TFC膜层设计软件使用指南一二

红光：620nm~760nm；绿光：490nm~580nm；蓝光：430nm~450nm。1环境设置2膜层公式输入，以长波通为例讲（也可以不采用具体公式，用傻瓜式优化的方法，后面再讲）100-040.080_0100-040.080_0得到原始膜层特性如下，短波端已满足要求，长波段需要进行进一步优化，经过一系列探索和尝试才能得到目标值。45.0570.0i：™：iPolaEl2a.tionzBFirstSurface:Frent

3优化目标参数设定Modify》Target-Discrete》options》GenerateTargets次TFCak-untitledLI 1■冬・]File-EditModifyRunResultsMisc.HelpOptionsTargetttKindRefl/TranPolari^atioriWavelengthAngleTargetValueToleranceEnvironment44GenerateTargets选项卡的填写【如图】•取样点间隔默认是10,越小取样密度越大，可以取小一点当不能满足要求时。•在填写Target时要注意自己前面填写的参数目标是透射还是反射，比如对于长波通LPF，下面插图的400~590nm的波段低透射率就填写错了。应该是透射率小于目标值，如＜3%。•目标参数可以不断添加，可以在GenerateTargets的表格中看到自己设定的参数目标。注意二次添加时不要勾选覆盖前面的参数；如图的左下角。

GenerateTargets"爪心临".何化国杯湖一汁和一段牟铝Inten/Phase.『认可以不断进入该选项卡填写目标曰斯此时记住不能再覆盖前面同宅，并认同标.Inten/PhaseRrll/Tran:Polarization:Wavelencfthj：EnvironmentSparetargelsby:<•WavelendthRrll/Tran:Polarization:Wavelencfthj：EnvironmentSparetargelsby:(LogoA/svelenglh•也可以删除，删除某些范围的目标值。Modify》Target-Discrete》options》DeleteTarget冰Targets-DiscretejJctionsTwgtriQ?4*街7E?7300203KmdkIrtenstyInlerahiIrtensilyDtleleInlenstyInters^lnten.3ljiIrtiRell/TierranTIETranIrenTia~iIPolaniahanDjictitiximtcioldiscietetsraels:3Edetc ""throughPPPWavelength796.075E.0?GQD7?0.077Z0774.07：Angle45D45.045.045.045.045.0TargetVaLie>98J：i>M.O>9B.O>90.0>ffl.O>9&D>'TdEfanaeD.2LL20.2OKCanEelLI20.20.2Erwranmenl111I5依据经验调整优化，得到设计目标修改图像显示参数可以双击图，得到下面的选项框。。。SetPlotParameters.振值一显示:2EiiauEtifiK»傅jm>!i"aL«9fTfaib*!JZDutyii■:■nmSetPlotParameters.振值一显示:2EiiauEtifiK»傅jm>!i"aL«9fTfaib*!JZDutyii■:■nmFHlut4R.4fisa»E5：nv^aL-af*Full^angeX-AxisRange: ~r1380.0 to|7800 nrrEAutomatic(0.4638to100.0000Z]Rang-- r[orto|ioooMinorTi:ks:>:p V:|0DisplayAlso:|TargetsISavedresjltsIOveray 切限优化目标俏岸否、□K：|CancelDisplay:Polarizalion:^arwiitian^^二］厂击r5FAver-zge WF'X-AxisUnits:|WavelengthJ6、设计结果查看，可以看到各膜层厚度和总层数，总厚度Modify》LayersFront》Modify》LayersFront》options》求LayErs：-Frontkjp口口门srwiofeupaun&L号丘i123d5G7日910M占1凹土1IID2SID2TI025102TIQ2SID2TID2SI02rias5102QfWOT0.73961.D522111::<'0.7924TJI；：：0.730D1.14921■!!：11I!.'：：Thickne*&[nm|45321049947.351U274G.5E11项4B411UE74R印11533□ptimzc?YdsYt5YesYesYesYesYkYmYesYesGrcup111111111Coistiah?NoNoNdNoNaNoNoNoNdNdMinThckn&HO.OCOOrmO.OJODnmQEflCOnmDlEOU]nmD.OOEOnm0.00110nmO.OCOOrmO.OZODrmQEDO]nmQLOEQnmManThfekrefsO.OfflOrmO.MODrirnU工|工•iiD.DOMnmD-OOCOnma.OC«]OrmO.OfflOmD.KODrmU/i工•iiD.COMnmNeed^?Yk-'YkYesVeiY'etYkYk'Yk'Ye$Y'es1i-

7关于优化选项一些限制的设定。这在非公式化设计而采取匹

1=1直接优化设计中几乎是必须的一步。其会自动在设计中增添匹

1=1膜层和改变膜层厚度。•Run》Setoptimizationparameters》SetOptimizationParametersMethcd:FtiwwLipmiaa: E血ets CGirupaMsm.IlH-ahcfizEnorTderarcecMw.CharQ-［茬|点击Needleparameters上面这个图就是是否在调整优化中添加新的膜层，长出新的膜层等的设定。

8傻瓜式优化设计举例•公式随意写