研发实验室扩建项目报告表

建设项目环境影响报告表(污染影响类)(附专项分析)建设单位(盖章):江苏微导纳米科技股份有限公司编制日期：中华人民共和国生态环境部制1建设项目名称研发实验室扩建项目项目代码建设单位联系人建设地点江苏省(自治区)无锡市新吴区县(区)长江南路27号国民经济行业类别[M7320]工程和技术研究和试验发展建设项目行业类别四十五、研究和试验发展98专业实建设性质口新建(迁口改建口技术改造建设项目申报情形☑首次申报项目口不予批准后再次申报项目口超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门(选填)无锡高新区(新吴区)数据局项目审批(核准/备案)文号(选填)锡新行审投备〔2024〕696号总投资(万元)环保投资(万元)环保投资占比施工工期6个月是否开工建设用地(用海)面积(m²)56176.16(依托现有)情况专项评价的类别设置原则大气外500米范围内有环境空气保护目标的建设项目建设项目废气涉及有毒有害污染物氯气，且厂界500m范围内有环境空气保护目标地表水外送污水处理厂的除外);新增废水直排的污水集中处理厂直排超过临界量的建设项目建设项目危险物质未超过临界量2生态建设项目建设项目不涉及河道取水海洋建设项目不向海排放污染物由上表分析可知，建设项目需开展大气专项评价，无需开展地表水、规划情况审批意见或批复：《无锡市政府关于无锡新区总体发展规划(2005-2020)的批复》规划环境影响况2035年)环境影响报告书的审查意见》苏环审〔2024〕9号规划及规划环境影响合性分析1、《无锡新区总体发展规划(2005-2020)》简介(1)规划范围、规划分区丰路；东至伯渎港、梅育路；南至鸿山路、新十西路、锦鸿路、鸿八路；规划面积55km²。高新区分为A、B、C三区。其中，A区规划范围西至京杭运河、沪宁铁路，北至旺庄路、春丰路，东至沪宁高速公路，南至312国道33km²。B区规划范围西至沪宁高速公路，东至伯渎港、梅育路，南至锡东大道，面积12.5km²。C区规划范围西至锡东大道、沪宁高速公路，北至伯渎港，东至鸿山路、新十西路、南至锦鸿路、鸿八路，面积9.5km²。扩建项目位于无锡市新吴区长江南路27号，属于高新A区。(2)功能布局及用地规划总体布局为"一心、四轴、两片、十区"。3“一心”:位于旺庄路以南，以行政中心为核心，与周边商业服务设施、文化设施等形成城市公建中心，是无锡新区的行政中心、金融、商业服务中心；“四轴”:江海路、新锡路、沪宁高速公路、锡东路；“两片”:两个居住片区一新洲生态园社区、城铁车站社区；“十区”:高新区A区四片工业区、创意产业园，高新区B区两片工业区、创意研发园，高新区C区两片工业区。根据企业提供的租赁方对于该地块的不动产权证(苏(2023)无锡市第0223597号)和建设用地规划许可证(地字第320214202100034号),扩建项目所在地块用途为工业用地，根据无锡市划设计要点，扩建项目所在地块规划用地性质为工业用地(详见附件五),根据《无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(20影响报告书》规划的无锡国家高新技术产业开发区2025年土地利用规划图，扩建项目所在地用地性质为工矿用地。因此扩建项目用地符合规划要求。(3)高新区产业定位①高新技术产业及先进制造业：突出培育三大兴产业集群和八大高新技术产品群，其中三大新兴产业集群为：以光通讯产品为主的光电产业集群，以太阳能产品、节能群和以软件动漫为主的创意产业集群；②研发、创意产业：重点发展IC设计、软件、通讯技术、光电子、动漫游数码影视、生物工程新材料、环境科学等高新技术产业进行孵化，建成国际化的创新孵化基地，培育一批具有自主知识产权的高新技术企业。③现代服务业：大力发展大型商贸服务，现代物流业，社区服务业。扩建项目属于[M7320]工程和技术研究和试验发展，不属于高新区产业发展负面清单内项目，符合无锡高新技术产业开发区的产业定位。①供水规划4高新区现状给水水源由贡湖水厂、锡东水厂供给。高新区A区主要供水水源为贡湖水厂，锡东水厂作为备用水源保证供水的可靠性。高新区B区用水主要由锡东水厂供给；高新区C区主要供水水源为贡湖水厂及锡东水厂联合供水。贡湖水厂取水头部设计规模为100万m³/d、净水厂设计规模为50万m³/d,现已完成50万m³/d取水头部工程以及相配套的浑水管输水管工程，25万m³/d净水厂工程；贡湖水厂主干管沿高浪路敷设DN2200至312国道，沿312国道敷设DN1800、DN1400主干管，DN1400主干管沿新锡路、高田东路敷设至锡山片区。另在现状道路下敷设有DN500、DN300给水干管。目前地块周围供水管道已经铺设完毕，满足供水要求。②供电新区电网现有220KV变电所两座：江240MVA;高浪变电所，主变容量360MVA;有110KV变电所9座(包括三座用户变),主变容量436MVA,区内另有1容量42000KW,以及友联热电厂，装机容量4200鸿山变电所正在建设中，建成后将成为无锡市区东南部电网的主要电源点和支撑点。新区供电采用双回路供电，可根据用户需要分别提供110KV、35KV、10KV、0.4KV不同等级的电压。目前地块周围电缆管道已经铺设③供热④供气规划：规划范围内由西气东输——分输站经新区门站至高浪路等燃气主管网供给各用气点，以管道天然气为主。5天然气利用的主导地位。同时新区内可提供H₂、O₂、N2等多种气体，并根据用户需要提供工业用液化气。扩建项目不使用天然气。⑤污水集中处理规划高新区采取雨污分流制，污水分片区集中收集处理排放。A区污水接管新城水处理厂，尾水经周泾浜排入京杭运河；B、C区污水接管梅村水处理厂，尾水排入梅花港。扩建项目位于高新区A区，属于新城水处理厂扩建项目位于无锡市新吴区长江南路27号术研究和试验发展，属于高新区主导产业中智能装备大类：聚焦“两机”(航空发动机和燃气轮机)、重大成套装备、智能测控装备等重点领重大成套装备领域，积极发展以数字化、柔性化及系统集成技术为核心的智能制造装备，重点支持光伏、锂电池、氢燃料电池、集成电路、自动化生产线等智能装备发展，进一步鼓励企业加强具备世界领先技术的首台(套)重大装备的开发应用。与无锡国家高新技术产业开发区产业相符，因此符合区域的产业发展引导。扩建项目与《无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(2022-2035年)环境影响报告书》及《省生态环境厅关于无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(2022~2035年)环境影响报告书的审查意见》(苏环审6《规划》应深入贯彻落实习近平生态文明思想，完整、准确、全面贯彻新发展理发展，以生态保护和环境质量持续改善为目标，做好与国土空间总体规划和生态环《规划》布局、产业结构和发展规模，降平保护与经济高质量发展。扩建项目属于[M7320]发展，与无锡国家高新(二)严格空间管控，优化空间布局。高新区内实《报告书》提出的现有环境问题整改措区域邻近居民区企业退出进程，诺翔新材料、复恩特生物、益明光电等7家企业于2025年底前关闭退出，减缓区内工居混杂中的污染防治、生态修复。严格落实企业卫生防护距离要求，企业卫生防护距离内不得规划布局敏感目标。加强工业区与居带建设，确保高新区产业布局与生态环境相符。全厂以1#厂房防护距离，该范围内无敏感目标。根据实地调界115m,拟加强绿化空间隔离带的建设，确(三)限量管理。落实国家和江苏省关于大气、核心的污染物总量控制管理体系实施主要污染物排放浓度和总量“双管控”。2025年，高新区环境空气细颗粒物(PM₂5)年均浓度应达到25微克/立方米；纳污水体周京杭运河(江南运河)稳定达到Ⅲ类水质标准。染防治措施，加强废水与废气收集与处理。本次评价依据相关规范及控制指标排污。(四)落实生态环境准入清单(附件2),落实《报告书》提出的生态环境准入要求，严格限制与主导产业不相关且排污负荷大的项目入区，执行最严格的废水、废气排放控制要求。强化企业特征污染物排放控制、高项目采用高利用率原辅料，采用高生产效率的的污染防治措施，加强废水与废气收集与处理。单位产品水耗、能7点行业依法实施强制性审核，引导其他行构、能源结构、交通运输等规划内容，实现减污降碳协同增效目标。业国际先进水平。(五)行效能。加强对区内污水、雨水管网敷设情况的排查，完善区域雨污水管网建设。理厂提标改造工程建设，确保工业废水与生活污水分类收集、分质处理。开展区内入河排污口排查及规范化整治，建立名危险废物应依法依规收集处理处置，做到"就地分类收集、就近转移处置"。针对区内科创平台、研发基地等小微企业继续推化水平。收集、分质处理。为提高水资源利用率，生产弃水一起接管新城水处理厂。扩建项目一般工位处置。(六)建立健全环境监测监控体系。开展包括环境空气、地表水、地下水、土壤、底泥等环境要素的长期跟踪监测与管理。结合区规模和时序进度，优化生态环境保护措关闭、搬迁遗留的污染地块应依法开展土系。探索开展新污染物环境本底调查监业规范安装在线监测设备并联网，推进区内排污许可重点管理单位自动监测全覆物污染物排放及水环境质量的监测监控，区内重点涉氟企业雨水、污水排放口应安装氟化物自动监控系统并联网。项目建成后将制定环境(七)扩建项目将按照要求编案并备案，建立健全环8和应急预案制度，定期开展环境应急演急实战水平。建立突发环境事件隐患排查环境安全。重点关注并督促指导涉重金属急演练，完善环境应急响应联动机制，提升应(八)高新区应设立专门的环保管理机构并配备足够的专职环境管理人员，统一对高新区能力建设。综上所述，扩建项目选址于无锡国家高新技术产业开发区，扩建项目为工程和技术研究和试验发展，项目符合国家、地方的产业政策，符合无锡高新技术产业开发区的产业定位，符合区域环境管理要求，与无锡国家高新技术产业开发区的规划环评审核意见相9符合性分析扩建项目行业类别为[M7320]工程和技术研究结构调整指导目录(2024年本)以及《无锡市制造业转型发展指导目(2012年本)中的鼓励类、限制类和淘汰类项目，不属于《无锡市产业结构调整指导目录(试行)》(锡政办发〔2008〕6号)中的鼓励类、禁止类和淘汰类项目，符合《外商投资准入特别管理措施(负面清单)(2021年版)》要求。扩建项目为研发实验室项目，根据《环境保护综合名录(2021年版)》,不属于“高污染、高环境风险”产品名录中的行业和产品。扩建项目已取得了新吴区行政审批局的备案(备案证号：锡新行审投备(2024)696号)。因此，扩建项目符合国家和地方的产业政策。扩建项目位于江苏省无锡市新吴区长江南路27号，对照《江苏省国家级生态保护红线规划》(苏政发〔2018)74号〕、《江苏省2023年度生态环境分区管控动态更新成果公告》,距离扩建项目护红线贡湖锡东饮用水水源保护区约4.9km,距离扩建项目最近的江苏省生态空间管控区太湖(无锡市区)重要湿地约4.4km。扩建项目不在国家级生态红线、省级生态空间管控区范围内，符合国家级生态红线、省级生态空间管控区保护规划要求。扩建项目与最近生态保护红线及生态空间管控区域位置关系见下生态空间保护区域名称主导生态功能范围红线范围积空间太湖(无锡市湿地生//重要态系统保护锡东饮用护区水源水质保护一级保护区：以半径500米以内的区域。二级保护区：一级保护区外，外延2500米范围的水域和东至望虞河、西至许仙港、沿湖高速公路以南的陆域///根据《2023年度无锡市环境状况公报》:空气环境2中PM2.5、PM10、二氧化硫、二氧化氮、一氧化碳、臭氧浓度按照《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准进行年度评价，无锡市臭氧浓度未达标，其余指标均已达标，因此判定为不达标区。根据《无锡市大气环境质量限期达标规划(2018-2025年)》,通过推进能源结构调整，优化产业结构和布局，加快推进挥发性有机物综合整治，深化火电行业超低果，推进热点整合，提高扬尘管理水平，促进PM₂.5和臭氧协同控制，推进区域联防联控等措施，大气环境质量状况可以得到进一步改善；纳污水体江南运河pH、溶解氧、化学需氧量、氨氮、总磷的浓度均能满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中四类标准的要求。噪声现状能达到《声环境质量标准》(GB3096-2008)中的3类声环境功能区要求。扩建项目建设后运营期产生的各项污染物通过相应的治理措施处理后均可达标排放，扩建项目环境风险可控制在安全(3)资源利用上线相符性：水平较低，项目资源消耗量相对区域资源利(4)与环境准入负面清单相符性①与《无锡国家高新技术产业开发区开发建设规划(2022-2035年)表1-6扩建项目与无锡国家高新技术产业开发产业准入要求1、禁止引入与《产业结构调整指导目录南》(试行，2022年版)及江苏省实施细则、扩建项目为[M7320]工程和技术研究和试验发展，不属于《产业结构调整指导目录(2024年本)》、《长江经济带发展负面清单指南》(试行，2022年版)国家、地方法律法规、产2、禁止新建、扩建化工生产项目(化工重点建设的工业气体生产项目除外)。扩建项目为[M7320]工程和技术研究和试验发展，与高新区发展定位相符。不生产项目。原料替代的项目需提供不可替代的论证说扩建项目不使用高VOCs4、禁止引入单纯电镀加工项目。项目。原则上不得增加(集成电路、电子信息等科技扩建项目不涉及铅、汞、12和排放浓度)。6、严格涉氟废水排放项目准入。无硫酸雾排放。对项目产喷淋洗涤吸收塔处理(处理效率达到90%),氯化高，氯化氢排放量较低。产业开发区开发建设规划(2022—2035年)环境影响报告书》及其审查意见(苏环审〔2024〕9号),高新区氯化氢、硫酸雾小时浓度年际间总体呈下降趋势，大气环境质量得到扩建项目不属于建材、钢铁等“两高”项目空间布局约束1、严格落实《江苏省禁止用地项目目录(2013年本)》、《江苏省限制用地项目目录(2013年本)》等文件中有关条件、标准或要求。制用地项目目录(2013年目目录(2013年本)》中，符合该文件的要求。2、高新区内建设项目需严格落实卫生、环境防护距离要求，该范围内不得规划布设居住米的卫生防护距离，该范围内无居住区、学校、医院等敏感目标。3、规划居住用地周边优先引入无污染或轻污合具体项目确定并落实防护距离的设置。点宝龙世家C区距离扩建项目厂界115m,加强绿化隔离带的建设。污染物排放管控1、环境质量：2025年，PM2.5、臭氧、二氧化氮年均值分别达到25、160、28微克/立方类。2、对于国家排放标准中已规定大气污染物特放限值。3、严格新建项目总量前置审批，新建项目按求。4、总量控制：大气污染物：近期：废气污染物：颗粒物359.477吨/年、二氧化硫235.651物1140.426吨/年；远期：颗粒物359.425吨/1009.96吨/年、VOCs1134.287吨/年。水污染物：近期：排水量5276.086万吨/年、COD1173.130吨/年、氨氮69.428吨/年、总氮量5172.061万吨/年、COD1087.307吨/年、氨氮55.919吨/年、总氮270.2978.182吨/年。本次评价依据相关规范及制指标排污；环境风险防控1、完善园区环境风险防范预警系统，建立风的监测和预警装置，实现快速应急响应。2、建立突发水污染事件应急防范体系，完善3、生产、使用、储存危险化学品或其他存在措施，并按要求编制环境风险应急预案。扩建项目将按照要求编制突发环境事件应急预案并评估和应急预案制度，定期开展环境应急演练，完制，提升应急实战水平。资源开发利用要求1、园区单位工业增加值新鲜水耗≤6立方米/元。包括：1、除单台出力大于等于20蒸吨/小时锅炉以外燃用的煤炭及其制品。2、石油焦、油页岩、原油、重油、渣油、煤焦油。(现有燃煤热电联产项目除外)。4、引进项目的生产工艺、设备，以及单位产1、扩建项目采用高利用率原辅料，采用高生产效率的工艺及设备，单位工业划环评及审查意见要求。3、生产工艺、设备、能耗、污染物排放、资源利先进水平。由上表可见，扩建项目不属于园区环境准入负面清单。同时，根据《外商投资准入特别管理措施》(负面清单)(2021年版),“科学研究和技术服务业”具体负面清单如下：科学和技术服断与治疗技术开发和应用导体器件专用设备技术研发，为企业半导体器件专用设备制构。禁止投资大地测量、海洋测绘、测绘航空摄影、地面移动形图、世界政区地图、全国政区地图、省级及以下政区地填图、矿产地质、地球物理、查(矿业权人在其矿业权范围内②与《江苏省“三线一单”生态环境分区管控方案》(苏政发〔2020〕49号)相符性对照《江苏省“三线一单”生态环境分区管控方案》(苏政号)文件中"(五)落实生态环境管控要求，严格落实生态环境法律法规标准，国家、省和重点区域(流域)环境管理政策，准确把握区域发展战略和生态功能定位，建立完善并落实省域、重点区域(流域)、市域及各类环境管控单元的"1+4+13+N"生态环境分区管控体系，包括全省“1"个总体管控要长江流域、太湖流域、淮河流域、沿海地区等“4”要求，"13"个设区市管控要求，以及全省“N”个(4的生态环境准入清单。”扩建项目位于江苏省位于无锡市新吴区长江南路27号，属于长江流域及沿海地区，为重点区域(流域)。对照江苏省重点区域(流域)生态环境分区管控要求，具体见表1-8。扩建项目空间布局约束(1)始终把长江生态修复放在首位，坚持共抓大保护、不搞大开发，引导长江流域产业转型展、高质量发展。吴区长江南路27号二、太湖流域空间布局约束(1)在太湖流域一、二、三级保护区，禁止新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目，城镇污水集中处理等环境一级保护区，禁止新建、扩建向水体排放污染物的建设项目，禁止新建、扩建畜禽养殖场，项目以及设置水上餐饮经营设施。在太湖流域二级保护区，禁止新建、扩建化工、医药生产项目，禁止新建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污口。一级保护区内，不涉及控类别范围内。防控湖。禁止向太湖流域水体排放或者倾倒油类、液、含病原体污水、工业废渣以及其他废弃扩建项目原辅料均采用汽运，无水运，运营期弃物，妥善处理处置产资源效率(1)太湖流域加强水资源配置与调度，优先满运等需要。(2)2020年底前，太湖流域所有省级以上开发区开展园区循环化改造。经济理念，消耗少量的水资源，不会对区域的水资源配置及调度需要综上，扩建项目的建设符合《江苏省“三线案》(苏政发〔2020〕49号)的要求。③与《无锡市“三线一单”生态环境分区管控实施方案》(锡环委办〔2020〕扩建项目位于无锡市新吴区长江南路27号，属据《无锡市“三线一单”生态环境分区管控实施方案》(锡环委办〔2020)40号),无锡国家高新技术产业开发区(包含无锡高新区综合保税区)属于无锡市重点管控单元，具体见表1-9,扩建项目与锡环委办〔2020〕40号相符。空间性管元属类型无锡国家高新区 (包新区综合园区空间布局约束(5)禁止新增化工项目。(6)限制高毒农药项目。(1)扩建项目位于高新A区，涉及盐酸雾废收集措施(全密闭收集)进行有效收集；收集后经碱液喷淋洗涤吸收塔处理(处理效率达到90%),氯化氢的收化氢排放量较低。根据业开发区开发建设规划(2022—2035年)环境影响报告书》及其审查意见(苏环审〔2024)9号),高新区氯化氢、硫酸雾小时浓度年际间总体呈下降趋势，大气(2)扩建项目不属于化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含氮、磷等污染物的企业和项(3)不属于“两高一资"、纯电镀加工、农药、化工等项目，不属于不符合所在工业园区产业定位或污染严重的项目，不排放汞、铬、总量，扩建项目污染物控(1)严格实施污染物总量控制制度，根据(2)园区污染物排放总量不得突破环评报告及防控(1)建立健全高新区环境风险管控体系，加强资源效率(1)用水总量不高于5144万吨/年。工业用水量不高于3322万吨/年。(2)土地资源总量不高于55.0平方公里。建设不高于26.57平方公里。(3)单位工业增加值综合能耗0.376吨标煤/万元。(4)禁止销售使用燃料为"Ⅱ类"(较严),具炉以外燃用的煤炭及其制品。2、石油焦、油页扩建项目不涉及"Ⅱ类"燃料的销售使用，704.1046t/a,工业增加吨标煤/万元。扩建项目不设置锅炉，不使用石油焦、油页岩、原油、因此符合江苏省省域生态环境管控要求。综上所述，建设项目符合环境准入负面清单，并能够满足生态保护红年版)江苏省实施细则的通知》(苏长江办发〔2022〕55号)相符性分析河段利用与岸线开发苏省沿江沿海港口布局规划(2015-2030年)》、以及我省有关港口总体规划的码头项目，禁止建设未纳入《长江干线过江通道布局规划》的头项目，也不属于过长江通道项目。和河段范围内投资建设旅游和生产经营项目。区核心景区的岸线和河段范围内投资建设与风景名胜资源保护无关的项目。自然保护区、风景名胜区由省林业局会同有关方面界定并落实管控责任。3.严格执行《中华人民共和国水污染防治法》、《江苏省人民代表大会常务委员会关于加强饮用水源地保护的决定》、《江苏省水污染防治条例》,禁止在饮用水水源一级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建与供水设施和殖、旅游等可能污染饮用水水体的投资建设项目；禁止在饮用水水源二级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建排放污染物的投资建设项目；禁止在饮用水水源准保护区的岸线和河段范围内新建、扩建对水体污染严重的投资建设项目，改建项目应当消减排污量。饮用水水源一级保护区、二级保护区、准保护区由省生态环境厅会同水利等有关方面界定并落实管控责任。。扩建项目不在饮用水水源一级、二级、准保护区的岸线和河段范围。办法》,禁止在国家级和省级水产种质资源保护区的岸线和河段范围内新建围湖造田、围海造例》,禁止在国家湿地公园的岸线和河段范围内挖沙、采矿，以及任何不符合主体功能定位的关方面界定并落实管控责任。扩建项目未在水产种质资源保护区的岸线和河段范围内未有围湖造田、围不在国家湿地公园的岸线和河段范围禁止在《长江岸线保护和开发利用总体规划》公共安全及公众利益的防洪护岸、河道治理、础设施以外的项目。长江干支流基础设施项目应按照《长江岸线保护和开发利用总体规划》展项目前期论证并办理相关手续。禁止在《全国重要江河湖泊水功能区划》划定的河段及湖泊保护区、保留区内投资建设不利于水资源及自然生态保护的项目。利用总体规划》划定的岸线保护区内，也不在岸线保留区；项目不在泊水功能区划》划定的河段保护区、保留区内。6.禁止未经许可在长江干支流及湖泊新设、扩建项目依托租赁限公司建设的雨污水管网及排口。不新增、扩大排污区域活动7.禁止长江干流、长江口、34个列入《率先全面禁捕的长江流域水生生物保护区名录》的水生生物保护区以及省规定的其它禁渔水域开展生产性捕捞。8.禁止在距离长江千支流岸线一公里范围内一公里按照长江干支流岸线边界(即水利部门河道管理范围边界)向陆域纵深一公里执行。干支流1公里范围内，不属于化工园区和化工项目。9.禁止在长江干流岸线三公里范围内新建、外。围内，不属于尾矿石膏库项目资建设活动。扩建项目不属于染防治条例》禁止的投资建设活动。11.禁止在沿江地区新建、扩建未纳入国家和省布局规划的燃煤发电项目。12.禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石污染项目。合规园区名录按照《<长江经济带发展负面清单指南(试行，2022年版)>江苏省实施细则合规园区名录》执行。扩建项目不属于钢铁、石化、化工、污染项目。13.禁止在取消化工定位的园区(集中区)14.禁止在化工企业周边建设不符合安全距离规定的劳动密集型的非化工项目和其他人员密集的公共设施项目。产业发展15.禁止新建、扩建不符合国家和省产业政碱等行业新增产能项目。16.禁止新建、改建、扩建高毒、高残留以及对环境影响大的农药原药(化学合成类)项目，禁止新建、扩建不符合国家和省产业政策的农药、医药和染料中间体化工项目。17.禁止新建、扩建不符合国家石化、现代焦化项目。18.禁止新建、扩建国家《产业结构调整指导目录》、《江苏省产业结构调整限制、淘汰和禁止目录》明确的限制类、淘汰类、禁止类项目，法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目，以及明令淘汰的安全生产落后工艺及装备项目。扩建项目属于《产业结构调整指导目不属于《江苏省产业结构调整限制、限制类、淘汰类、19.禁止新建、扩建不符合国家产能置换要重过剩产能行业的项目，不属于高耗能高法规及相关政策文综上所述，扩建项目的建设符合"三线一单"的要求。表1-4扩建项目与相关环保政策相符性分析内容1第34号第十四条实行化学需氧量、氨氮、可管理的企业事业单位和其他生产经营污染物的企业事业单位和其他生产经营第二十二条任何单位和个人不得利处理，达到规定标准后方可排入污水管第三十一条县级市、区人民政府和相关部门应当加强污泥安全处置设施建各类污水处理设施产生的污泥应当生机构污水处理过程中产生的污泥应当学需氧量、氨氮、总磷、总氮等重点水污染物排放总量控制制度，扩建项目生活污水排放的第十八条扩建项目暂未纳按要求建设中水回用设施。冷却水排水、纯水制备弃水一起接管扩建项目将按照规定在厂界内第二十二条本厂区实行雨污分流，无其他污水进入雨水管网。不利用雨水排放口等雨水设第二十四条扩建项目生产达标后回用于废气处理喷淋用作为危废，委托资质单位进行安国家有关标准，不随意堆放和弃2(苏政发(2021)20号)行负面清单管理，禁止以下建设项目准(一)非建成区内，大规模新建扩建(二)新建扩建高风险、高污染、高(三)对大运河沿线生态环境可能产生较大影响或景观破坏的；(四)不符合国家和省关于生态保护相关规定的(五)不符合《产业结构调整指导目利用相关要求的；(六)法律法规禁止或限制的其他情[M7320]工程和技术研究和试验发展，不属于房地产、大型及特大型主题公园等开发项目；(二)扩建项目不属于高风险、高污染、高耗水产业和不利于生态环境保护的工矿企业，不属于码头工程；(三)扩建项目位于无锡市运河1.6km,不在滨河生态空间范围内。扩建项目属于[M7320]工程和技术研究和试验发展，废气排放量较少，对周边环境影响很小。扩建项目生产废水经厂区内污水处理站处理达标后回用设中水回用设施。冷却水排水、处理厂，不会对大运河沿线生态环境产生较大影响或景观破坏。(四)根据企业提供的建设320214202100034号),扩建项目所在地块用途为工业用地，根据无锡市数据局出具的建设项目块规划用地性质为工业用地，项目用地未占用永久基本农田。项目不在生态红线范围内。(五)根据前文分析，项目要求。3(2021年9月29日议通过)第二十三条禁止工业企业、宾馆、应当根据国土空间规划和本行政区域的资源环境承载能力与水环境质量改善目物的工业项目原则上进入符合相关规划及含磷洗涤用品的使用。第二十五条项目位于无锡市新吴区长江南路27号，属于高污分流，扩建项目生产废水经厂区内污水处理站处理达标后回水、纯水制备弃水一起接管新城定范围内新建、扩建化工园区和化工项目，具体范围按照国家和省有关规定执[M7320]工程和技术研究和试验发展，不属于化工行业，不涉及电镀工艺，厂区实行雨污分流，并将按照有关规定标识雨水管、放口或者接管口设置标识牌。第三十条扩建项目属于[M7320]工程和技术研究和试验发展，不属于化工行业。4例》(中院令第2011年11施行)物，不得超过经核定的水污染物排放总暗管或者采取其他规避监管的方式排放禁止在太湖流域设置不符合国家产第二十九条新孟河、望虞河以外的(一)新建、扩建化工、医药生产项(二)新建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污口；区长江南路27号，因此，扩建项目位于太湖流域一级保护区内。扩建项目距离太湖4.9km,距离淀山湖63.7km,距离太浦河54.7km,距离新孟河70.5km,距和技术研究和试验发展，不属于为。项目固废委外处置或由环卫《太湖流域管理条例》的要求。(二)设置水上餐饮经营设施；(三)新建、扩建高尔夫球场；(四)新建、扩建畜禽养殖场；(五)新建、扩建向水体排放污染物的建设项目；(六)本条例第二十九条规定的行5例》(江9月29日通过)第四十三条太湖流域一、二、三级其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目和第四十六条规定的情形除外；(三)向水体排放或者倾倒油类、酸废弃物；(四)在水体清洗装贮过油类或者(五)使用农药等有毒物毒杀水生(六)向水体直接排放人畜粪便、倾倒垃圾；(七)围湖造地；(八)违法开山采石，或者进行破坏林木、植被、水生生物的活动；扩建项目位于太湖流域一[M7320]工程和技术研究和试验发展，不属于《江苏省太湖水污染防治条例》中规定太湖流域水处理站处理达标后回用于废气处理喷淋用水，按要求建设中水回用设施。冷却水排水、纯水6防治条会议于第三十一条……高污染燃料禁燃区新建每小时十蒸吨及以下的燃煤锅和技术研究和试验发展，均使用电能，不使用煤炭高污染燃料；于高污染工业项目；,扩建项目国家和省规定的排放标准或者其他相关运输、装卸、贮存可能散发有毒有害第三十九条产生挥发性有机物废气省生态环境行政主管部门应当向社苏省大气污染防治条例》中相关要求。7知》(锡15号)部门定期清运。项目建成后将严格执行环防治设施。8气办2号)扩建项目不使用涂料、油墨、清洗剂。9环办142号)准入条件。需求，落实应急预案的体系建项目不属于煤电、石化、化工、处理站处理达标后回用于废气处理喷淋用水，按要求建设中水回用设施。冷却水排水、纯水制备弃水一起接管新城水处理厂。扩建项目一般固废收集后外售，处置。气重点项目，不新建天然气锅炉、工业炉窑。本项目距西侧的京杭大运河约1500m,根据苏政发[2规[2023]7号文规定：大运河核心监控区是指大运河米的范围。核心监控区(除大运河无锡段主河道外)空间与核心监控区其他区域三类管控区域。建成区是指核心监控区内，城镇开发边界以内的区域和城镇开发边界以外的村庄建设区。滨河生态空间是指核心监控区内，原则上除建成区(城市、建制镇)外，大运河无锡段主河道两岸各1千米的范围。核心监控区其他区域是指核河生态空间以外的区域。本项目与苏政发[2021]20号文和锡政规[2023]7号文相符性分析如下。印发大运河江区国土空间管控暂行办法的通知》(苏政第十条：严格准入管理。核心监控区内，实行国发活动。划为“工业用[M7320]工程和国家和地方的与规划及规划审查意见相符。目。城市建成区老城改造应加强建筑高度管控，开展建筑高度影响分析，按照高层禁建区管理，落实限高、限密度的具体要求，限制各类用地调核心监控区国则(试行)的(负)面清单管理制度，控制开发规模和强严禁不符合主体功能定位的各类开发活动。符合产业政策、规划和管制要求的建设项目。(一)老城传统风貌区指世界文化遗产中国大运区段世界文化遗产区，清名桥沿河历史文化街区、惠山古镇历史文化街区及小娄巷历史文化街区的核心保护范围，蓉湖浜、西水关等历史风貌区的保护范围等。老城传统风貌区改造应加强建型的商业、商务办公、住宅商品房、仓储物流设施等项目用地。确需调整的，应征求文物保护、生态环境、住房城乡建设等相关主管部门意(二)大运河遗产保护区，包含世界文化遗产中国大运河遗产区、缓冲区以及全国重点文物保护单位大运河保护范围等，应按照《中华人民共和国文物保护法》《大运河遗产保护管理办法》等相关法律法规及相关规划进行管理。二、建设项目工程分析建设内容江苏微导纳米科技股份有限公司成立于2015年12月25日，原名为江苏微导纳米装备科技有限公司，于2019年12月变更而来，现注册地址为无锡市新吴区漓江路11号，注册资本4746.3158万元，主要从事电子产品、半导体、新能源材料、纳米技术镀膜专用设备、专用纳米材料的研发、设计、生产、技术咨询、技术服务。企业成立至今共申报了十期项目，其中第一期项目位于无锡市行创四路7号，因场地面积较小限制了企业发展，搬迁至新硕路9号继续申报了二、三、四、五期项目。为满足企业未来中长期发展的战略规划，企业将新硕路9号厂区的生产以及研发项目全部搬迁至新吴区长江南路27号进行申报第六、七、九期项目，第六、七期、九期项目已分别于2024年5月27日、2024年6月11日、2024年7月1日通过无锡市数据局的审批。企业为满足市场需求于长江南路27号扩建第八期、第十期项目，第八期项目“先进高介电常数氧化层原子层堆栈设备研发及产业化项目”已于2024年6月14日通过无锡市数据局的审批；第十期项目“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”,已于2024年8扩建项目利用已租用的厂区部分空置的厂房及附属设施，拟投资43000万元，购置晶圆称重仪、光学膜厚仪等设备进行半导体器件专用设备技术研研究开发原子层沉积技术，扩建项目形成研发规模为年测试10万片硅片、测试3万片晶圆片的研发能力，扩建后形成全厂生产及研发能力为年测试20万片硅片、年测试6万片晶圆片、年产40套基于原子层沉积技术的半导体配套设备、年产40套先进高介电常数氧化层原子层堆栈设备、年产220台基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备、年产50套半导体薄膜沉积设备。“四十五、研究和试验发展”中“98专业实验室、研发(试验)基地”中的"其他",故环境影响评价文件确定为环境影响报告表。由于扩建项目建设项目生产过程中有氯气产生，且周边500m内有敏感点。根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南》(污染影响类)(试行)表1扩建项目气含有毒有害污染物、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标²的建设项目”应当编制大气环境影响专项评价。项目所涉及的消防、安全、电磁辐射及卫生等问题不属于本评价范围，请扩建项目为[M7320]工程和技术研究和试验发展，用设备技术研发，研究开发原子层沉积技术，为企的配套研发中心，不进行生产制造，研发规模为年测试10万片硅片、测试3万厂区生产能力127号研究开发原子层测试10万片硅片/年、测试3万片晶圆片/年测试20万年、测试6万片晶圆片测试10万片硅片/年、测试3万片晶圆片/年2基于原子层沉积套设备40套/年03先进高介电常数40套/年04基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备220台/年220台/年05半导体薄膜沉积设备50套/年0扩建项目主要设备见表2-2。产品型号研究退火炉马弗炉/12万级间12原子术/12原子层沉积设备24原子层沉积设备24原子层沉积设备12镀膜机ZQ-500(粉末镀膜机)12板P12板式HJT1212/12/1212/12百级间1212原子层沉积设备210单管ALD设12原子层沉积设备PhoenixxT-HiK(四1212测量厚度自动椭偏仪1212电子显微镜电子显微镜(缺陷RevieSEM)12检测晶圆物324测量厚度/12四探针测试仪/12测试应力/12率红外光谱仪/12/12检测红外检测仪12率水蒸气透过率测/12测量间双电测四探针测/12电子显微镜半导体/FPD/工业/12厚度/12/12/12自动四探针测试仪/12/12片缺陷/12/12测厚度/12电化学腐蚀仪/12/12紫外可见光分光/12晶圆称重仪/01/01/01聚焦离子束显微/01红外测温枪/01设备维护/01110基于原子术的半导备原子层沉积设备550艺调试设备原子层沉积设备220原子层沉积设备220原子层沉积设备220自动化传输平台/330设备/220110/220检测/110ICP-MS(电感耦/110/110/110/110/110应力释放烤箱/220/110/220/550/110/110/110/110XRD/XRR测试仪/110110110先进高介电常化层原子层堆栈设备研发及产业化项目研发及产品检测110检测膜厚检测仪KLA110110110傅里叶变换红外光诞仪110原子力显微镜110金属厚度量测设备11012时全自动光学110原子层沉积设备550原子层沉积设备220原子层沉积设备220原子层沉积设备220基于原子层沉术的光伏及柔性电子设备/空压机110/空调机组550/110/车床110/110//110//110/设备板式、管式、iGuard等0/设备/330/检测自动传输平台/660/组件环境测试箱/220/组件高压测试设备/220//110//110//110//110//110//110/四探针测试仪/110//110/水氧测试设备220/220/荧光光度计/110/台式光谱仪/110/corescan测试仪/110/备/110//110//110//110//110//110/XRD/XRR测试仪/110//220///330//110//220///220/数控车床/220/三轴CNC加工中心/110/四轴CNC加工中心/110/磨泥流/220//110//110/半导体薄备智能化工厂建设原子层沉积设备550/原子层沉积设备220/原子层沉积设备220/原子层沉积设备220/自动化传输平台/330/设备/220/110//220//110扫描样品表面拉曼光谱测试仪/110能参数高温Stress的仪器/110度FTIR(升级包)/110/晶圆称重仪/110/光学膜厚仪/110/双腔测试平台系统/110/四腔测试平台系统/110//110/耐久测试平台/110/镜/110/水浸超声扫描显/110//110//110//110/3D扫描仪/110//110//110//110/红外发射率测试仪/110/工业内窥镜/110//110/四探针/110/烘箱/110//110//110/菲希尔封孔测试仪/110//110//550/真空泵/0//110/产品暂存量t备注研究开发原子层沉积技术24瓶装，1汽运等离子清洗瓶装，汽运镀膜瓶装，汽运瓶装，汽运瓶装，汽运瓶装，2汽运氧源3瓶装，汽运瓶装，5汽运镀膜储罐，A(三甲基瓶装，汽运桶装，)汽运清洗桶装，汽运2桶装，)汽运H)汽运水桶装，)汽运污水站药剂汽运次氯桶装，汽运桶装，桶装，M晶圆片3万6万5千片汽运镀膜硅片10万+10万2万片H汽运碱喷淋基于件0/汽运设备原子层沉积技术的半导体配套设备电器0/汽运组装硅片02万片汽运三甲基铝047L钢瓶汽运镀膜异丙酯05L钢瓶汽运镀膜二乙05L钢瓶汽运镀膜四(二锆05L钢瓶汽运镀膜乙醇钽05L钢瓶汽运镀膜氢气050L钢瓶汽运镀膜氧气040L钢瓶2汽运镀膜氮气047L钢瓶5汽运镀膜纯水047L钢瓶纯汽运镀膜氩气040L钢瓶1汽运镀膜水0汽运污水站药剂0次氯酸钠0汽运0汽运0M0H0汽运碱喷淋乙醇a1101擦拭先进高介电常数氧化层原子层堆栈设备研发及产业化项目氮气0检测0汽运零部件0/汽运设备组装电器0/汽运硅片02万片汽运镀膜三甲基铝047L钢瓶汽运镀膜异丙酯05L钢瓶汽运镀膜二乙05L钢瓶汽运镀膜(二锆05L钢瓶汽运镀膜乙醇钽05L钢瓶汽运镀膜氢气050L钢瓶汽运镀膜氧气040L钢瓶2汽运镀膜氮气047L钢瓶5汽运镀膜纯水047L钢瓶纯汽运镀膜氩气040L钢瓶1汽运镀膜水0汽运污水站药剂0汽运次氯酸钠00汽运0汽运M0乙醇a1101汽运擦拭基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备零部件0/汽运组装电器0/汽运硅片030kg/箱2万片汽运工艺研发和调试三甲基铝0钢瓶装，0钢瓶装，氨气0钢瓶装，汽运氢气0钢瓶装，50L/瓶汽运氧气0钢瓶装，2纯水0钢瓶装，汽运氩气220钢瓶装，1氮气0钢瓶装，47L/瓶，纯度5汽运氮气440纯度汽运乙醇a1101汽运半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目零部件0/汽运设备组装电器部件0/汽运硅片0g箱装2万片汽运工艺研发和调试用三甲基铝0汽运镀膜异丙酯1105L钢瓶汽运镀膜二乙基锌05L钢瓶汽运镀膜四(二锆05L钢瓶汽运镀膜乙醇钽1105L钢瓶汽运镀膜氢气050L钢瓶汽运镀膜氧气02汽运镀膜氮气05汽运镀膜纯水0纯汽运镀膜氩气040L钢瓶1汽运镀膜乙醇a1101汽运擦拭扩建项目主要原辅材料、中间产品及污染物的理化特性、燃烧爆炸性、表2-4扩建项目物料理化性质表(三甲基分子式C₃H₉Al,分子量72.08,常温下为18℃,密度0.752g/cm³,反应性极强，空易燃易爆(大鼠吸入)分子式SiH4,分子量32.118,常温常压下恶臭的无色气体；密度：1.44g/l;相对蒸汽密度1.1g/mL;熔点：-185C;沸点：-111.4C;蒸发热：12.5KJ/mol;熔化热：0.67KJ/mol;生成热：32.6KJ/mol;比热容：1.335KJ/kg.k;临界温度：-3.5C;临界不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。易燃，爆炸极限(大鼠吸入，4小氨气分子式NH₃,分子量17,无色有刺激性恶点：-33.5C;蒸气压506.62kPa(4.7C);相对密度(水=1)0.82(-79C)易燃，爆炸极限27.4%(人鼠吸入，4小时)LDso:350mg/kg(大鼠经氢气分子式H₂,分子量2.01588,常温常压下，是一种极易燃烧，无色透明、无臭无味且难溶于水的气体；标准大气压下，氢易燃易极限/氧气分子式O₂,分子量32,助燃，强氧化剂，对人体有害急性毒性：人类吸入TCLo:氮气分子式N₂,分子量28.013,通常状况下是一种无色无味的气体，而且一般氮气比空积分数),是空气的主要成分之一。氮气的化学性质不活泼，常温下很难跟其他物质发生反应空气中氮气含量过高，使吸入气氧分窒息氩气无色无臭的惰性气体。熔点：-189.2℃;沸点：-185.7℃;相对密度(水=1):1.40(-/186℃);相对蒸气密度(空气=1):1.38;微溶于水。无色无臭的惰性气体。化钾无机碱，化学式为KOH,分子量为56.1,溶液的pH为13.5。极易吸收空气中水分而潮解，吸收二氧化碳而成碳酸钾。溶于约0.6份热水、0.9份冷水、3份乙醇、2.5份甘油，微溶于醚。当溶解于水、醇或用酸处理时产生大量热量。扩建项目使用中等毒，半数致死量(大鼠，经口)化钠39.9970。氢氧化钠具有强碱性，腐蚀性极强，可作酸中和剂、配合掩蔽剂、沉淀剂、洗涤剂等，用途非常广泛。密度：2.130g/cm³,熔点：318.4℃(591K),沸点：1390℃(1663K),蒸气压：24.5mmHg(25℃),饱和蒸气压：(739℃),外观：白色结晶性粉末，溶解性：易溶于水、乙醇、甘油，不溶于丙/无色透明的液体，有强烈的刺鼻气味，具有较高的腐蚀性。扩建项目使用HCl溶液质量分数为37±1%,密度为1.185t/m³,熔点-27.32℃(247K,38%溶液),沸点110℃(383K,20.2%溶液);48℃(321K,38%溶液),与水混溶，为一元无(兔经口)LC50:3124ppm(大鼠吸入，1h)是氟化氢气体的水溶液，清澈，无色、发点-83.3℃,沸点19.4℃,项目使用氢氟酸质量分数为49±1%,密度为1.19t/m³。易溶于水、乙醇，微溶于乙醚。是一种弱属、玻璃和含硅的物体。(大鼠吸入，1h)于苯、石油醚。纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体，熔点-0.43℃,沸点150.2℃。凝固点时固体密度为1.71g/cm³。纯过氧化氢比较稳定，加热到153℃便猛烈地分解为水和氧气。LD₅o4060mg/kg(大鼠经皮)化硼无色发烟液体或气体，有刺激性酸味，易炸性分解，生成氯化氢和硼酸，并放出大金有可能生成具有爆炸性的氯乙炔。遇潮玻璃等。在潮湿空气中可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾。相对密度1.43t/m³。小时(大鼠吸入)FeSO₄,外观为白色粉末无气味、晶体为浅绿色结晶，俗称“绿矾”。熔点为671℃,相对密度为1.897(15℃),溶于水、甘油、不溶于乙醇。可用于制铁盐、氧化铁颜料、媒染剂、净水剂、防腐剂、消毒剂(小鼠，经口)氯气101℃,沸点：-34.0℃,相对密度(水=1):1.41(20℃),相对蒸气密度(空气=1):2.5,饱和蒸气压(kPa):673(20℃),易溶于水、碱液。助燃。与爆炸。小时，大鼠吸入)不可燃，温度极低。氮构成了大气的大部分(体积比78.03%)密度0.804kg/m³(-183℃、液体)熔点-210℃,沸点-195.8℃,临界温度-147℃,临界压力3.39Mpa,用途：食品冷藏、冶金工业、洗涤及保护气、用于气体激光器、空分设备、电力输送和氢气无色无臭气体，熔点-259.2℃,沸点--252.8℃,相对蒸汽密度0.07易燃次氯酸钠点℃:-6,作用：用于水的净化，以及作消毒本品不燃，具腐致人体灼LD₅o:8500mg/kg(小鼠经口)纯品为无色透明油状液体，无臭；沸点(℃)330,与水混溶。与易燃物(如苯)和鼠经口)LCso:510mg/m³2小时(大鼠吸入);320mg/m³,2小时(小鼠吸入)无色无味的液体，相对密度(水=1):1.328,易溶于水、乙醇、甘油，不溶于丙水，几乎不溶于苯、乙醚、酯类、丙酮等一般有机溶剂，其水溶液几近透明的粘稠液体，非危险品，无毒，无腐蚀性，固体PAM有吸湿性，吸湿性随离子度的增加而增加，PAM热稳定性好，加热到100℃稳定性良好。1#厂房建筑面积为44811.89m²,共3层1#厂房1F西南角空置区项目研发，研发区面积为1000m²在1#厂房1F西南角空置区域增加研发区辅助办公楼建筑面积依托现有不变主要用于办公，共4层建筑面积依托现有不变综合站房建筑面积450m²依托现有不变主要为污水处理站房与纯水制备系统，位于1#厂房，1F南侧1个20m³液氮储罐依托现有不变位于1#厂房，1F南侧气站建筑面积40.5m²,现有项目使用约35m²不变，不增加使用面积不变均以钢瓶方式储存，位于1#厂房，1F南侧化学品库1建筑面积168.50m²,现有不变，不增加使用面积不变于厂区西北侧化学品库2建筑面积91.16m²,现有项目使用约20m²不变不变等，位于厂区西北侧仓库依托现有不变位于1#厂房，1F生产车间南侧---原材料及产品进出厂来自市政管网公用生活污水不新增员水不新增员却排水雨水///雨水经厂区雨水管网收集排入市政雨水管网纯水制备系统设计规模5t/h,依托现有，扩建后全厂为0.03t/h,满足现有纯水制备系统余量范围设计规模500m³/h,现有项目50t/h依托现有，扩建后全厂需求量为10t/h,满足量范围供电1050万千瓦时/年+150万千瓦时/年来自市政电网占地面积依托现有不变废气工艺研发和调试废气10套尾气处理器(焚烧+水喷淋+收塔处理后通过30m高排气筒12套尾气处理器(焚烧+除尘装置)+依托现有碱液喷淋洗涤吸收塔处理后通过30m高排气筒DA001排放依托现有碱液喷淋洗涤吸收塔处理后通过30mDA001排至危废间废气理后经15m高排气筒DA003排放15m高排气筒DA003排放不变废水粪池1个，有效容积20m³,现有项目生活污水为不新增员工，不新增不变依托现有项目隔油池1个，有效容积60m³,现有项目食堂废水为不新增员工，不新增不变冷却塔排水(间接冷///生产厂内污水处理站处理工艺主要+MVR蒸发器+规模3m³/d,现有项目废水量扩建项目新增需处理废废水约0.5m³/d,余项目需求达《城市污水再生利中工艺与产品用水水雨污分流、规范化接管口雨水口、污水口各1个依托现有不变及规范化整治管理办噪声减降噪≥10dB(A)降噪≥10dB降噪≥10dB(GB12348-2008)中3类昼间标准减振底座、加隔声罩固废一般工暂存一般工业固废，建筑面积依托现有不变2020)要求危废堆场依托现有不变污染控制标准》(GB1扩建项目生产过程中使用HF,HF部分挥发进入废气，经碱喷淋处理后，小部分通过排气筒排放，大部分进入废水，废水净化后回用于喷淋用水。经污水处理站净化后的废水中氟含量较少，不进行挥发，故几乎不进入废气，纳入污泥中统计。扩建项目49%浓度的氢氟酸用量为0.0441t/a,氟元素折纯量为0.0205t/a。具体平衡情况见下表。投入产出去向进入清洗和溶液配置废气进入碱液喷淋塔废水/排入大气扩建项目生产过程中使用盐酸和三氯化硼两类含氯化学品。盐酸稀释后用于清洗环节，部分挥发进入废气，大部分进入废水。三氯化硼在扩散工序中氯元素转换为氯气和氯化氢气体，直接由真空泵排入吸收塔，在碱液环境下被净化，小部分通过排气筒排放，大部分被吸收塔溶液吸收、中和，留在废水中。经污水处理站净化后的废水中氯含量较少，不进行挥发，故几乎不进入废纳入污泥中统计。扩建项目46%HCl用量为0.01829t/a,氯元素折纯量为0.0082t/a;三氯化硼用量为0.02t/a,其中氯元素折纯量为0.0181t/a,氯元素折投入产出量氯元素去向氯元素化氢气0.0008排入大气三氯化硼排入大气氨主要用于Si₃N4镀膜。Si₃N4镀膜反应方程式为：投入产出物料名称原料用量去向氨气排入大气进入产品投入产出物料名称原料用量量去向量氨气进入镀膜废气水排入大气进入产品扩建项目用水主要为清洗用水、纯水制备用水、冷水机组循环冷却用水、扩建项目为提高水资源利用率，生产废水经厂区内污水处理站处理达标后回用于废气处理喷淋用水，按要求建设中水回用设施。冷却水排水、纯水制备1)纯水制备系统扩建项目依托现有纯水制备系统，纯水设计制备能力75%。经计算，扩建项目生产部分纯水用量为63.5519t/a,则年补充新鲜水量约84.7359t/a,纯水制备弃水为21.184t/a,纯水制备弃水接管到新城水处理厂集中处理。扩建项目工艺研发过程需使用循环冷却水进行间有1座冷却塔，设计循环水量500m³/h,现有项目已使用50t/h,根据扩建项目实际工艺，扩建项目新增循环水量约为10t/h,年工作时间为2400h,则年循环水量共计24000t/a。补充水量约占总循环水量的1.5%,则补充水量约为360t/a,损耗按80%计，其中损耗量为288t/a,72t/a循环冷却排水接入污水管网，冷却塔使用过程不使用任何含N、P杀菌除藻剂、阻垢剂，因此浓水不含氮、磷污染物。5)清洗用水本次工程清洗废水包括：酸洗用水、碱洗用水。扩建项目预清洗、酸洗、酸洗后水洗工序需要用纯水进行清洗。扩建项目共设1台清洗机，清洗机设置两个酸洗清洗槽。预清洗需在清洗机中加入原试剂浓度为49%HF35L/a(0.0441t/a)和纯水调配为1%即用浓度的酸液进行预清洗，则需添加调配的纯水量为1680L/a。酸洗需在清洗机中加入原试剂浓度为46%HCL15.5L/a(0.01829t/a)和纯水调配为0.4%即用浓度的酸液进行清洗，则需添加调配的纯水量为1767L/a。酸洗后水洗工序需要的纯水量是预清洗、酸洗水量的两倍，为6894L/a。则整个酸洗过程所用的纯水量为10341L/a,即10.341t/a;整个酸洗过程的酸液共10391.5L/a,约10.4034t/a。由于清洗水中杂质不断增加，清洗能力下降，会产生酸洗废水，根据企业提供资料，清洗过程中约20%的清洗液会进行蒸发损耗，剩余80%为清洗废水进入污水处理站进行处理，则酸洗废水量为8.3227t/a(0.0277t水的纯水量约8.2728t/a(0.0276t/d),酸洗废水进入厂区内污水处理站进行处理。扩建项目共设1台清洗机，清洗机设置1个碱清洗槽。预清洗需在清洗机中加碱液进行预清洗，则需添加调配的纯水量为6576.3L/a。碱洗原试剂浓度为30%H₂O₂106L/a(0.1173t/a)和纯水调配为1%即用浓度的碱液进行清洗，则需添加调配的纯水量为3074L/a。碱洗后水洗工序需要的纯水量是预清洗、碱洗的水量的两倍，为19300.6L/a。则整个碱洗过程所用的纯水量为28950.9L/a,即28.9509t/a;整个碱洗过程的碱由于清洗水中杂质不断增加，清洗能力下降，会产生碱洗废水，根据企业提供资料，清洗过程中约20%的清洗液会进行蒸发损耗，剩余80%为清洗废水进入污水处理站进行处理，则碱洗废水量为23.4522m³/a(0.0782m³/d),进入清洗废水的纯水量约23.1607t/a(0.0772t/d),碱洗废水进行处理。(0.1059t/d),进入酸碱废水中的纯水量为31.7335t/a。6)喷淋塔废水扩建项目清洗工艺中会产生含氢氟酸，氯化氢，氯气等废气，项目设置了碱液喷淋吸收塔吸收处理，设计循环水量80m³/h,补水量4.16m³/h。现有项目已使用50t/h,喷淋塔循环水量为10t/h,年工作时间为2400h,循环水量为24000t/a,循环过程蒸发损耗按1%计，损耗水用量约为240t/a,每10天将循环水更换一次，产生碱液喷淋塔废水45t/a,更换废水排入厂区污水处理站处理，扩建项目设沉积设备，每7台镀膜设备配备1套“燃烧器+水喷淋塔+静电除尘"废气处理系统，扩建项目新增2套“燃烧器+水喷淋塔+静电除尘"废气处理系统，扩建项目水喷淋塔循环水量为2t/h,采用旋转水幕+细微器雾状水分子设计方式对燃烧后生成的Al₂O₃粉末以及未完全反应的SiH₄、NH₃及反应生成的H2进行脱除。扩建项目年工作时间为2400h,循环水量为4800t/a,补充水量按循环量2%计，则补充水量约为96t/a,损耗按20%计，其中损耗量为19.2t/a,定期排水量为76.8t/a(0.256t/d)。7)工艺补水扩建项目生产工艺上，一方面镀膜过程中会使用纯膜反应，另一方面生产设备需加湿补水等，共消耗纯水量约0.2t/a。扩建项目设计1套回用水系统，根据废水设计方案，氧化批式处理池+板框压滤池+滤液中和池+MVR蒸发器+冷凝水除氨池”处理后的清洗废水及喷淋塔外排废水的水质较为简单，废水中污染物主要为pH、COD、SS、氟化物、氯化物，为减少新鲜水的用量，将该部回至废气处理系统喷淋用水。经前文计算扩建项目清洗废水及喷淋塔外排废水量为153.5749t/a,经厂区污水处理站“强氧化批式处理池+板框压滤池+滤液中和池+MVR蒸发器+冷凝水除氨池"处理，污泥产生率为2%,即产生的污泥为3.0715t/a;MVR蒸发器产生的浓缩液占废水量10%,即15.3575t/a,浓缩液为 (危废) (危废) 回用回用 蒸汽发生器生蒸汽33127.1038 工艺用水(危废) 根据建设单位提供资料，扩建项目污水处理站设置1台电蒸汽发生器转换效率为80%,电加热将水转换成蒸气从而进行MVR蒸发。利用，回收二次蒸汽的潜热。蒸气消耗量为19.25m³/a。图2-3扩建项目蒸气平衡图(单位：m³/a)损失9.62损失9.62损失38.5 图2-4扩建后全厂蒸气平衡图(单位：m³/a)劳动定员：全厂职工定员500人，扩建项目不新增员工。工作制度：年工作300天，实行8小时单班制，年运行2400小时。厂区扩建项目租赁先导控股有限公司位于无锡市新吴发实验室扩建项目，项目厂区平面布置图详见附图装区、配料区、分料区、辅材库、仓库、机加工生产间主要为仓库，扩建项目车间平面布置详见附图四。纵观厂房的平面布置，各分区的布置规划整齐，既方便内外交通联系，又方便原辅材料和成品的运输，厂区平面布置较合理。噪声、扬尘、生活污水、噪声、生活污水、建筑垃圾、生活垃圾生活垃圾简易装修工程简易装修工程设备安装工程验收工程运营(1)装饰装修工程：主要包括门窗安装、室内抹灰、内外装饰、油漆涂料施工、防水工程等工序。(2)设备安装工程：主要包括设备和器材安装调试等工(3)工程验收：包括竣工验收、交工验收等过扩建项目依托现有厂房空置区域，不新增建筑物，无土建工程；现有公辅设施可满足扩建项目需求，无需对现有建筑的给排水、暖通、电力系统等进行改造，施工期仅进行简单内部装修和生产设备的安装。拟利用现有厂房内空置区域安装相应设备。施工期全过程按作业性质可以分为下列几个阶段工程阶段、设备设施安装工程等。施工时间约2~3个月，施工期较短。施工期主要污染源为施工机械噪声、施工人员生活污水和施工过程产生的固体废扩建项目建成后，主要用于研发集成电路高端积技术的研发，形成公司集成电路高端装备产业化应用中心。工艺流程如 S2废Al₂O₃、SiNa、Si、SiO2颗粒①设计开发：根据客户要求研发部进行设备电脑模拟、设计开发，设计出③前处理：利用等离子清洗机洗去硅片表面的脏污。等离子清洗机采体作为清洗介质，有效避免了因液体清洗介质对被清洗物的二次污染，短时间④工艺研发：部分硅片需要利用硼扩散设备将硼元素注P型半导体层，为公司后期的光伏及半导体产业成套装备的研发生产做准备。部分硅片通过自动传输平台送入ALD原子层沉积设备，通入三甲基铝、硅烷、镀膜、aSi镀膜以及SiO₂镀膜4种，再通过马弗炉高温退火后人工采用检测设备对硅片性能进行测试，以此验证工艺参数的可行性，通过不断的调直至达到设计要求，ALD原子层沉积设备运行时使用冷水机组进行冷却。此工序产生的污染物主要为三甲基铝、甲烷、Al₂O₃等研发废气G2,废硅片S₁、镀膜残留的固废S2和噪声N。研发废气由“焚烧+水喷淋+静电除尘+酸洗塔”处理后经1根不低于25m高的排气筒(DA001)排放至大气。工艺研发和调试过程包括硼扩散和镀膜工序(镀膜包括Al₂O₃镀膜、Si₃N₄镀膜、aSi镀膜、SiO₂镀膜4种方式),具体如下：硼扩散：硼扩散制结是在高温条件下把需要的掺杂物扩散进入硅片的表面 (正面),在硅片表面形成一个与基体材料导电特性相反的薄层的过程。将前处理后的硅片利用硼扩散设备进行高温扩散。扩散前，向硼扩散设备中通入N₂将石英管中的空气置换完全。扩散过程中，硼扩散设备通过电加热升至设定温度且温度恒定后(950℃),通入氧气，同时由氮气将液态三氯化硼(BCl₃)携带进入扩散炉中，高温下BCl₃与O₂、Si反应生成SiO₂和硼原子。硼原子在高温下逐步向硅片内部扩散，在硅片表层形成一定的浓度梯度，最终形成P型半导体层。反应方程式如下：该工序在硼扩散设备密闭设备内自动运行，腔体中操作温度约为950℃,反应过程中残留的含B₂O₃、Cl₂的废气通送入尾气处理设施(焚烧+水喷淋+静电除尘装置)处理。Al₂O3镀膜：将预处理后的硅片送入相应ALD原子层沉积设备内，利用真空泵把设备腔体抽成真空，通入三甲基铝(TMA)和水蒸气反应生成Al₂O3,水蒸气由纯水电加热挥发产生，反应方程式如下：2Al(CH₃)₃+3H₂O→Al₂O₃J+6CH₄个该工序在ALD原子层沉积密闭设备内自动运行，腔体中操作温度约为400℃,以外购高纯N₂作为保护气，反应过程中残留的含三甲基铝(在300℃时缓慢分解产生甲烷)、甲烷的废气通送入尾气处理设施(焚烧+水喷淋+静电除尘装置)处理。把设备腔体抽成真空，通入SiH₄和NH₃反应生成Si₃N₄,反应方程式如下：3SiH₄+4NH₃→Si₃N₄J+12H₂个该工序在ALD原子层沉积密闭设备内自动运行，腔体中操作温度约为350℃,以外购高纯N₂作为保护气，反应过程中残留的SiH₄、NH₃、H₂的废气送入同一套把设备腔体抽成真空，通入SiH₄反应生成aSi镀膜，反应方程式如下：SiH₄→Si+2H₂个该工序在ALD原子层沉积密闭设备内自动运行，腔体中操作温500℃,以H₂作为保护气，反应过程中残留的SiH₄、H₂送入同一套尾气处理设施把设备腔体抽成真空，通入O₂和硅片反应生成SiO₂,反应方程式如下：度约为300-500℃,以H₂作为保护气，反应过程中残留及产生的SiO₂废气送入同一套尾气处理设施(焚烧+水喷淋+静电除尘 清洗：试验的硅片需要在腐蚀清洗去除表面的氧化层、氮氧化硅膜、去除硅片生产过程中机械损伤层及表面脏污。酸洗过程主要洗后水洗工序，首先采用1%HF预清洗，清洗时间5min去除表面杂质，然后用0.4%HCL酸洗清洗时间5min去除表面氧化层