（正式版）DB22∕T 1522-2011 《300mm～500mm口径光学元件精密磨削机床精度》

DB22DB22/T1522—2011300mm～500mm口径光学元件精密磨削机床Precisionofaperturefor300mm～500mmopticalcomponentprecisegrindingmachines吉林省质量技术监督局发布I1本标准规定了300mm～500mm口径光学元件精密磨削机床的结构精度和工作精度本标准适用于对直径Ф300mm~Ф500mm的圆形光学元件或对角线长度300mm～500mm的方形光学行等），也不适用于机床的参数检查（如速度、进给量等），GB/T17421.1-1998机床检验通则第1部分：在无负荷或精加工条件下机床的GB/T17421.2-2000机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度3.1本标准中所有线性尺寸、偏差和相应允差的单位为），值表示，但在有些情况下为了清晰，可用微弧度(µrad）或秒（〞）表示。其换算关系见下式：0.010/1000=10×10-6=13.3参照GB/T17421.1-1998中3.1调整机床安装水平，水平仪mm/1000mm。），3.5本标准所给出的检验项目的顺序并不表示实际检验顺序。为了装拆检验工轮轴构成，其中X导轨、Y导轨、转台轴、工件主轴和砂轮轴均采用静压技2兵思3.8当实测长度与本标准规定的长度不同时，允差应根据GB/T17421.1中2.3.1.1规定，按能够测量的长度折算。折算结果小于0.001mm时，仍按0.001mm计。3.9本标准所规定的检验工具仅为举例，可以使用相同指示量和具有至少相同精度的更高分辨率检验4结构精度要求4.1X导轨在XY垂直平面和XY水平面内的直线度要求均为0.003mm/300mm,检验工具及方法见附表A序号1内容所示。4.2Y导轨在XY垂直平面和XY水平面内的直线度要求均为0.003mm/300mA序号2内容所示。4.3X导轨运动方向与Y导轨运动方向的垂直度要求为0.005mm/300mm,检验工具及方法见附表A序号3内容所示。4.4工件主轴的轴向窜动要求为0.003mm,检验工具及方法见附表A序号4内容所示。4.5工件主轴的径向跳动要求为0.003mm,检验工具及方法见附表A序号5内容所示。4.6工件主轴轴线和X导轨的平行度要求：b)侧母线平行度为0.005mm/300mm;c)检验工具及方法见附表A序号6内容所示。4.7砂轮轴的轴向窜动要求为0.003mm,检验工具及方法见附表A序号7内容所示。4.8砂轮轴锥面的径向跳动要求为0.003mm,检验工具及方法见附表A序号8内容所示。4.9转台轴的轴向窜动要求为0.003mm,检验工具及方法见附表A序号9内容所示。4.10转台轴的径向跳动要求为0.003mm,检验工具及方法见附表A序号10内容所示。34.11转台轴轴线与Y导轨运动方向的垂直度要求为0.005mm/300mm，检验工具及方法见附表A序号4.12工件主轴轴线和砂轮轴轴线与床身平面的等距度要求为0.005mm，检验工具及方法见附表A序5.1平面光学元件面形精度要求为0.008mm。5.2轴对称非球面光学元件面形精度要求为0.008mm。5.3光学元件表面粗糙度Ra最大允许值为0.4µm。1(规范性附录)简图检验项目允差1a.在XY垂直平面内；b.在XY水平面内。电感测微仪、平2简图检验项目允差2Y导轨直线度：a)在XY垂直平面内b)在XY水平面内a及b:电感测微仪、平尺或光学方法。3简图检验项目允差3方尺、平板或角量，每50mm取点读数，记录数据。4简图检验项目允差4工件主轴的轴向窜动电感测微仪5.6.2.2.1和5.6.2.2.25工件主轴的径向跳动电感测微仪和检验棒。5.6.1.2.2和5.6.1.2.35简图检验项目允差6工件主轴轴线和X导轨的a.上母线平行度；电感测微仪和参照GB/T17421.1-98的有关条文和5.4.1.2.1和5.4.2.2.3X导轨置于行程的中间位置。7电感测微仪参照GB/T17421.1-98的有关条文和5.6.2.2.1和5.6.2.2.2轮轴加力。6序号简图检验项目允差8砂轮轴锥面的径向跳动电感测微仪5.6.1.2.2和5.6.1.2.39转台轴轴向窜动电感测微仪和5.6.2.2.1和5.6.2.2.2转台轴的径向跳动电感测微仪和5.6.1.2.2和5.6.1.2.37简图检验项目允差转台轴轴线与Y导轨运动电感测微仪、V参照GB/T17421.1-98的有关条文和转转台主轴，在Y导轨平面内进行测量，工件主轴轴线和砂轮轴度电感测微仪和检验棒。参照GB/T17421.1-98的有关条文和精度要求的条件下，使用电感测微仪的测头分别垂直接触主轴和砂轮轴的检验棒的下母线，取显示最大差值。8简图检验项目允差3的定位精度其光线平行于运动部件的运动方向。在运动部件上固定反射镜以1000mm/min的运行速度运动部件分别对各目标位置从正、符号↓表示负向趋近),各进行5次定位，误差A以所有(X,++3S;1)、 小值之差计。即：9简图检验项目允差的重复定位精度行速度运动部件分别对各目标位置从正、负两个方向趋近(符号↑表示正向趋近，符号↓表示负向趋近),各进行5次定位，偏差，即实际位置与目标位置之差。S计算出正、负向