洁净管道测试流程课件

QC流程及注意事项

目录：一、外观检查及管路确认二、气密测试三、氦测漏检验四、微粒子测试五、含水量测试六、含氧量测试七、机台复归一、外观检验及管路确认：1、外观检验程序：2.对气,管路确认a.管路之入口（源头）接上气源。b.送气测试，管路正确，管路的终点则有气体流出。c.复原管路，检查标示是否正确。d.多管路气体测试，逐管检查，以免混淆。e.执行检查时若发现有不符合事项时，品保人员应通知工程部监工进行改善。二.气密测试使用气体：厂内PN2系统或particle小于0.1um的惰性气体做压力测试。测试项目规定气体测试压力测试时间压力测试N28kg/cm212小时（或依业主规定）1、保压测试：测试压力及时间设计值:a.封住出气：管路上留一道进气口，其余进出气口都封住。b.衔接管路：将管路进气口接气源，出气口接上Gauge或圆盘压力计，c.圆盘压力计归零：于使用前需做归零的动作。d.充入气体：进气口气源或出气口Gauge或圆盘压力计，盘面管路上所形成封闭的空间。

有阀件必须全开。e.Snoop测试：用Snoop测试盘面管上之接头是f.测试：用Gauge或圆盘压力记录器来测试盘面g.测试时间：12小时或依业主要求之测试时间。h.测试温度：尽量维持开始测试温度（无尘室温否有漏气现象。（若有漏的现象，会有起泡的状况）。管路上压力状况，并随时间的流逝，记录下每一时刻的实时压力值。度23°C）至测试结果（因为温度会影响测试设备压力）。i.在规定的时间内，管路的压力应没有下降。如果压力值有出入，但测试开始和完成时的温度不同，则须再考虑温度校正公式，以决定此压力测试是否通过。温度校正公式：（1）计算公式： P1：起始绝对压力值

(㎏/㎝2g＋1)。 P2：理论最终绝对压力值

(㎏/㎝2g＋1)。 P2’：最终绝对压力值

(㎏/㎝2g＋1)。 T1：起始绝对温度

(℃＋273＝oK) T2：最终绝对温度

(℃＋273＝oK)P2＝P1×T2/T1（2）判定：｜P2’－

P1｜/P2≦3﹪注意事项：a.所有测试均须以最有效率的方式进行，譬如以几个邻近的管线为一组搭b.改善措施：针对有漏的地方进行维修及重工之改善措施。c.测试时，管路充入测试气体后10分钟或更久，才开始做记录，以免产生d.未接受试压部份，如安全阀、控制阀、压力计等，均应接受气密试验。配一压力记录仪进行测试工作。误差。气密试验的压力不可超过该组件的最大压力范围。

e.试验时须确定通风良好。

f.试压后排放管内压力，并保持吹净状态，或使管内保持0.5㎏/㎝2以上压力，并注意安全防止排放环境缺氧。氦测漏测试程序：a.设备抽真空：先将He测漏仪设备内部真空值到1*10-9atm.cc/secb.检验管路：检查管路、盘面上之每个焊接点VCR接头是否有组装好。c.衔接管路：将要测试管路之所有进气口封起来，只留下一个测试孔，d.抽真空：测试的管路抽真空数值必须达到1*10-9atm.cc/sec,且数值与氦测漏仪设备衔接。稳定后才可进行测试动作。氦测漏仪操作注意事项：a.氦测漏仪于开机后，应平稳放置，不可有倾斜。b.本机内部抽气系统属特之涡轮分子泵，在关机3-5分钟后，即Pump确实c.在测试工作结束后，因内部含有大量的氦气，故于管路盘面分离后，测d.氦测漏仪工作电压系分为220V在送电前，须确定电压是否正确。e.因本机器设备系属精密电子仪器设备，故必须使用有接地式插头。f.本机器设备长期不使用时，每周必须开机运转一小时，可保持测漏仪更好停止运转后，始可移动或重新开机。漏仪必须内部抽真空数值到1*10-9atm.cc/sec待漏率数值稳定后即可关机。的灵敏度。四.微粒子分析

Particle有一激光管，当微粒子在气流的作用下，通过激光管发出的激光束时发生折射作用。微粒子大小不同，折射光的强度也不同。不同的折射光通过光电转换，即得到强度不同的电流。而电流的变化可以对微粒子大小及数量进行测量。测试流程：1.选用气体：

a.使用气体必须经过0.01um过滤器过滤之惰性气体（氮气等）

b.气体来源纯净值必须小于小于0.1um2.管路吹扫：

a.将测试管路之入口或盘面进气口接上气源，来Purge所要测试的管路。

b.管路盘面之气体的出口必须单独测试。

c.测试时如果不断出现Particle时可用橡胶榔头或手轻拍所要测试的管路；所有阀门都要做“开”“关”动作，以使管内微粒子随Purge气体排出。此

Purge程序需维持30分钟以上。3.测试：

a.将管路之气体出口接到ParticleCounter取样口。

b.若管路为多气体出口时，每支管路气体出口必须做单独测试。

c.测试压力：45~150psi。

d.测试时间：测试十分钟取样一次并记录，连续测试三次。

e.测试标准：小于等于0.1um。测试仪器使用注意事项：a.电源启动前，必须确定使用电源为220V，频率为60Hz。b.开机后，不可移开进气端，以免镭射管损坏。c.本测试机台为非防爆型，故测试气体仅可使用Air、Ar、CO2、He、Ne、N2。4.结束需将测试结果记录于微粒子分析测试记录表，以作日后追溯与识别使用。五、含水量测试

TRACER水分分析仪的基本原理：CELL是一特殊电元件，其内部表面有P2O5层，当含有水分的气体通过CELL时，CELL表面的P2O5层吸收水分并电解。水电解后形成带电的离子，带电离子形成电流，通过测量电流变化可以得知水分多少。

测试程序：4.结束：将测试结果记录于水份分析测试记录表，以作日后追溯与识别使用。六、含氧量测试

CELL电流元件结合了一个包含在多孔管里的银电极与镉电极和铂电极共同包含在氢氧化钾溶液中。当含有氧分的气体通过氢氧化钾溶液时，氧在银电极上还愿为氢氧根离子，通过溶液的移动，在镉阳极产生负电荷形成电流，电流在微处理器控制下测量出相对应的样品氧浓度。测试程序：选用气体：使用气体必须经过纯化器滤过的氮气或同等纯度的惰性气体。七、机台复归1.复归程序：

a.准备相应的工具：扳手，Gasket，易碎标签等

b.拆卸接头，理顺管路，管路不可有歪斜或交叉

c.将新的gasket装于公头一端，与设备端所对应的管路衔接，用手旋紧后，两只