HVAC系统介绍及节能课件

HVACsystemintroduction&costsaving飞索半导体(中国)有限公司Zhang,haichenMay.08目录空调系统的概述空调系统的每个组成部分冷冻机AHU/MAU及空气处理工艺冷却塔冷冻水/冷却水/热水水路系统蒸汽系统洁净室空调分体空调排风系统节能分析节能案例HVAC(HeatingVentilation&Airconditioner)系统介绍人与环境的关系1、建筑：由围护结构构成的人类在其中生活与工作场所。2、围护结构墙、顶、在面、门、窗等构筑物，分为外围护结构与内围护结构。3、建筑环境：建筑场内冷、暖、湿度、空气洁净度、空气流速声、光等组成。4、环境作用关于人类的健康、寿命、工作效率、产品质量、科研进行等环境的要求舒适性：温湿度宜人，空气清新，光照柔和，宁静舒适。

工艺性：生产与科学实验，恒温：标准量具生产；恒湿：纺织；恒温恒湿：合成纤维生产；洁净：电子工业、生物工程；无菌：医药，医疗。采暖通风与空调的含义1、采暖通风与空调：控制建筑热湿环境和室内空气品质的技术保证建筑环境中部分指标要求。2、采暖（Heating）——又称供暖定义：按需要给建筑物供给热能，保证室内温度按人们要求持续在高于外界环境。是人类最早期开始使用的室内温度指标控制手段。分为分散式：热源与散热设备在一处，火坑、火炉、火墙、火地。集中式：热源与散热设备分开，目前楼房中。采暖系统的影响：舒适感（温度），卫生、美观、能量的有效利用。采暖通风与空调的含义3、通风：（Ventilating）定义：向房间送入，或由房间排出空气的过程。目的：利用室外空气（称新鲜空气或新风）来置换建筑物内的空气（称室内空气）功能：1.提供人呼吸需要的氧气；2.稀释室内污染物或气味；3.排除工艺过程产生的污染物；4.除去室内多余的热量（余热）和湿量（余湿）；5.提供燃烧设备所需氧气。采暖通风与空调的含义4、空气调节（AirConditioning）——简称空调定义：用来对房间或空间内的温度、湿度、洁净度和空度流动速度进行调节，并提供足够量的新鲜空气的建筑环境控制系统。采用采暖，通风或空调要区别考虑。HVAC（Heating.VentilatingAirConditioning）采暖通风与空调系统的工作原理一、工作原理1、民用建筑（商用建筑、公共建筑）图1-1（表示对民用建筑室内环境进行控制的基本原理图）得热：人体、照明、电器、太阳辐射、室内外温差。得湿：洗涤、晾衣物、烹饪热负荷：为维持室内温度高于环境温度，向建筑物提供的热量冷负荷：为维持室内温度低于环境温度，所排走的热量。湿负荷：为维持室内所需要的湿度，所排走的湿量。暖通空调任务：向室内提供冷量、热量、加湿或减湿，稀释室内的污染物，保证室内具有适宜的冷热舒适条件和良好的空气品质。采暖通风与空调系统的工作原理2、工业建筑特点（与民用建筑比）：空间大，人员密度小，不宜对全车间进行全面温、湿度控制（除一些特殊的生产工艺或热车间）。排风系统：为排除室内的有害气体，蒸气，固体颗粒等污染物，使室内污染物浓度达到要求所设立的通风系统。图1-1（b）暖通空调工作原理：当室内得到热量或失去热量时，从室内取走热量或向室内补充热量，当室内得到湿量或失去湿量时，从室内排走湿量或补充湿量，当有污染气体时，排走污染空气，补入等量的清洁空气。采暖通风与空调系统的工作原理热平衡：使进出房间的热量相等。湿平衡：使进出房间的湿量相等。空气平衡：使进出房间的空气量相等暖通空调气流特点：控制对家不同，要求不同，所用方法不同，介质不同。课程内容：系统的基本组成，设备特点、工作原理，设计要求（负荷计算，水力计算，气流设立）空调系统的分类空调系统的分类（1）舒适性空调——保证创造舒适健康环境的空调系统，民用建筑，商用建筑，公共建筑，住宅，办公楼等见教材/特点：温度、湿度精度要求不高。（2）工艺性空调——为生产工艺过程和科学实验创造必要环境条件的空调系统。特点：按工艺类型不同，功能，系统形式的差别很大，精度有时要求较高。电子：含尘浓度组织：相对湿度计量室：温度医药：无菌空调系统每个部件的概述冷冻机制冷循环原理理论冷冻循环之分析

理论冷冻循环系基于三点假设状态：1.压缩与膨胀过程均为絶热过程----亦即压缩与膨胀过程均没有热之获得。2.除冷凝器与蒸发器产生热传递作用外，其余部份均无热传递发生。3.离开蒸发器之冷媒为饱和气体状态，离开冷凝器之冷媒为饱和液体状态。分析冷冻循环：1.蒸发过程：B点为冷媒离开冷媒控制器之未饱和气、液状态，C点为冷媒离开蒸发器之饱和气态，BC为冷媒液体吸热变成饱和气体之蒸发过程：假设蒸发器之吸热作用为潜热变化、无显热变化；故压力→不变温度→不变Enthalpy→增加（蒸发吸热）Entropy→增加（液体变气体）比容→增加（液体变气体）

2.压缩过程：C点为冷媒进入压缩机之饱和气态（管路无热传），D点为冷媒离开压缩机之过热气态，CD为冷媒由低温低压变成高温高压之气态之压缩过程：因压缩过程为絶热过程，故压力→增加（压缩）温度→增加（压缩热）制冷循环原理Enthalpy→增加（输入功）Entropy→不变比容→减少（压缩）3.冷凝过程：D点为冷媒离开压缩机之过热气态（进入冷凝器之状态），A点为冷媒离开冷凝器之饱和液态，DA为冷凝过程（亦为等压之变化），故压力→不变（仅潜热变化）温度→减少（放出过热之热量）Enthalpy→减少（放出气态潜热）Entropy→减少（气体变液体）比容→减小（气体变液体）

4.膨胀过程：A点为冷媒进入冷媒控制器之饱和液态，B点为冷媒离开冷媒控制器之未饱和液、气状态，AB为高压变低压之膨胀过程；因膨胀过程为絶热过程，故压力→减少（降压作用）温度→减少（降压作用）Enthalpy→不变（絶热过程）Entropy→减少比容→变大冷冻循环分析图空气系统（AHU/MAU）空气处理过程A.

冷却除湿：当A点之空气通过表面温度低于A状态之露点温度的冷却管排时，A状态之空气不仅被冷却同时被除湿；空气线图上是向左下方的方向进行，斜度是按湿与冷却量的多寡而定。B.

显热除湿：当A点之空气通过表面温度低于A状态之干球温度但高于A之露点温度之管排时，A点不仅被冷却不被除湿；空气线图上是向左水平的方向进行。C.

蒸发冷却：当A点之空气通过一水温等于其湿球温度之喷水区时，空气之显热减少，使干球温度降低；但是，水之蒸发潜热加于空气中（等于显热减少量），故Enthalpy值不变，所以A是向左上方进行。D.

纯加湿：当加湿器对当A点之空气加湿时，A点之空气只增加水汽含量，亦即絶对湿度增加，但干球温度不变，故A点是向上方进行。E.

加热加湿：对A点之空气加热且加湿时，A点空气之显热潜热均增加，故A是向右上方进行，斜度是按加湿量与加热量的多寡而定。F.

纯加热：当以热水管排或电热器对A点之空气加热时，只有显热变化而无潜热变化，故A点是向右水平方向进行。G.

化学除湿：利用化学干燥剂除湿时，虽空气中的水蒸汽被干燥剂吸收，但水汽释放蒸发显热给空气，使得空气增加干球温度，故A点是向右下方向进行。H.

纯除湿：由A点之空气移出水份时，干球温度不变，故A点是向下方向进行。空气处理过程空气系统介绍B-1.Makeupsystem(补给系统)有两种功能：1)是补给新鲜空气给洁净室内人员使用，2)是给制程排放废气之补给用以达整体空气平衡。B-2.RecirculationSystem(循环系统)有两种功能：1)维持洁净室内空气达到要求，2)维持洁净室内之空气之温度。B-3.ExhaustSystem(废气系统)有两种功能：1)维持洁净室内空气质量达到要求，2)排出过热/酸性/碱性/有机溶济之废气。B-4.ChilledwaterSystem(冰水系统)其功能：1)提供冰水给空调箱去除空气中之水分。B-5.Coolingwatersystem(冷却水系统)其功能：1)利用空气将冰机排出冷却水冷却使其水温达到28℃以下。

新风机工作原理

HeatingCoil45加热器加热量(Qh)Qh=0.24xGx(t5-t4)=0.29xQx(t5-t4)Qh‘=0.24x60xQ‘x(t5‘-t4‘)Qh：Kcal/Hr；Qh‘=BTU/Hrt4：加热器前之DB(℃)；t4‘：℉t5：加热器前之DB(℃)；t5‘：℉34冷却盘管冷却能力

QeQe=Gx(i3-i4)=1.2XQX(i3-i4)Qe‘=4.45xQ‘x(i3‘-i4‘)Qe：Kcal/HrQe‘：BTU/HrG：风量(kg/Hr)i3,i4：空气Enthalpy(BTU/Lb)i3‘,i4‘：空气Enthalpy(BTU/Lb)Q：风量(M^3/Hr)Q‘：风量(Ft^3/Min)

56加湿气之加湿量Wh=Gx(X6-X5)=1.2xQx(X6–X5)Wh‘=4.45xQ‘x(X6‘–X5‘)Wh：加湿量(Kg/Hr)Wh‘：加湿量(Grain/Hr)X5：加湿器前空气之绝对湿气(Kg/Kg‘)X6：加湿器后空气之绝对湿气(Kg/Kg‘)X5‘：加湿器前空气之绝对湿气(Grain/Lb)X6‘：加湿器后空气之绝对湿气(Grain/Lb)62实际室内热负荷Qm=Gx(i6–i2)=1.2xQx(i6–i2)Qm‘=4.45xQ‘x(i6‘–i2‘)Qm：Kcal/HrQm‘：BTU/Hri2：室内空气之Enthalpy(Kcal/kg)i6：冷空气之Enthalpy(Kcal/kg)i2‘i6‘：BTU/Lb新风机处理空气原理

其目的有两种功能：1)是补给新鲜空气给洁净室内人员使用，2)是给制程排放废气之补给用以达整体空气平衡。以IC制程而言废气排放远大于洁净室内人员所需之新鲜空气，但不管如何每立方米空气是耗费大量能源制程，若要节省能源此即是节约能源之对象。另外补给新鲜空气空调箱又因为加湿方式不同又可分为：1)蒸汽加湿式(SteamType)此即是当湿度不足时采用蒸汽加湿方式达到洁净室湿度要求，在节约能源方式而言是较节省，2)空气水洗涤式(AirwasherType)是采用Pump将水形成水帘幕方式将空气洗涤干净并同时给予加湿是较浪费能源方式，但在IC制程上湿度要求严苛之下采用此方式是最安全而不影响制程生产。B-1-1.蒸汽加湿式(SteamType)新风机处理空气原理A：Pre-Filter主要是将外部灰尘及异物过滤，而干净空气则通过过滤效率为EU3、25﹪B：Med–Filter主要是将Pre-Filter干净空气再过滤EU7以下,此过滤效率为85﹪C：CoolingCoil主要是将空气中湿度给予除去，同时会产生大量冷凝水，这些水使可以回收给冷却水塔(CoolingTower)使用。D：CoolingCoil主要是将空气中湿度给予除去，因外部空气湿度过高(尤其夏天干球温度又过高，经验而言大约是32℃以上，湿度大约32℃)空调箱除湿时一道冷盘不足将空气水分全部移除因此必须再加一道CoolingCoil以达到要求。E：HeatingCoil主要功能是将空气之干球温度提高达到预定温度(一般而言是18~22℃)，以便于Humidifier加湿之用(此功能于冬天较明显，夏天因湿度高无此需求)。F：Humidifier主要功能是冬天湿度不足必须补足湿度要求达40RH以上，夏天因湿度高无此需求。G：Attenuator主要功能是因为风速过高必须降低为60Dba以下。H：Fan风车主要功能是提供当初要求之风量和克服空气于风管中运转之静压即可。I：FinalFilter主要是将Med-Filter干净空气再过滤至0.3um以下,此过滤效率为99.99﹪，确保因空调箱产生Particle于进入洁净室前完全过滤达到IC制程要求新风机处理空气原理B-1-2.空气水洗涤式(AirwasherType)A：Pre-Filter主要是将外部灰尘及异物过滤，而干净空气则通过过滤效率为EU3、25﹪B：Med–Filter主要是将Pre-Filter干净空气再过滤至EU7以下,此过滤效率为85﹪C：HeatingCoil主要功能是将空气之干球温度提高达到预定温度(一般而言是18~22℃)，以便于AirWashing时补充不足水分达到湿度要求(此功能于冬天较明显，夏天因湿度高无此需求)。D：AirWashing主要功能1)空气加湿：补充不足水分达到湿度要求2)洗涤空气：因空气有些杂质可以藉由此种方式洗涤干净,为此种方式邦浦必须24Hr运转，因此邦浦可靠度必须很高不然必须要有备用设计。E：CoolingCoil主要是将空气中湿度给予除去，同时会产生大量冷凝水，这些水使可以回收给冷却水塔(CoolingTower)使用。F：CoolingCoil主要是将空气中湿度给予除去，因外部空气湿度过高(尤其夏天干球温度又过高，经验而言大约是32℃以上，湿度大约32℃)空调箱除湿时一道冷盘不足将空气水分全部移除因此必须再加一道CoolingCoil以达到要求。G：HeatingCoil主要功能是将空气之干球温度提高达到预定温度(一般而言是18~22℃)，此功能于冬天较明显。H：Attenuator主要功能是因为风速过高必须降低为60Dba以下。新风机处理空气原理

I：Fan风车主要功能是提供当初要求之风量和克服空气于风管中运转之静压即可。J：FinalFilter主要是将Med-Filter干净空气再过滤至0.5um以下,此过滤效率为99.99﹪，确保因空调箱产生Particle于进入洁净室前完全过滤达到IC制程要求冷却塔的基础知识冷却塔的作用：将携带废热的冷却水在塔内与空气进行热交换，使废热传输给空气并散入大气。冷却塔的分类：按通风方式分：自然通风冷却塔；机械通风冷却塔；混合通风冷却塔。按热水和空气的接触方式分：湿式冷却塔；干式冷却塔；干湿式冷却塔。按热水和空气的流动方向分：逆流式；横流(交流)式；混流式。冷却塔的工作原理：水的自由面与空气直接接触，共同进行热和质的交换。接触散热：即借导热和对流作用传热,基于温差的显热传递。辐射热交换：由于此部分在冷却塔中热交换率极小，可以忽略不计。水体的表面蒸发：即蒸发的水变为水蒸气并借扩散及对流作用进行物质(水汽)交换，基于水的汽化潜热带走大量的热，是冷却塔主要的热交换方式。冷却塔的常见问题及解决噪声控制冷却塔的噪声主要是轴流风机的噪声、塔体振动的噪声和淋水噪声，其进风口和出风口的噪声一般都比较大，如果冷却塔放置在居民区中，会带来很大的噪声污染。针对冷却塔噪声的来源的不同，我公司一般做以下几种噪音防治手段：1、在有噪音要求的场合，采用选择低噪音风机、安装消音筒、设置消音墙等手段控制噪音。2、由于斯频德冷却塔都是采用1.0G以上的耐震设计，所以一般不存在塔体结构振动传声噪声的问题。3、我公司冷却塔设计为循环水沿填料缓缓流如水槽中，淋水噪音极低。冷却塔水质的控制对开放式冷却塔而言，由于空气和水直接接触，含盐量浓缩，水温升高等特点循环水容易对设备带来危害，也就是常说的设备结垢和腐蚀。在循环水再冷却塔内进行热交换时，由于水不断地在蒸发，循环水的含盐量不断增加，会使设备的腐蚀变快。由于空气和水在填料上大面积接触，二氧化碳很容易从水中析出，水中的重碳酸钙就会不断地生成碳酸钙，当碳酸钙含量过饱和时便会在设备上形成水垢。循环水系统水温适宜、营养物质丰富、再加上阳光照射，为各种细菌、微生物及藻类提供了良好的条件，繁殖很快，微生物本身就有粘性，再将水中的悬浮物粘接在一起附着在设备上，也会使设备传热效率降低，阻碍水流通过，还会对金属制品产生腐蚀。对冷却塔水质的控制一般分为化学方法和物理方法两种。所谓化学方法就是指在循环水中定期投入一些药剂，来控制冷却塔内的结垢、滋生微生物等问题。所谓物理方法就是指利用电、磁、紫外线等手段来实现对冷却塔的水质进行控制。水泵系统CHILLERCHILLERReturn回水Supply給水Primary-Secondary共有管路CommonCHILLERLoadSystem負載系統

SourceSystem製造系統PrimaryPumps一次側水泵DistributionSystem送水系統SecondaryPumps二次側水泵ExpansionSystem空氣處理系統二次泵蒸发器侧定流量，用户侧变流量空调箱两通控制阀变频器压差传感器冷水生产侧冷水分配侧旁通管Chiller#2Chiller#1末端二通调节阀与室温传感器，闭环旁通管，无压差旁通阀加/减冷冻机，供水温度，或旁通水流方向旁通水流量旁通水流方向和水流量问题： 主机部分负荷VS

一次侧水泵满负荷二次泵蒸发器侧定流量，用户侧变流量加/减冷冻机，供水温度，或旁通水流方向当旁通水流量支援供水时，也就是旁通管内的水流方向是从回水侧流向供水侧，加机；或，当供水温度大于设定值时，表明投入的主机数量不够，加机旁通水流方向和水流量当旁通管内的水流是从供水侧流向回水侧，并且旁通水流量达到一台主机水流量的110%，减机；Minimalpressuredropinbypasspipe负荷侧冷水生产侧负荷侧冷水生产侧二次泵蒸发器侧定流量，用户侧变流量加/减冷冻机，在保证供水温度的前提下，旁通管内的水流总是从供水侧到回水侧或者是零。假如在T4处设一个流量传感器F，则可以计算旁通流量M：加机时水流方向的判断：F4=F2,热平衡：T1(F-M)+T3M=T2FM>0时，也就是（T2-T1)/(T3-T1)>0也就是T2-T1>0减机时水流方向和水流量的判断：热平衡：F*T4+M*T3=(F+M)*T5M=F*(T4-T5)/(T5-T3)T5-T3>0，同时M>110%*一台主机的蒸发侧水流量时T1T2T5T4FT3负荷侧M冷水生产侧设计时，T1，T5不需要设传感器蒸汽系统基础知识1.蒸汽作为传热介质的优点w

蒸汽的热容量高，和液体传热介质相比，在输送同样的热量时，蒸汽系统的管道较小，这也意味着较低的费用。w

蒸汽管线重量相对较轻，可以减少管道的支撑费用。w

在蒸汽管道中，只要有压力降就有流动，因此不需要循环泵的费用。w

蒸汽系统弹性大，在一定的范围内可以根据需要增加或减小负载。w

蒸汽使用二通控制阀就能控制，从而避免使用三通阀。w

从使用角度看，蒸汽到介质的传热系数通常是从水到介质的2倍，因此可以使传热设备更加紧凑。此外，蒸汽传热表面不存在温度梯度，蒸汽充满的空间温度使相同的。

2.过热蒸汽如果饱和蒸汽经过温度更高的换热面，则蒸汽的温度会高于其蒸发温度，此时蒸汽称为过热蒸汽，高于饱和蒸汽的温度称为过热度。过热蒸汽有其本身的应用领域，如用在发电机组的透平，通过喷嘴至电机，推动电机转动。但是过热蒸汽很少用于工业制程的热量传递过程，这是因为过热蒸汽在冷凝释放蒸发焓之前必须先冷却到饱和温度，很显然，与饱和蒸汽的蒸发焓相比，过热蒸汽冷却到饱和温度释放的热量是很小的，从而会降低工艺制程设备的性能。

3.蒸汽干度在一定压力下的沸腾点温度产生的蒸汽称为干饱和蒸汽，此时干度为1。但实际应用中很难产生100%的干蒸汽，通常都带有一定量的水滴。如果蒸汽中含有10%质量的水分，则蒸汽为90%的干度，即蒸汽干度为0.9。因此实际的湿蒸汽蒸发焓不是蒸汽表上所显示的hfg，而为干度x和hfg的乘积：实际蒸发焓=蒸发焓x干度蒸汽系统基础知识4.蒸汽和焓的概念蒸汽是水的汽态表现形式。产生蒸汽需要把水加热至沸腾点，如果继续加热则沸腾水变为蒸汽。这两个过程涉及以下的几个能量术语：w

液态焓或显热这部分能量是指将水加热至沸腾点所需要的热量，此时加热的热量只改变水的温度，通常用符号hf表示。将1kg的水从0°C加热到沸腾点的热量可从蒸汽表上读取。例如，在大气压下（0barg），水的沸点为100°C，则将1kg的水从0°C加热到100°C所需的热量为419kJ。w

蒸发焓或蒸发潜热指将沸腾温度下的水全部转化成蒸汽所需的热量，通常用符号hfg表示。当热量加入时，水/蒸汽混合物的温度没有改变，所有的热量用来将液态（水）转变为气态（蒸汽），发生相变。蒸发1kg沸腾温度下的水所需的热量可从蒸汽表上读取。例如，在大气压下（0barg），需要2257kJ的热量将1kg100°C的水蒸发成为1kg100°C的蒸汽。w

全热能指蒸汽中所有的能量，是液态焓和蒸发焓的总和，用hg表示。全热能也可从蒸汽表上读取。例如，在大气压下（0barg），1kg0°C的水完全转化为100°C的蒸汽需要的全热能为419+2257=2676kJ。当蒸汽在工艺过程传递热量时，首先传递的是蒸发焓，这也是能实际应用到的热量。此时蒸汽冷凝成同温度下的水，称为冷凝水。典型的蒸汽减压系统流程图洁净室内容简介潔淨室的污染源可分外污染源及內污染源。外污染源包括了空調送風、間隙滲入、建築物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括了製程設備、工作人員、工具、加工製程、隔間材、工作桌、工具盒等，圖2為微塵粒子的傳送路徑。因此微污染控制已成為潔淨室管理的重要環節。表1為在自然環境所測得的塵埃濃度，可為設計參考。而在貴無塵室所測得的數據約在600,000~1,500,000（≧0.5μm）之間，界於田園地帶和住宅區間，由表中也可看出正吸煙的會議室，其微塵粒子之含量與工業區的工廠污染來得不相上下，值得我們深思警惕。測量地點微塵粒子數（個/ft3）≧0.5μm大氣層≦100田園地區（微風狀況）100,000~300,000住宅地區1,000,000~2,000,000辦公室（工作中）2,000,000~4,000,000工業區4,000,000~10,000,000正吸煙的會議室6,000,000~10,000,000表1自然界微塵粒子濃度污染来源微污染控制，其基本原則有四：

1.外物塵埃侵入之防止；2.室內發塵之防止；3.室內塵埃之不積留；4.發生之微塵儘速之排除。外物塵埃侵入之防止：潔淨室適當之正壓保持（＞0.5mmAq），做好施工工程不漏氣，人員設備、原物料搬入潔淨室前先做清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。室內發塵之防止：隔間牆、地板等潔淨室材料的適當選用、製程設備的發塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放輕、潔淨衣的管理、使用潔淨室專用器等。室內塵埃之不積留：牆壁體應光滑無死角、潔淨室須定期保養和清掃、製程設備四週應留空間。發生塵埃之排除：換氣次數須足夠，適當的空間佈置以及污染源直接排氣和空調的氣流速度須適當。潔淨室運轉管理，可依作業人員、原物料、設備及潔淨室內所用東西等加以探討，並依計劃（Planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking）、動作（Action）之PDCA循環步驟執行。污染来源作業人員之管理在潔淨室內污染來源80%來自作業人員，因此若能使作業人員依潔淨室管理辦法確實執行管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的產生可說已減少大半。現就進入潔淨室的作業人員之管理和注意事項說明於下：進入潔淨室之人員，必須要具備有達成高潔淨度標準，並要維持最好狀態之觀念。作業人員進入潔淨室數目以維持最小限度為原擇（愈少愈好），並須依潔淨室進出標準流程進出潔淨室，如圖8-3所室。出則相反方向進行，唯不須經空氣洗塵室之脫塵處理。洁净室人员管理8-3潔淨室進出標準流程进出流程對作業人員必須經常講解潔淨室管理之資料，並加以教育與訓練，內容如潔淨室管理之一般常識、潔淨室之構造與功能、維護和清潔、安全對策、搬運器材之潔淨管理與檢查、潔淨衣之穿脫、潔淨室內之步行方式等，並經考試合格者方能進入潔淨室工作。在潔淨室作業人員須經常保持自己各方面的乾淨與清潔。在潔淨室內之作業人員或其他人員之移動或動作均為發塵源，其直接影響製程，同時亦會影響氣流之擾動，為防止與控制上述，基本上須注意下列事項：不可在作業區域氣流之上方放置物品或做其他作業。不必要之動作儘量避免以防止亂流及發塵。與作業無關的私人談話儘量避免。為控制發塵量，人員步及作業要靜靜地進行。表8-2所示人體在不同動作時之發塵量。作業要在潔淨之工作檯或工作桌進行。工具等器具須收入有蓋子之箱子或櫃中，並置放一定的場所。洁净室人员行为规范在潔淨室之維護管理方面，可分三部份加以說明，1.建築物之維護管理；2.環境測定與管理；3.除塵空調設備之維護管理。1.建築物之維護管理：建築物內定期檢查清潔；地板之清掃管理及損壞更新；隔間牆及天花板檢查清潔和封補；窗戶及門之保養等。2.環境測定與管理：潔淨室內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測，以確實掌臥環境品質，遇有數據異常，可立即做緊急處理。3.防塵空調設備之維護管理：溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面已述及，唯其量測儀器應做定期校正檢驗，若有設備移動或施工時須做局部測量；過濾網之管理：定期檢查及更換；空氣調節器之管理：定期檢查隔板接縫及內部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現象；送風機之管理：定期檢查送風機運轉狀況；風管及出風口之管理：檢查風管是否腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等；測試及量測儀器管理：定期校正及保養；室內壓力管理：連續監視室內壓力記錄，以維持正壓為基準；冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質變化分析，以調整加藥量等；潔淨室停止運轉再開機要點管理：啟動後立即進行微塵粒子之測試，俟潔淨室恢復穩定正常時再開始作業。洁净室设施的管理厂房洁净室空调系统测试温湿度测试风量平衡测试噪音测试洁净度测试HEPA泄漏测试风管泄漏测试落菌数测试正负压测试温湿度测试空调温湿度测试程序测试基准：测试高度：Floor+1.5m。测试点数：每3mx3m为测试格点。每一点均测二次，取平均值为测量值。测试仪器：温度计及湿度计。仪器最小读数在0.1℃，0.2%RH以下，精确度：＜0.2℃，±2%RH。风量测试空调风量测试程序风速／风量测试测试基准：如滤网下方无设备阻碍，使用风罩式风量仪量测每点测量点数值需等数值稳定方可纪录数值。如滤网下方有设备阻碍时，则需将滤网盖板卸下，使用风速计量测。每个测量点距滤网下方，每点不超过15cm间距且大滤网量测8点小滤网量测4点。测试位置：每一滤网测两点。每个测量点时间至少5秒以上，每一点均须测二次，并取平均值为测量记录值。测试前先确认其滤网有无设备阻挡，选用是当量测仪器。测试仪器：使用热线式电子直读风速计或风罩式风量仪。仪器最小读数为0.05M/S以下，ACCURACY3%FULLSACLE以内。检附仪器校正有效日期证明。.风量测试噪音测试空调噪音测试程序测试基准：测试高度：Floor+1.5m。测试点数：每A/2.32m2为测试格点。每一点均测二次，取平均值为测量值。测试仪器：噪音计。噪音测试洁净度测试空调清净度测试程序测试基准：测量程序距离地面1.2米高度量测。测量点之周围60CM半径内无障碍和污染源。测量点CLASS10,000~100,000@0.5um测量公式：N＝A×64/（10m）0.5N＝量测点数A＝测量空间面积m2m＝测试区域清净等级数m＝1.5（class1）m＝3.5（class100）m＝4.5（class1000）m＝5.5（class10000）m＝6.5（class100000）每点取平均值为测量值每次测一分钟，如不足2点时以2点测量。测试仪器：光散射试粒子计数器（LASERPARTICLECOUNTER）。取样之流量1CFM。

洁净度测试ClassNameClassLimits0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5μmVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsSIU.S.(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)M1

3509.9175.72.1430.90.87510.00.283--M1.511,24035.02657.501063.0035.31.00--M2

3,50099.175721.43098.751002.83--M2.51012,4003502,65075.01,06030.035310.0--M3

35,0009917,5702143,09087.51,00028.3--M3.5100--26,50075010,6003003,530100--M4

--75,700214030,90087510,000283--M4.51,000------35,3001,0002477.00M5

------100,0002,83061817.5M5.510,000------353,00010,0002,47070.0M6

------1,000,00028,3006,180175M6.5100,000------3,530,000100,00024,700700M7

------10,000,000283,00061,8001,750洁净度测试HEPA泄漏测试空调滤网泄漏测试程序于施工图确认欲测试空调系统路径与滤网风箱相关位置。关闭同一空调系统其它风管主干管上之风门。调整空调箱风量，维持测试区域设计值风量。于空调箱里释放DOP矿物，并将BasedLine设定为100×10-6g/L，基准设好后依比例表示，其数值当上游浓度为100时，即为设定值开始量测。于滤网下约25mm处，用DHOTOMETER扫描并以3-4mm重复面积测试，直到HEPAUNIT全部面积扫描完成。侦测管之移行速度不超过50mm/s。Class10000区泄漏测项目：高效率滤网表面及框架。高效率滤网框架与天花板交接处。取样粒径：HEPA以0.3um微粒为检测BASE。量测方式：先将光谱仪量测一端插至HEPA箱DOP测试口，另一端放置于滤网下方开始扫描量测并观察其浓度值。量测要求：过滤网破损处必须修补，但总破损面积总和不得超过滤网表面积之3%，或单边破损长度不得超过38mm之修补，否则应更换滤网。HEPA泄漏测试风管泄漏量计算标准泄漏量计算：依业主或监造设计单位指定一空调系统采取一段风管长度进行测试。计算该段风管实际平均运转静压，选择泄漏等级（LEAKAGECLASS）CL，由于本案均为矩形风管且依约规定填缝等级（SEALCLASS）为ACLASS，故泄漏等级（LEAKAGECLASS）CL＝6。依该段风管实际平均运转静压(本案因风管较为集中供应区域，故可采用100mmAq静压计算之)，由『Table4』Leakagefactor(F)incfm/100s.f.duct可以得知该段风管每平方英呎标准泄漏量。计算该段风管实际表面积，再乘上每平方英呎标准泄漏量（Leakagefactor(F)incfm/100s.f.duct）。依式可得知取样风管标准泄漏量Qp。待一切准备就绪后，纪录取样风管相关尺寸与位置，启动试验风机，调整风机变频器使试验风管的内压保持在运转静压以上，同时测定纪录风量。依照上式求出该段取样风管实际泄漏量Q，本工程风管系统，试验取样风管的实际泄漏量Q比该段风管标准泄漏量Qp低时，表示合格，超过则表示不合格。风管泄漏量计算落菌测试落菌法是打开内含琼脂培养基之培养皿，暴露在一设定时间让负载微生物之粒子沉落在琼脂培养基上。陪替氏培养皿直径约90mm（培养皿内面积大约为64cm2），目前是较普遍被使用，附着粒子之微生物数量是以菌落形成单位（cfu）计算，微生物沉落速率是单位时间在所设定的区域内所沉落的数量。落菌数检测标准落菌法测试之参考标准：清净度等级落下菌（动态）cfu/4hrs时落下菌（动态）cfu/1hr时（90mm）（无菌制剂区）（90mm）（无菌制剂区）Class100,000＜100＜20Class10,000＜50＜5Class100＜5＜1正负压测试空调正负压测试程序测试基准：室内正负压测试前，受测区所有门扉须紧闭。测量方式：将微压差计之正、负取样口插于各房间外机械式压差计的取样铜接头上，量测其之读值为其房间之压差值。测试仪器：电子式微差压计。最小读数5Pa以下。于施工图确认欲测试空调系统路径与滤网风箱相关位置。正负压测试

提供冷量４个部件需要冷媒在其中循环才能完成其功能.压缩机冷凝器蒸发器膨胀阀室内的温度较高,空气流过蒸发器时冷媒蒸发带走空气中的热量,空气温度降低成为冷空气。空气被冷却时,空气中会有凝水.通过排水器排走。挡水板水水滴冷风排水蒸发器蒸发器冷凝器（室外机）冷媒向空气放热，由气态转化为液态向空气排热冷凝器风冷式冷凝器气体高温高压液体低温低圧气体低温低压压缩机（压缩）●耗电做功使低温低压冷媒气体变为高温高压气体冷凝器（冷凝）●向空气放出冷媒的热量使气态冷媒变为液态膨胀阀（膨胀）●降低冷媒压力●调整冷媒流量蒸发器（蒸发）●空气吸收冷媒的冷量使液态冷媒变为气态液体高圧高温冷媒的相变冷媒的相变冷凝膨胀蒸发压缩绝对压力

ＭＰａ高压低压冷媒焓值ＫＪ／Ｋｇ过冷冷媒的P-H图

压缩机室外机冷凝器膨胀阀(节流阀)室内机蒸发器四通换向阀发热吸热冷风制冷循环冷暖空调原理室内机膨胀阀放热四通换向阀压缩机室外机冷凝器蒸发器蒸发器冷凝器供热循环暖风吸热冷暖空调原理室内机A至下一台室内机空气热交换器空气热交换器电子膨胀阀储液器ＳＶ１压缩机气液分离器油分离器过冷却管膨胀阀室外侧空气热交换器63H263H1-1过滤器室内机B温度传感器ＴＨＯ－ＲTH1-RTH1-A四通阀毛细管制冷流程室内机A至下一台室内机空气热交换器空气热交换器电子膨胀阀毛细管、单向阀储液器SV1压缩机气液分离器油分离器过冷却管膨胀阀室外侧空气热交换器63H263H1-1过滤器室内机BTHO-ATHO-RTH1-RTH1-A四通阀制热流程一般而言,半导体设备洁净室空调分为四种废气(Exhaust)其分类及功能如下：1.

GeneralExhaust主要为排出制程设备热源及有害物质及紧急排烟之用途EX.IonImpl