集成电路制造工艺 课件 6.1 平坦化的基本原理_第1页
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文档简介

集成电路制造工艺

--平坦化的基本原理单位：江苏信息职业技术学院微电子教研室传统的平坦化方法第六章平坦化先进的平坦化技术CMPCMP平坦化的应用平坦化的基本原理本章要点传统的平坦化方法先进的平坦化技术CMPCMP平坦化的应用平坦化的基本原理本章要点第六章平坦化§6.1平坦化的基本原理平坦化就是一种移除表面凹凸，使晶片表面保持平整平坦的工艺。

2.平坦化的意义：集成度提高单层布线面积不够多层布线中间填充金属介电层平坦化高低起伏影响可靠性一.平坦化的基本概念1.平坦化的定义：集成电路高低不平的表面结构3.平坦化与非平坦化的对比平坦化的IC剖面非平坦化的IC剖面4.平坦化术语

未平坦化平滑处理局部平坦化全局平坦化部分平坦化谢谢！

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