YS-T 1745-2024《分子束外延（MBE）用高纯铝源》

YS/TXXXX-XXXX

分子束外延（MBE）用高纯铝源

1范围

本文件规定了分子束外延（MBE）用高纯铝源（以下简称高纯铝源）的分类、技术要求、试验方法、

检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于高纯铝源的生产、检测及质量评价。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

YS/T871高纯铝化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

分子束外延(MBE)用高纯铝源highpurityaluminumsourceformolecularbeamepitaxy(MBE)

分子束外延生长用的纯度不小于99.99995%的铝源。

4分类

高纯铝源按规格分类如下：

a)颗粒：直径小于20mm且长度小于60mm的高纯铝源；

b)型材：直径不小于20mm或长度不小于60mm的高纯铝源。

5技术要求

5.1化学成分

高纯铝源的化学成分应符合表1的规定。

表1化学成分

Al含量a（质量分数），%，不小于99.99995

杂质元素含量（质量分数），元素成分要求元素成分要求

-4

10%，不大于Ag0.01Mo0.01

2

YS/TXXXX-XXXX

表1分子束外延（MBE）用高纯铝源的化学成分(续)

Al含量a（质量分数），%，不小于99.99995

元素成分要求元素成分要求

As0.01Na0.01

B0.05Ni0.01

Be0.01P0.01

Ca0.01Pb0.01

Cd0.01Sc0.05

Co0.05Se0.01

Cu0.1Si0.1

Cr0.1Sn0.01

杂质含量（质量分数），10-4%，不大于

Fe0.05Sr0.01

Ga0.01Te0.01

Ge0.01Th0.0005

Hf0.01Ti0.1

Hg0.01U0.0005

In0.01V0.1

K0.01W0.01

Mg0.05Zn0.05

Mn0.05Zr0.01

杂质含量总和b，10-4%，不大于0.5

aAl含量为100%减去杂质含量总和的余量。

b杂质含量包含但不限于表中所列杂质元素实测值总和，不包含S、Cl、C、H、O、N元素。需方要求提供表中以外

的其他杂质元素检测数据时，由供需双方协商。

5.2尺寸

高纯铝源的尺寸由供需双方协商确定。

5.3外观质量

高纯铝源外观质量为银白色，表面光亮，具有结晶条纹，有金属光泽，无沾污、无划伤、无孔洞、

无夹杂。

6试验方法

6.1高纯铝源化学成分的测定按YS/T871的规定进行。

6.2高纯铝源的尺寸采用相应精度的游标卡尺进行测量。

6.3高纯铝源外观质量采用目视法进行检查。

7检验规则

7.1检查和验收

3

YS/TXXXX-XXXX

7.1.1高纯铝源由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定，并填写随行文件。

7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验，如检验结果与本文件及订货单的规定不符，应在

收到产品之日起1个月内以书面形式向供方提出。如需仲裁，由供需双方协商确定。

7.2组批

产品应成批提交验收，每批应由同一炉次、同一工艺、同一规格的产品组成。

7.3检验项目及取样

产品的检验项目及取样应符合表2的规定。

表2检验项目及取样

检验项目取样技术要求的章条号试验方法的章条号

按个数随机取不低于1%比例（不足200颗取2

5.16.1

颗粒颗），熔化混合后制样

化学成分

型材产品两端分别取样混合，熔化混合后制样5.16.1

尺寸逐个最小包装单元5.26.2

外观质量逐颗或逐件5.36.3

7.4检验结果的判定

7.4.1产品化学成分的检验结果不合格时，允许取双倍试样对不合格项进行重复检验，若重复检验仍

有任一结果不合格，判该批产品不合格。

7.4.2产品的尺寸检验结果不合格时，判该包装单元产品不合格。

7.4.3产品的外观质量检验结果不合格时，判该颗或该件产品不合格。

8标志、包装、运输、贮存和随行文件

8.1标志

8.1.1高纯铝源的内包装应贴有产品标签,其上至少包括：

a)产品名称；

b)产品重量；

c)产品规格；

d)产品批号；

e)生产日期；

f)检验签章。

8.1.2高纯铝源的外包装侧面应有“小心轻放”、“防潮”、“防晒”等标识，还应包括：

a)供方名称；

b)产品名称；

c)产品件数及重量（毛重/净重）。

8.2包装

4

YS/TXXXX-XXXX

8.2.1高纯铝源包装环境应满足GB/T25915.1-2021中ISO4级的要求，高纯铝源采用双层洁净铝箔袋

或PE袋真空包装，再装入纸盒或泡沫盒中。

8.2.2包装方法也可由供需双方协商确定。

8.3运输

高纯铝源在运输过程中应轻装轻卸，勿压勿挤，并采取防潮等措施。

8.4贮存

高纯铝源应贮存在清洁、干燥的环境中，保质期为一年。

8.5随行文件

每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期

外，还宜包括：

a)产品质量证明书，至少包括：

产品名称；

产品数量；

产品批号；

检验结果；

检验日期；

检验员签名或印章。

b)产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等。

9订货单内容

需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出以下内容：

a)产品名称；

b)产品规格；

c)产品数量；

d)本文件编号；

e)其他。

_________________________________

5

ICS77.150.10

CCSH61

YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/TXXXXX—XXXX

分子束外延（MBE）用高纯铝源

Highpurityaluminumsourceformolecularbeamepitaxy(MBE)

报批稿

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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分子束外延（MBE）用高纯铝源

1范围

本文件规定了分子束外延（MBE）用高纯铝源（以下简称高纯铝源）的分类、技术要求、试验方法、

检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于高纯铝源的生产、检测及质量评价。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

YS/T871高纯铝化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

分子束外延(MBE)用高纯铝源highpurityaluminumsourceformolecularbeamepitaxy(MBE)

分子束外延生长用的纯度不小于99.99995%的铝源。

4分类

高纯铝源按规格分类如下：

a)颗粒：直径小于20mm且长度小于60mm的高纯铝源；

b)型材：直径不小于20mm或长度不小于60mm的高纯铝源。

5技术要求

5.1化学成分

高纯铝源的化学成分应符合表1的规定。

表1化学成分

Al含量a（质量分数），%，不小于99.99995

杂质元素含量（质量分数），元素成分要求元素成分要求

-4

10%，不大于Ag0.01Mo0.01

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表1分子束外延（MBE）用高纯铝源的化学成分(续)

Al含量a（质量分数），%，不小于99.99995

元素成分要求元素成分要求

As0.01Na0.01

B0.05Ni0.01

Be0.01P0.01

Ca0.01Pb0.01

Cd0.01Sc0.05

Co0.05Se0.01

Cu0.1Si0.1

Cr0.1Sn0.01

杂质含量（质量分数），10-4%，不大于

Fe0.05Sr0.01

Ga0.01Te0.01

Ge0.01Th0.0005

Hf0.01Ti0.1

Hg0.01U0.0005