内的真空度安捷伦 4UHV 和 IPCMini 控制器的预设程序会自动将任意离子

4、泵的当前电流读数转换为压力。它们的高电流分辨率（4UHV 为 10 nA，IPCMini 为 1 nA）可确保在低压范围内得到准确读数。将离子泵用作真空计的最佳方式是，向泵施加低电压 (3 kV)，以减少漏电流的影响。4UHV 和 IPCMini 离子泵控制器使用的是哪种远程通讯标准 4UHV：RS232/485 和 I/O 信号。还可以定制 Profibus 和以太网版本。标准 IPCMini：RS232/485，I/O 信号。可以定制以太网版本。什么是 Step 模式？为优化离子泵的抽速，最大程度减小漏电流的影响，安捷伦为离子泵控制器开发了 Step 模式。该模式下控制器可以根据离子泵消耗

5、的电流和离子泵大小，将电压自动切换至 3kV、5kV或 7 kV。如何选择离子泵控制器的功率离子泵工作所需要的功率跟压力和泵的大小有关。较大的泵在较高压力启动时，需要使用功率更高的控制器，如4UHV（80 或 200 W）；较小的泵在较低压力启动时，使用功率较小的控制器即可，如 IPCMini (40 W)。比如，在 105 mbar 下使用 200 W 可以轻松启动 500 L/s 的离子泵。而对于中等大小的离子泵 (75 L/s)，只需不到 80 W 即可在相同压力下启动。40 W 的功率可以使 75 L/s 的离子泵在 106 mbar 下轻松运行，或在典型离子泵运行范围内（低于 1 1

6、06 mbar）操作 500 L/s 的离子泵。能否提供比标准电缆更长的电缆可以。请联系安捷伦真空了解更多详细信息。为何选择 TSP（钛升华泵）/NEG（吸气剂泵）复合离子泵由于钛升华泵或吸气剂泵可以提供很大的抽速，在 UHV 系统中，通常使用钛升华泵或者吸气剂泵作为泵送活性气体（如氦气和氮气）的有效手段，但是，钛升华泵或者吸气剂泵对非活性气体（如氩气和甲烷）几乎没有抽速。由于 Starcell 三极离子泵对非活性气体有较好的抽气作用，通常将 TSP 或 NEG 与 Starcell 结合使用。安捷伦可以提供与钛升华泵复合的 CombiTSP 离子泵或与吸气剂泵复合的 CombiNEG 离子泵。吸气剂复合型离子泵和钛升华泵复合型离子泵怎么选两者都可以大大提高离子泵对活性气体的抽速，主要区别是吸气剂复合