压力变送器横河川仪含

压力变送器横河川仪含第1页，课件共66页，创作于2023年2月

向各位领导、专家问好！

重庆横河川仪有限公司

横河川仪『CYS』第2页，课件共66页，创作于2023年2月横河川仪（CYS）横河川仪四川区域代表：李中良联系电话：1350941797213008109916E-mail:lizhongliang@第3页，课件共66页，创作于2023年2月公司名称重庆横河川仪有限公司（CYS,CHONGQINGYOKOGAWASICHUAN）创立1995年09月27日资本金总资本1420万美元出资比例日本横河电机株式会社60%

中国重庆川仪总厂有限公司40%董事构成日本横河电机株式会社6人(其中非长驻4人)中国重庆川仪总厂有限公司5人(其中非长驻3人)从业人员400余人、其中日本长驻人员5人(总经理、副总经理2人、总工程师、副总工程师)所在地公司本部(新址)：重庆市北部新区黄山大道中段61号川仪工业园

上海分公司上海浦东新区北蔡绿科路139号北京分公司北京东城区金宝街89号金宝大厦9F广州分公司广州市环市东路362-366号好世界广场33楼

营业本部上海淮海中路1010号嘉华中心29楼业务内容EJA/EJX智能变送器、横河分析仪器、DCS系统、无纸记录仪及数据采集系统品质管理与日本同一管理、同一技术、同一品质及同一商标公司性质日本横河电机在中国的生产基地公司简介『CYS』第4页，课件共66页，创作于2023年2月EJA变送器生产基地日本【横河電機甲府工場】中国【横河川仪有限公司】美国【美国横河公司】第5页，课件共66页，创作于2023年2月製造：日本最新設備的引入横河川仪ＥJA-生产场地A線C線AMP線浄化間

机加場第6页，课件共66页，创作于2023年2月EJA变送器品質管理体系品質保証活動ＩＳＯ９００２

GB/TI9002-1(ISO9002-1)97年12月31日取得品質改善活動ＱＡ会議

生産線品質情報用戸品質情報ＮＹＰＳ生産方式

第7页，课件共66页，创作于2023年2月有机化学物质削减ISO14000環2000年12月取得！节约资源、能源，预防污染

加强废弃物管理全员参与，持续改进保护生态环境

我们只有一个地球遵守环境保护法律、法规

CYS环境方针環境保護活動电力削减节约水纸再利用排水噪音管理环保购买横河川儀有限公司◆第8页，课件共66页，创作于2023年2月1995年09月27日横河川仪创立，合资期限15年，生产、销售EJA全智能变送器2000年成立DX、AX无纸记录仪事业部2002年初久负盛名的横河分析仪引入中国，由CYS向中国用户销售公司朝着产品多元化方向发展，为用户提供更多的优质产品和更全面的服务2005年10周年庆，新的起点1、横河川仪的合资期限延长10年到2020年，用户可以放心地选用横河川仪产品2、扩大投资1000万美元，新址：重庆北部新区（2008年1月16日新工厂开工典礼）

3、川仪出让、横河购买重庆川仪总厂约8％股份，提升中国的自动化仪表制造水平2006年，CYS取得了横河DCS系统的销售权,具备了为客户提供工厂自动控制整体解决方案的能力。横河川仪[CYS]发展历程第9页，课件共66页，创作于2023年2月2007年EJA变送器在中国产销量突破17.5万台!年度订货(台)EJA变送器的市场发展第10页，课件共66页，创作于2023年2月业务内容

EJA智能变送器分析仪器网络无纸记录仪及数据采集系统DCS系统第11页，课件共66页，创作于2023年2月现场总线产品横河FF总线产品系列第12页，课件共66页，创作于2023年2月差压（压力）变送器差压(压力)变送器：一种将过程流体的压力差值（或压力值）转换成标准电信号的仪表。差压变送器：反映了高压侧压力与低压侧压力之差值的大小；压力变送器：反映了压力值的大小。实际上，压力变送器也是一种差压变送器，只是低压侧压力换成了参考压力，根据参考压力的不同，压力变送器测量类型分为：1、表压力（含负压力）GaugePressure(GP)：参考压力为当地大气压，一般就简称为压力变送器；2、绝对压力AbsolutePressure(AP)：参考压力为真空；在压力值后加”abs”或”A”表示，如：80kPaA或80kPaabs，表示绝压80kPa第13页，课件共66页，创作于2023年2月最新压力传感器技术单晶硅谐振式传感器利用微电子机械加工技术第14页，课件共66页，创作于2023年2月

传感器硅片電子顕微鏡写真第15页，课件共66页，创作于2023年2月Si谐振传感器制作工程P++P+P++N+④封注外延及退火

振動子(100)N型SiSio2(600nm①切除氧化膜及HCL煤气腐蚀②选择性外延及去除氧化膜③选择性腐蚀第16页，课件共66页，创作于2023年2月EJA变送器的原理

第17页，课件共66页，创作于2023年2月振動子励振端子検出端子ダイアフラムチップ振動子真空室シェルダイアフラムチップ振動子中心膜片（マルｴｰｼﾞﾝｸﾞ鋼）传感器ＳＵＳ３１６ＬＬ側ＢＯＤＹＳＵＳ３１６鍛造ＲＩＮＧ驱动板传感器ＡＳＳＹシリコーンオイル封入液信号ｹｰﾌﾞﾙＳＵＳ３１６Ｌ鍛造Ｈ側ＢＯＤＹ18Cr-12Ni-2.5Mo-低C密封膜片（ハステロイＣ）Ni=BAL60%Cr=15.5%Mo=16%W=3.5%Fe=5.5%etsEJA变送器受压部的构造第18页，课件共66页，创作于2023年2月Si谐振传感器结构2个Si谐振传感器Si谐振器H型Si谐振器Si片第19页，课件共66页，创作于2023年2月Si谐振传感器起振原理永久磁铁激励电路电磁力方向频率输出SiH型谐振传感器Si片磁场Si传感器第20页，课件共66页，创作于2023年2月压缩拉伸过程压力永久磁铁Si片隔离垫片Si谐振器基体Si谐振传感器压力转换第21页，课件共66页，创作于2023年2月差压下的谐振频率变化1101009080705,00010,000

差压(mmH2O)频率(kHz)传感器FrFc第22页，课件共66页，创作于2023年2月传感器复合特性R..f1f2f1

-f2 =与差压成正比f1

+f2

=与静压成正比

R

=与温度成正比第23页，课件共66页，创作于2023年2月60年代80年代力平衡式90年代电容式压阻式硅谐振式70年代新时代传感器第24页，课件共66页，创作于2023年2月１PV１PV模拟信号

＋

远程设定

自诊断功能检测功能单向＋双向多个PV、MV数字信号＋远程设定高级诊断多功能

双向通信EJA新时代变送器『智能化技术』模数1983-总线1996-模拟-1960-第25页，课件共66页，创作于2023年2月DPharp消除了A/D转换过程所造成的误差第26页，课件共66页，创作于2023年2月面向未来的...

DPharp传感器模块内存

补正系数

模块信息传感器模块CPU

量程重定

阻尼

诊断

工程单位

通迅电子模块内存

量程值

变送器组态15位D/A信号转换数字通迅本地量程&零点调整4-20mAHART/BRAIN电子模块0.004%输出精度DPharp第27页，课件共66页，创作于2023年2月A/D信号转换温度传感器传感器模块内存

补正系数

模块信息PressurePressure传感器模块CPU

传感器线性度

范围重定

阻尼

诊断

工程单位

通迅电子模块内存

量程范围

变送器配置12-bitD/A信号转换数字通迅本地量程&零点调整电子模块电容式传感器模拟传感器典型电路压阻式传感器0.024%输入精度4-20mAHART第28页，课件共66页，创作于2023年2月高精度变送器量程：0-100kPa-0.20-0.100.000.100.200255075100输入（％）误差（％）EJA±0.075%EJX±0.04%第29页，课件共66页，创作于2023年2月无温度影响设计理论谐振频率输入压力室温

fc室温fr高温fr1

高温fc1Iout(0):室温时输出Iout(T):高温时输出Iout(0)=fr-fcIout(T)=(fr-fr)-(fc-fc)=(fr-fc)-(fr-fc)=Iout(0)-(fr-fc)∵fr=fc∴Iout(T)=Iout(0)故：温度对输出没有影响第30页，课件共66页，创作于2023年2月无静压影响设计理论谐振频率输入压力大气压fc大气压fr高静压fr1

高静压fc1Iout(0):大气压时输出Iout(p):高静压时输出Iout(0)=fr-fcIout(p)=(fr-fr)-(fc-fc)=(fr-fc)-(fr-fc)=Iout(0)-(fr-fc)∵fr=fc∴Iout(p)=Iout(0)故：静压对输出没有影响第31页，课件共66页，创作于2023年2月Si谐振传感器无滞后性滞后性成为变送器开发商要解决的重要问题？传感器类型其它硅谐振滞后大无滞后传感器性能补偿补偿内容非智能全智能滞后性××静压影响△√温度影响△√非线性△√△：可以补偿［硬件补偿］√：精确补偿［软件补偿］×：不能补偿［滞后性无规律］

第32页，课件共66页，创作于2023年2月%室温满刻度时的误差年1234567891011+0.1-0.10无条件保证5年±0.1%ofURLDPharp传感器无补偿时输出第33页，课件共66页，创作于2023年2月过压影响型号:EJA110A-XM量程:1000mmH20(1/10ofMaxSpan)压力:1６0kgf/cm2型号:EJA110A-XM量程:1000mmH20(1/10ofMaxSpan)压力:1６0kgf/cm2过压长期稳定性Error(%)+0.1-0.1过压零点漂移LLLLHHHHError(%)+0.1-0.120406080100120x1000TimesEJA变送器（4）第34页，课件共66页，创作于2023年2月DPharp在任何条件下的总体高性能第35页，课件共66页，创作于2023年2月E1=参考精度E2=环境温度影响E3=静压量程影响E4=静压零点影响E5=过压影响所有的误差开平方根Yokogawa的总精度任何条件下总体性能第36页，课件共66页，创作于2023年2月Yokogawa的稳定性保证满足ISA-S51.11993及以下性能指标800次温度周期80,000次差压周期，100Kpa条件下100,000次静压周期，8.5Mpa条件下10,000过压事件，16Mpa条件下Yokogawa的稳定性保证:5年±0.1%ofURL,无条件的!5年保证0.1%第37页，课件共66页，创作于2023年2月210-1-2210-1-2误差(%)误差(%)1/1001/501/201/101/51/1

量程变化比1/1001/501/201/101/51/1

量程变化比No.1零点No.2零点No.1零点No.2零点EJA其它智能式变送器［零点/量程漂移］远程设定第38页，课件共66页，创作于2023年2月平均故障間隔MTBF２００台变送器使用１０年后只有1台出故障的概率第39页，课件共66页，创作于2023年2月传感技术比较一览表原理结构优点电容式压阻式单晶硅谐振式结构简单历史悠久滞后小复合传感器滞后小温度影响小静压影响小传感器复合特性差压静压温度缺点滞后大重复性差温度误差大（未补偿前）电极中心膜片目前未发现第40页，课件共66页，创作于2023年2月Si谐振式与电容式传感器比较谐振器基片压力真空罩y磁场固定电极可动电极固定电极DD初始间距d位移C1C2电容C1=电容C2=SD+dSD-dC1-C2C1+C2计算公式c=dD=电极位移初始间距()感应膜片位移最大值mm(100μm) 微小位移就能导致误差 1μm形变=1%误差感器组件硅油中心膜片接液膜片低压侧高压侧接液膜片冲灌液感应膜片膜盒体f

L第41页，课件共66页，创作于2023年2月硅谐振传感器与压阻式传感器的比较差压引起的信号变化压阻式传感器温度变化所引起的信号变化0.25%/50oC静压所引起的信号变化0.1%/100kgfcm24%15%硅谐振传感器0.01%4倍灵敏度高高精度量程宽环境变化影响小长期稳定性0.03%传感器第42页，课件共66页，创作于2023年2月无3阀组安装方式常规安装方式

EJA

其他无3阀组安装方式

用户为何需要3阀组？1.单向过压损坏变送器2.单向过压的零点漂移3.静压下的零点漂移4.长期零点漂移第43页，课件共66页，创作于2023年2月无3阀组安装方式［安全性］3阀组其他常规安装

EJA无3阀组安装密封点（7处）NoPossibilityofLeakagefrom3ValveManifold无3阀组无操作危险区维护/维修减少EJA变送器第44页，课件共66页，创作于2023年2月无三阀组安装方式［低成本］常规安装EJA无3阀组安装安装成本降低1)无需购买3阀组2)引压管直接安装维护/维修成本低1)无需维护3阀组2)泄漏检查点减小3阀组其他EJA变送器第45页，课件共66页，创作于2023年2月EJA变送器『全智能』概念第46页，课件共66页，创作于2023年2月现场运行总精度现场运行总精度稳定性输入/输出特性(标准状态下)温度影响(现场工作状态下)静压影响(现场工作状态下)过压影响(现场工作状态下)

第47页，课件共66页，创作于2023年2月精度环境条件空调标准环境下的精度压力变化温度变化腐蚀性气体现场环境下的精度第48页，课件共66页，创作于2023年2月DPharpEJA-高精度空调标准环境下压力变化温度变化腐蚀性气体全天候/户外型EJA变送器

IP67第49页，课件共66页，创作于2023年2月EJA-通讯协议

EJA

EJA--通讯协仪：

4～20mA--BRAIN

4～20mA--HART

FF--现场总线第50页，课件共66页，创作于2023年2月BT200通讯器

F1F2F3F4BT200ENTERYOKOGAWALCD大屏幕显示21个字符×8行打印机打印输出可控制所有BRAIN仪表的BT200单线通讯无需配电器安全性高密码设置电池更换报警自动关闭电源5节常规电池第51页，课件共66页，创作于2023年2月Brain/Hart通讯协议比较BrainHartBT200仪表装置BRAIN在新产品推出时无须对BT200手持终端内部软件进行升级协议

协议结构参数菜单数据数据选择结构类型HHT仪表装置HART在新产品推出时需要对手持终端内部软件进行升级第52页，课件共66页，创作于2023年2月EJA—外特性低铜铸铝SCS14ASUS316L(本体)接液膜片哈氏合金C-276高/底压侧可互换表头/上部第53页，课件共66页，创作于2023年2月防腐蚀优势

谐振器基片压力真空罩y磁场

接液膜片哈氏C-276充灌液:硅油中心过压膜片:316L容室法兰:316膜盒:316L第54页，课件共66页，创作于2023年2月高压侧H底压侧LEJA变送器在安装施工过程中，如果高压侧H及低压侧L引压管接反，可通过BT200手操器或DCS对其进行操作而重新定义高压侧H及低压侧L，这样，高压侧H及低压侧L反接的引压管不必重新连接。高/低压侧可互换第55页，课件共66页，创作于2023年2月18888%AtmTorrmmH20mmHg

PsimbarMPakPakgf/cm2EJA变送器的显示功能EJA变送器显示表头第56页，课件共66页，创作于2023年2月工程单位4.5位范围设置开关（零点/量程）输出改变方向指示交替(每3秒.)或固定14种可选工程单位错误代码信息本地零点/量程开关可旋转安装增强的LCD显示交替式第57页，课件共66页，创作于2023年2月

◆世界首创单晶硅谐振式传感器：具有复合特性可同时测量差压、静压、介质温度及环境温度。◆全智能变送器：变送器性能（精确度误差、温度影响、静压影响和过压影响等）由常规硬件补偿改为传感器与数字软件补偿。具有补偿更精确、长期稳定性更好等优点。◆在线通信：BRAIN、HART在线通信协议及FF现场总线供选择。◆高精度误差：±0.065%◆宽量程比：100:1即型号规格少。◆长期稳定性：±0.1%/5年，连续工作5年不用调校零点。◆MTBF：1752万小时◆温度影响很小：可忽略◆静压影响很小：可忽略◆过压影响很小：连续单向过压160Kg/11万次，零点不变。◆无须三阀组直接引压◆高压侧H和低压侧L可互换，密封等级：IP67。◆远程设定和校验零点及量程：不需加压即可通过手操器远程设定和校验零点及量程且性能保持