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文档简介

概為保證使用者的安全和的正確使用,本章將介紹使用者應熟知的安全及注意事项。如如下事项可能会导致设备损坏、人员。所以使用护的，在对系统进行了适当处理之后，系统运行正常状态下才能再次开注意：操作设备之前必须仔细阅读以下内容。安全注意事在使用KS-C300-4D之前应熟知安全守则。为了正确使用设备应对设备用户在使用设备之前应仔细察看设备上的警告卷标，并充分了解卷标所包含操作设备之前应阅读并了解状态处理方法在设备驱动当中应注意避免驱动部分的当有化学溶液或冷却水等流出时会有漏电的，这时应按下紧急停止维修时，应先切断电源，并排除漏电的可能性，确认安全后方可进行1112．损坏，应停止加工，用小镊子或真空吸尘器对损坏的进。气动控制系统有很强的压力，有一定 应注意15．不应使用不符合标准的盒，设备运行时盒应摆放于正确的位16．手动操作时有碰撞的，在进行作业时应特别注意，以免造成设备损失和人身。注意：关于使用前需要确认的项目及详细流程，请参照“5启动与停止”中安全操作及防设备工作时，不要打开离心旋转spin模組的门板，以免飛濺物本机在切断总电源前需將正确佩戴防护用具后才可进行设备的备废物排放的监测和时时;照国家及地方有关法律、进行实施.123457顯影液通过氮氣加压液罐将顯影液输送到喷嘴处，均匀地噴灑在晶圆表面，在进行清洗中使用化学品为去離子水，设备使用时的所有的废液通过CUP及盒下面废液收集管路，流进废液管道中。正常操作時應具備的條供电电压为三相380V，频率50/60设备供电后，确保UPS的电源灯亮起，UPS可过滤市电杂波，为用户负载照明要求：厂房照度：＞50Lux振动要求：厂房内无明显振动，具体可参看计算书环境温度湿度要求：要求温度20-25℃，湿度40-50﹪RH，且在洁净间黄VAC≤-PCW:0.15-危害描述警示標根据设备的程度分为4种警告。为了确保安全，用户必须熟知警告潜在危害描设备多个模块及单元都配有电缸，在调整电缸上的部件或进行一些操做时,电缸的电力供应应断开，防止电缸的误动作，给人身造成；并放置在安全的位置上后,才能对设备进行相应的操做標識消防安本设备应安装在配有火警探测器及灭火系统的净化环境中，设备对设备造成。本设备选择材料聚丙烯等可燃物质，可能在定条件下燃烧，请参考相关化學品詳單及顯影液更換處置說顯影液换液操作流程和紧急处当机台提示顯影液打开化学品柜门，抽出顯影液 将顯影液确认顯影液桶上名称与所要添加的溶剂名称一致后，将顯影液桶桶盖打开，将盖上桶盖，将顯影液将顯影液换液时，注意不要将顯影液项顯影对的影皮肤接触：立刻脱下受污之衣物并使用肥皂与清水接触部位，若刺激感仍未消处置与搬運方法及注意事装作业安全设施条例,以下是搬运设备时的安全注意事项:施工中，参加登高作业的人员，必须有岗位作业准许证方可登高作业，操作时必须佩可靠后，才能进行设备搬

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