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本文格式为Word版，下载可任意编辑——Ansys作业硅微加速度计结构硅微加速度计结构

一、建立模型

1、创立长方体，其中长宽高分别为：200、300、80。

1VOLUMESTYPENUMAPR20202320:24:55YZX

2、移动坐标轴。

3、创立小长方体，其长宽高分别为：400、40、30。

1VOLUMESTYPENUMAPR20202321:13:03YZX4、移动坐标轴。

5、创立小长方体，其长宽高分别为：400、40、30。

1VOLUMESTYPENUMAPR21202322:24:29YZX

6、移动坐标轴。

7、创立小长方体，其长宽高分别为：400、40、30。

1VOLUMESTYPENUMAPR20202321:21:48YZX8、创立小长方体，其长宽高分别为：400、40、30。

1VOLUMESTYPENUMAPR20202321:26:06YZX9、创立长方体，其长宽高分别为：1100、100、100。

1VOLUMESTYPENUMAPR20202321:35:23YZX10、移动坐标轴。

11、创立长方体，其长宽高分别为：1100、100、100。

1VOLUMESTYPENUMAPR20202321:39:53YZX

12、移动坐标轴。

13、创立长方体，其长宽高分别为：1100、100、100。

1VOLUMESTYPENUMAPR20202321:41:38YZX14、移动坐标轴。

15、创立长方体，其长宽高分别为：1300、100、100。

1VOLUMESTYPENUMAPR20202321:44:35YZX

16、用布尔运算中的加运算将各个体生成一个体。

1VOLUMESTYPENUMAPR20202321:48:07YZX17、设定单元类型。

18、设参数：弹性模量和泊松比，设定EX=1.69e11，PRXY=0.3。

19、设定密度，DEN=2.3e3。

20、用Meshtool工具划分网格，采用自由网格划分。

1ELEMENTSAPR20202321:56:33YZX

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