第三章无源器件

第三章无源器件第1页，课件共40页，创作于2023年2月一、集成电路电阻：1、电阻结构基区扩散电阻发射区扩散电阻基区沟道电阻外延层电阻外延层沟道电阻离子注入电阻多晶硅电阻N阱电阻MOS电阻第2页，课件共40页，创作于2023年2月集成电路中电阻1ALSiO2R+PP+P-SUBN+R-VCCN+-BLN-epiP+基区扩散电阻第3页，课件共40页，创作于2023年2月集成电路中电阻2SiO2RN+P+P-SUBRN+-BLN-epiP+发射区扩散电阻第4页，课件共40页，创作于2023年2月集成电路中电阻3基区沟道电阻第5页，课件共40页，创作于2023年2月集成电路中电阻4外延层沟道电阻SiO2RP+P-SUBRN-epiP+PN+第6页，课件共40页，创作于2023年2月集成电路中电阻5MOS中多晶硅电阻SiO2Si多晶硅氧化层第7页，课件共40页，创作于2023年2月集成电路中电阻6第8页，课件共40页，创作于2023年2月第9页，课件共40页，创作于2023年2月2、电阻修正电阻端头修正拐角的修正横向扩散修正薄层电阻值修正第10页，课件共40页，创作于2023年2月第11页，课件共40页，创作于2023年2月第12页，课件共40页，创作于2023年2月3、电阻版图尺寸的确定第13页，课件共40页，创作于2023年2月提高电阻的比值精度第14页，课件共40页，创作于2023年2月用标准电阻组合实现不同阻值第15页，课件共40页，创作于2023年2月电阻的寄生效应第16页，课件共40页，创作于2023年2月第17页，课件共40页，创作于2023年2月二、集成电路中的电容1、电容结构

pn结电容

MOS电容

MOS感应沟道电容

金属电容

多晶硅电容

第18页，课件共40页，创作于2023年2月集成电路中电容1SiO2A-P+P-SUBB+N+-BLN+EP+NP+-IA-B+Cjs发射区扩散层—隔离层—隐埋层扩散层PN电容第19页，课件共40页，创作于2023年2月集成电路中电容MOS电容AlSiO2ALP+P-SUBN-epiP+N+N+第20页，课件共40页，创作于2023年2月第21页，课件共40页，创作于2023年2月2、电容器的寄生效应第22页，课件共40页，创作于2023年2月第23页，课件共40页，创作于2023年2月第24页，课件共40页，创作于2023年2月三、集成电路中的连线第25页，课件共40页，创作于2023年2月1、连线的寄生电容第26页，课件共40页，创作于2023年2月第27页，课件共40页，创作于2023年2月第28页，课件共40页，创作于2023年2月第29页，课件共40页，创作于2023年2月第30页，课件共40页，创作于2023年2月2、连线的寄生电阻第31页，课件共40页，创作于2023年2月第32页，课件共40页，创作于2023年2月第33页，课件共40页，创作于2023年2月4、互连线寄生效应的影响第34页，课件共40页，创作于2023年2月第35页，课件共40页，创作于2023年2月第36页，课件共40页，创作于2023年2月第37页，课件共40页，创作于