13电镀铜工序工艺规程

工作文件文件名称电镀铜工序工艺规程文件编号SY-QC-13修订码A0生效日期2004.01.01页数1/5拟制审核批准页次修订码日期修订内容修订确认全部A版2004.01.01第一次发行分发部门/工序管理者代表、行政部、工程部、生产部、电镀铜工序、品管部工作文件电镀铜工序工艺规程文件编号SY-QC-13生效日期2004.01.01修订码A0页码2/51目的为规范电镀铜操作，确保产品生产品质2范围单面、双面及多层板均适应3职责操作执行：生产部操作监督：工程、品管部药水化验：品管部药水添加：工程部、生产部、品管部设备维护保养：生产部设备维修：工程部、设备供应商4材料、设备和工具4.1材料硫酸铜、硫酸、盐酸、铜阳极、镀铜光亮剂、除油剂ST401DP、SPS4.2设备、工具铜缸、整流器、过滤机、摇摆机、空气搅拌机5引用文件无6工艺规程6.1工艺流程工序温度时间打气上挂具无无无除油30-35°C4-6分钟无水洗(1)室温5-20秒适中水洗⑵室温5-20秒适中微蚀25-30C60-90秒适中水洗⑶室温5-20秒适中水洗⑷室温5-20秒适中酸浸室温1-10分钟无镀铜18—30C10-20分钟适中下挂具无无无6.2流程说明6.2.1上挂具：上挂具时双手戴干净的白纱手套,锁板时夹住板的周边，不要进入线路图形部位，管位螺丝适当拧紧即可。6.2.2除油：清除板面上的油污及指纹,为下一步均匀微蚀作准备。6.2.3微蚀：清洁粗化铜面，除掉板面氧化物及杂物，使之得到一个化学清洁的微观粗糙的表面，提高电镀铜与基材铜的结合力。6.2.4浸酸：除掉铜面上的氧化膜及活化铜表面，并能减少杂质的带入量，防止铜缸污染。6.2.5镀铜：采用直流电镀方法在铜面及孔内沉积5—15um铜厚，保证层与层之间电气导通的可靠性。工作文件电镀铜工序工艺规程文件编号SY-QC-13生效日期2004.01.01修订码A0页码3/56.3槽液成份及操作条件缸名开缸成份控制范围操作条件补充方法换槽频率温度时间除油(500L)ST401D4：10%HSO:5%8-12%4-6%30-35°C4-6分钟化验添加200廿/次微蚀(500L)24NaSO:70g/LHSO:2%2460-90g/L1-3%Cu2+^30g/L25-30C60-90秒化验添加当CU2+>30g/L时换槽浸酸(500L)H2SO4：6%5-8%1-10分钟化验添加更换微蚀槽时连向酸洗槽起更换铜缸(2600L)CuSO:75g/LHSO4200g/LCL-4：60ppmST404DP：4%o60-90g/L180-220g/L40-80PPM2-5%。1830C电流密度：30ASF5-20分钟阴极摆动：15-20次/分连续过滤，连续空气搅拌ST404DP：300ml/1000A/H其它成份化验添加1000廿/活性碳处理一次5000廿/盘槽一次7操作规程7.1生产前先检查各水阀是否处于正常状态，各槽液位是否足够。7.2取样分析各槽液成份，根据化验结果调整全标准范围。7.3检查过滤机、摇摆、空气搅拌装置是否运作正常。7.4上槽前先擦洗阴、阳极杆，保证导电良好。7.5板子上槽后将管位螺丝拧紧，然后开启电流，电流一般调在稳压状态，其电流大小依生产制作单要求执行。7.6电镀铜完成后，先关闭电流，再取下挂具清洗。8设备维护与保养8.1每天对镀铜前处理槽取样分析，根据化验单补加药水，补加药水时双手戴防护胶手套，以防腐蚀性药液灼伤皮肤。8.2每天上班时检查整流器，过滤器，摇摆机、空气搅拌装置是否正常，发现故障及时维修。8.3每天清洁阴阳极杆，保证导电良好；若停槽12小时以上，生产前需先弱电解20分钟，电流密度5ASF，每块拖缸板50A的电流。8.4每周清洗过滤棉芯一次，2个月更换/次。8.5每周检查阳极消耗情况，低于液面5cm时补加铜球，铜球添加前先用3-5%的稀硫酸浸泡10分钟。8.6阳极袋口需高出液面3-5cm，如有破损及时更换。8.7每两个月对槽液进行一次活性碳过滤，并对阳极进行清洗，活性碳过滤后更换新的棉芯，新棉芯使用前用5%HSO浸泡15分钟，漂洗干净后方可装入。8.8每半年对槽液进行一次活性碳大处理。

工作文件电镀铜工序工艺规程文件编号SY-QC-13生效日期2004.01.01修订码A0页码4/59相关记录表格9.1槽液分析/调配通知单惠州市顺盈科技实业有限公司槽液分析/调配通知单试验项目：生产线：通知单号：日期:槽号成份含量要求值结论补充药品数量单位调配者备注化验员：校对：工艺工程师：9.2药水添加更换记录表药水添加更换记录表日期药水品名添加量添加人备注工作文件电镀铜工序工艺规程文件编号SY-QC-13生效日期2004.01.01修订码A0页码5/59.3设备日常维护记录惠州市顺盈科技实业有限公司

设备日常维护记录部门：工序：序号:设备名称型号设备编号年月曰7项目日期、安全装置调节器油、水、气通道过滤器传动部位滑动部位防锈处理卫生清理其它