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集成电路制造工艺

--洁净设备单位：江苏信息职业技术学院微电子教研室第九章洁净技术洁净设备清洗技术洁净技术等级标准纯水制备本章要点第九章洁净技术洁净设备清洗技术洁净技术等级标准纯水制备本章要点§9.2洁净设备空气初级过滤器鼓风机亚高效过滤器高效过滤器出风口收集口排放口净化系统空气过滤器空气过滤器是主要净化部件，没有过滤器，特别是没有高效过滤器，也就没有洁净技术。空气过滤器是用来对空气进行净化处理的设备，根据过滤效率的高低，通常分为初效（粗效）、中效和高效过滤器三种类型。为了便于更换，一般做成可拆卸模块：为提高过滤器过滤效率和增大额定风量，可做成袋式或抽屉式。空气过滤器形式初效过滤器初效过滤器又称粗效过滤器，主要用于空气初级过滤，过滤粒径在10～100μm范围的大颗粒灰尘。中效过滤器用于过滤粒径在1～10μm范围灰尘，常采用中细孔泡沫塑料、玻璃纤维、无纺布等滤料制作。高效过滤器用于过滤粒径1～5μm。常采用超细玻璃纤维和超细石棉纤维等滤料制作成纸状。高效过滤器效率为99.91％，亚高效过滤器效率为90％～99.9％。空气过滤器分类空气过滤器外观使用注意事项对空气过滤器的选用，应主要依据净化要求和室外空气污染情况而定，通常是将几种效率不同的过滤器串联使用。空气过滤器应经常拆换清洗，以免因滤料上积尘太多而使房间室内空气洁净度达不到要求：清洗周期多个过滤器同时使用时要配合采用风机供应空气，确保气体能顺利通过后续过滤器。洁净工作室

工作室内洁净度达到生产所需洁净度级别的工作室称为洁净工作室，工作室通常经过三级过滤后可获得所需洁净等级，洁净工作室分类：

斜流式、

水平层流式

垂直层流式

其中，斜流式结构很少采用，水平层流式和垂直层流式应用较为广泛。洁净室除尘设备风淋室风淋室可保证进入洁净室人员进行人身洁净和防止室外空气侵入；主要分为停留式和通道式两种。主要由风机、过滤器和喷嘴组成。洁净室除尘设备静电自净器的工作原理为极板金属丝外加直流电压，不均匀电场造成空气电晕放电，产生的正离子吸附尘埃后向阳极集中被吸收，达到集尘效果。静电自净器洁净室除尘设备真空收尘器-吸尘器通过一定方法在收尘器内部形成一定负压（真空），室内空气在压力作用下通过吸尘管进入收尘器内部，经三级过滤后排回室内空间。真空收尘器-吸尘器穿好洁净服，头发不能外露不准使用铅笔和普通纸张，进入要清洁严格注意个人清洁、养成良好卫生习惯传染病和呼吸道疾病患者，严禁入内原则上不串门，限制室内最高人数洁净室操作人员注意事项洁净工作台洁净室内各处洁净度要求不尽相同，不同工序要求的洁净度标准不同，此时需要在保证洁净室等级基础上，满足局部洁净度要求。洁净工作台可分为循环式和直流式；乱流（紊流）式和平行流式每天打扫环境卫生，使用前提前开启风机吹污操作区为层流区时，出风面和加工面不能有阻挡物操作者严格按清洁规程做好个人卫生清

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