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NXCL300mmlowoxygencontentsingI本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的1300mm低氧含量直拉硅单晶本文件规定了300mm低氧含量直拉硅单晶的技术要求、试运输、贮存、质量证明书和质量承诺等方面本文件适用于以电子级多晶硅为主要原材料,采用直拉法制备的直径为300mm的低氧含量硅单YS/T769非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法4技术要求),),),),),2导电类型N磷电阻率,Q-cm电阻率径向变化,%4.4.1硅单晶的晶向为<100>。36.1检验检验项目导电类型电阻率5根~9根晶锭抽取2个试样,5电阻率径向变化晶向5根~9根晶锭抽取2个试样,5晶体完整性49.3出货后3年内
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