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文档简介
化工仪表检测技术仪表总复习
第一章检测仪表基本知识一、测量误差及其各自的特点》》
测量误差按其产生原因的不同,可以分为三类:》》系统误差:
在测量过程中容易消除和加以修正。》》疏忽误差》》偶然误
差:不易被发觉和修正。
二、检测仪表的品质指标
(1),测量仪表的准确度(精确度):两大影响因素绝对误
差和仪表的标尺范围》》相对百分误差3
8=AmaxX100%
标尺上限值标尺下限值允许误差
仪表允许的最大绝对误差值5允二土X100%
标尺上限值标尺下限值仪表准确度等级的确定?》》会进
行计算:13页3、7小结:仪表的准确度等级数值越大,仪表
的精度越低。两台量程不同的仪表,妇果它们的绝对误差相等
的话,量程小的仪表准确度越低。线性度:线性度通常用实际
测得的输入-输出与理论拟合直线之间的最大偏差与检测仪表满
量程输出范围之比的百分数来表示。
8f=AfmaxX100%
仪表量程三、检测系统中信号的传递形式(1)模拟信号
连续变化的物理量和化学量。(2)数字信号(3)开关信
号第二章压力检测1、压力单位2、
图1-2线性度示意
P真空度二P大气压力P绝对压力
3、压力计及真空表的分类:液柱式压力计
弹性式压力计电气式压力:可以远距离传送信号,进行远
程控制。活塞式压力计:一般作为标准型压力测量仪器。一、
弹性式压力计
1.弹性式压力计是利用各种形式的弹性元件,在被测介质
压力的作用下,使弹性元件受压后产生弹性变形的原理而制成
的测压仪表。2.常用的弹性元件有:二、电气式压力计》》压
力传感器的作用:三、压力计的选用及安装L仪表类型的选
用》》氨用压力计弹簧管的材料都采用碳钢,不允许采用铜合
金。氧用压力计耍严格禁油。2.仪表测量范围的确定
上限选取压力平稳:最大工作压力不超过量程2/3
脉动压力:最大工作压力不超过量程的1/2下限选取被测
压力的最小值不低于满量程的1/32.压力计的安装
测量液(气)体压力时,取压点应在管道下(上)部,使
导压管内不积存气(液)体。
取压口到压力计之间应装有切断阀,以备检修压力计时使
用。切断阀应装设在靠近取压口的地方。第三章流量检测流量
计的分类
速度式流量计:靶式流量计、旋涡流量计、涡轮流量计电
磁流量计转子流量计
差压式流量计
容积式流量计:活塞式流量计、椭圆齿轮流量计
质量流量计:补偿式质量流量计惯性式质量流量计一、差
压式流量计
L差压式(也称节流式)流量计是基于流体流动的节流原
理,利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的
2.标准节流装置(孔板、喷嘴),一般都用于直D250nlm的管
道中3.工作原理:流过管道的流量越大,节流装置前后的压差
也越大。
Q=aeF02ApP1M=aeF02P1△P流量与压力差AP的平
方根成正比。
二、转子流量计
1.差压式(也称节流式)流量计是变节流面积、恒压降。2.
转子流量计:恒压降、变节流面积。3,流量越大,转子的位置
越高。三、椭圆齿轮流量计
1.适用于高黏度介质的流量测量。v2.椭圆齿轮每转一周所
排出的被测介质流量为半月形容积的4倍。
第四章物位检测一、差压式液位计
差压式液位计,是利用容器内的液位改变时,由液柱产生
的静压也相应
图3-19椭圆齿轮流量计结构原理变化的原理而工作的。
零点迁移问题:
无迁移:取压点与液位零位在同一水平面上正迁移:取压
口低于容器底部图4-4负迁移:介质具有腐蚀性,且差压计低
于容器
L热电偶温度计是基于热电效应这一原理测量温度的。2.
热电偶温度计是把温度的变化通过测温元件-热电偶转化为热电
势的变化来测量温度的。3.第三导体定律4.冷端温度补偿问题
EAB(t,tO)=EAB(t,0)-EAB(tO,0)
例5-2某支伯铭10-伯热电偶在工作时,自由端温度
10二30℃,测得热电势E(t,10)=14.195mV,求被测介质的实际温
度。解:由附录一可以查得E(30,0)=0.173(晒)代入式(5-3)变
换得
E(t,0)=E(t,30)+E(30,0)=0.173+14.195=14.368(mV)再由
附录一可以查得14.368mV对应的温度t为1400℃o
5.热电偶的构造及各部分作用热电极
绝缘管保护套管接线盒工业上对热电极材料的要求图5-10
热电偶的结构
在测温范围内其热电性质要稳定,不随时间变化;
在测温范围内要有足够物理、化学稳定性,不易被氧化或腐
蚀;电阻温度系数要小,电导率要高,组成热电偶后产生的热电势
要大,其值与温度成线性关系或有简单的函数关系;
复现性要好,这样便于成批生产,而且在应用上也可保证良
好的互换性;材料组织均匀、要有韧性,便于加工成丝。一、热
电阻温度计1.测温原理:利用热电阻的电阻值随温度变化而变
化的特性来进行温度测量的。
Rt=R01+attO
2.热电阻温度计是把温度的变化通过测温元件-热电阻转化
为电阻值的变化来测量温度的。
作为热电阻的材料一般要求是:
电阻温度系数、电阻率要大;热容量要小;
在整个测温范围内,应具有稳定的物理、化学性质和良好
的复制性;电阻值随温度的变化关系,最好呈线性;价格便宜。
[()]
检测技术及仪表
总复习
I、复习大纲
一)期末考试概况
考试范围:第一章到第六章考卷体型
一、填空题20%基础知识
二、判断题1596基础知识、基础知识扩展三、选择题1096基
础知识、基础知识扩展四、简答题25%基础知识五、计算题30%
基础知识应用考试内容:以课件上的知识点为主
二)章节知识第一章基础知识
*本章以填空和判断题为主
一)检测三要素:
测量单位(并以实物复现)、测量工具、测量方法。二)
测量用途分类:
生活测量(一般测量)技术测量(工业测量)实验室测量
(精密测量)
直接测量间接测量三)按测量方法分类:组合测量软测量
理论真值约定真值四)获取真值的方法:最佳估计值传递值原
理误差装误差五)误差产生的原因:环境误差人员误差系统误
差六)误差的种类:随机误差
粗大误差七)不确定度与误差的区别
A)仪表的基本组成:
传感器(即敏感元件)变换器显示装
九)仪表的灵敏度P17
仪表输入/输出特性曲线的斜率十)仪表的分辨率P17
使测量仪表产生未察觉的响应变化的最大激励变化值
十一)仪表的死区P17
使仪表产生可察觉响应时的最小激励值十二)仪表的引用
误差
1、是相对误差,但分母是仪表量程2、最大引用误差:
仪表最大引用误差(%)
量程最大绝对误差100%量程十三)仪表的允许误差
1、允许仪表具有的误差最大值;
2、可以用绝对误差或引用误差的形式表达。十四)仪表的
精度等级
仪表的精度等级就是用引用误差表示允许误差(即仪表的
最大引用误差)去掉%号后的数字经过圆整后的数值。
十五)仪表的可靠度
在规定条件下和规定时间内完成规定功能的概率
十六)失效率
系统运行到t时刻后的单位时间内发生故障的系统
数与时刻t时完好系统数之比。
十七)仪表的防爆1、结构防爆
(1)定义:在结构上用隔离措施,把电路和周围环
境隔绝,使电路正常工作时所产生的热量和故障状态下形
成的电火花及高温局限于密闭壳体之内,不致把外界易燃易爆
气体引燃。
(2)具体措施:密封外壳、充压缩空气、充油、充
石英砂。
2、本质安全防爆
(1)定义:从电路的能量上加以限制,使电路无论
在工作正常中或发生短路、断路等故障状态下,所产生的
火花都不足以引燃易燃易爆气体,它产生的温度也不足以使易
燃易爆物自燃。
(2)具体措施:限制电压、电流、功率。
第二章温度测量
一)温标三条件:
固定温度点(基准点)测温仪器温标方程二)华氏温标
华伦海特
0:氯化氨和冰的混合物32:水的冰点212:水的沸点
三)华氏温度和摄氏温度之间的关系:
9tFtC325四)热电偶温度计P36
电阻变化的热电式传感器热电阻温度变化电势变化的热电
式传感器热电偶温度变化五)热电势
1、温差电势:单一导体两端温度不同产生的电势
TeA(T,TO)dteA(T)eA(TO)TO
2、接触电势:不同导体接触时接点产生的电动势
TNAeAB(T)lneNB3>回路总电动势:
EAB(T,TO)eAB(T)eA(T,TO)eAB(TO)eB(T,TO)[eAB(T)eA(T)e
B(T)][eAB(TO)eA(TO)eB(TO)fAB(T)fBA(TO)六)热电势大小只
与热电极材料、两端温度差有关,而与材料粗细、长短无关。
七)均质导体定则
一种均质材料不能构成热电偶八)中间导体定则
1、热电偶回路中接入中间导体后,只要中间导体两端的温
度相同,对热电偶回路的总热电势值没有影响。
2、测量回路不影响电势。九)标准电极定律如果导体A、
B分别对标准电极C材料的热电动势已知,则A、B构成热电偶
时的热电动势为他们分别对C构成热电偶时产生的热电动势的
代数和oEAC(T,TO)ECB(T,TO)EAB(T,TO)
十)连接导线定律
若导体A、B分别与连接导体A,、B,相连接,接点温度
为T、TO、Tn,回路总热电势等于热电偶电势TEAB(T,n)与连
接导体电势B代数和。
EA(Tn,TO)E(T,T,T,T)E(T,T)E(T,T)ABBAnOnABnA〃B〃nO・可用廉
价导线来延长热电偶十一)中间温度定律
两种均质材料A、B构成热电偶,接点温度分别为T、TO,
如果一个中间温度Tn,那么热电偶回路的总热电动势不受温度
的影响。
ABBA(T,Tn,TO,Tn)EAB(T,Tn)EAB(Tn,TO)EEAB(T,TO)只需
测出热电偶在参比端温度为0度时的分度表,就可求出参比端
在其它温度时的热电势值。
十二)标准化热电偶
IEC推荐了8种标准化热电偶:
1)属贵金属热电偶,分度号:R、B、S
2)廉价金属热电偶,分度号:K、N、E、T、JK型,银铭-
银硅热电偶,用量最大。
十三)热电偶的冷端处理:
补偿导线法;
参比端温度测量计算法;参比端冰浴法;补偿电桥法;
十四)伯热电阻(-200~850℃)
10分度号PtlO工作区为650C以上R0选用:100分度号P
工作区为650c以下tlOO
十五)管道内液体温度的测量:
1、通常应保证测温元件有一定的插入深度,元件的感温点
应处于管道中心流速最大处;
2、对于直径大的管道,测温元件可垂直插入;3、为增加
插入深度,可迎着流体流动的方向斜向插入测温元件;
4、对于内径较小的管道,测温元件可插入弯头处或加装扩
大官。
十六)烟道中烟气温度的测量
①对象:锻造加热炉、锅炉中,燃烧后产生的大量烟气,
一般温度有几百上千度。
②测温的意义:正确测温有利于分析其燃烧状况,实现余
热利用。
③测温方式:采用热电偶,插入到被测烟气中。
④测温原理:通过和测温热电偶套管之间的对流热交换,
使热电偶温度升至接近于烟气温度。
1)温度误差原因:
①.烟气和热电偶间对流热交换系数比流体下的要小很多,
使得热电偶温度一般比烟气温度小很多,使得测量误差增大:
②.烟气温度高,热电偶插入部分被加热到较高温度,而未
插入部分温度低,沿热电偶往外的导热损失,引起导热误差,
从而带来测量误差;
③.烟道管壁温度低,热电偶对管壁的辐射损失大,引起辐
射误差,从而带来测量误差;
2)措施
①.测温元件(热电偶)外围加热屏幕罩减少对管壁的辐射
误差;
②.尽量增加热电偶的插入深度,并对热电偶根部处的管道
壁加强保温,以提高壁面温度减少导热误差;
③.采用抽气方式加大对流,增强对流交换减少辐射误差。
如图:热电偶装于有多层
屏蔽的管中,屏蔽管的后部
与抽气器连接。当蒸汽或压
缩空气通过抽气器时,会夹
带着烟气以很高的流速流
过热电偶测量端。在抽气管
路上加装的孔板是为了测
量抽气流量,以计算测量处
的流速来估计误差。
第三章压力和压差测量
—)绝对压力Pi
被测介质作用在容器表面积上的全部压力称为绝对压力,
用符号Pi表示。用绝对压力表测量。
二)大气压力Pd
由地球表面空气柱重量形成的压力,称为大气压力。它随
地理纬度、海拔高度及气象条件而变化。用符号Pd表示。用气
压计测定。
三)表压力Pb
通常压力测量仪表是处于大气之中,其测得的压力值等于
绝对压力和大气压力之差,称为表压力,用符号pb表示。
表压力二绝对压力-大气压力四)真空度Pz
当绝对压力小于大气压力时,表压力为负值(负压力),其
绝对值称为真空度,用符号pz表示,
有:pz=pd-pi.
(真空度二大气压力-绝对压力)
五)弹性膜片:
一种外缘固定的片状弹性元件,膜片的弹性特性一般由中
心位移与压力的关系表示。
按剖面形状及特性分:
平膜片的使用位移很小,弹性特性有良好平膜片:
的线性关系。
波纹膜片是压有环状同心波纹的圆膜波纹膜片:片,波纹
的形状有正弦形、锯齿形、梯
形等。其位移与压力的关系,由波纹的形状、深度和波纹
数确定。
挠性膜片仅作为隔离膜片使用,它要与挠性膜片:
测力弹簧配用。
六)波纹管
由整片弹性材料加工而成,是一种壁面具有多个同心环状
波纹,一端封闭的薄壁圆管。波纹管的开口端固定,由此引入
被测压力。在其内腔及周围介质的压差作用下,封闭端将产生
位移,此位移与压力在一定的范围内呈线性关系。在使用时一
般要应用在线性段,也可以在波纹管内加螺旋弹簧以改善特性。
用波纹管作弹性元件的压力计,一般用于测量较低压力或压差。
七)弹簧管
是一根弯成圆弧状的、具有不等轴截面的金属管。常见
的不等轴截面是扁圆和椭圆形。弹簧管的一端封闭并处于
自由状态为自由端,另一端开口为固定端,被测压力由固定端
通人弹簧管内腔。在压力的作用下,弹簧管横截面有变圆的趋
向,弹簧管亦随之产生向外伸直的变形,从而引起自由端位移。
八)霍尔元件用来测量位移1、霍尔效应:
如图,N型半导体薄片尺寸为:L*9*d;磁场B垂直半导体
薄片:半导体薄片通以电流I,内部电子反向(向右)运动。
B
fLbvIUHfE
dL
电子在右移(电流左移)过程中,受到电磁力fL的作用,
电子实际运动方向如图中红色箭头方向。
最终电子在霍尔元件里侧积累,正电荷在外侧积累。形成
纵向电场,该电场阻止电子继续向里侧偏移。
当电子受到的电场力fE和电磁力fL相等时,电子积累达
到动态平衡。此时元件里、外端面间的电场称为:霍尔电场EH,
对应的电势称为霍尔电场UHo
2、霍尔电势大小:
RIBUHHKHIBdRH霍尔常数
控制电流IB磁感应强度RH霍尔元件灵敏度,表示在单位
磁感应KHd
强度和单位控制电流作用下,霍尔电势的大小,是
数,要求越大越好霍尔元件的一个重要参d霍尔元件厚度
3、(1)方向:
控制电流方向改变输出电势UH方向改变;
输出电势UH方向改变;磁场方向改变输出电势UH方向不
变;二者方向均改变(2)霍尔元件尺寸对其性能的影响:一定
范围内,元件厚度d越小,灵敏度越高;
但过小的d将导致元件的输入、输出电阻增加;(3)霍尔
元件符号及命名方法:
II
(4).应用:霍尔元件式弹性压力传感器。
压力敏感电阻弹簧管一端固定,另一端为自由端,安装霍
尔元件,并处于磁极组件的间隙中。磁极组件为两对磁场方向
相反的磁极,在其空隙部分构成线性不均匀磁场。霍尔元件
被自由端带动而在不均匀磁场中移动时,将感受不同的磁
场强度。在霍尔元件的两端通以恒定电流,在垂直于磁场和电
流方向的另两侧将产生霍尔电势,此输出电势即对应于自由端
位移,从而给出被测压力值。这种仪表结构简单,灵敏度高,
寿命长,但对外部磁场敏感,耐振性差。
九)压力传感器
能够检测压力值并提供远传信号(电信号)的装统称为压
力传感器。
♦常见的形式:
应变式、压阻式、电容式、压电式等1)应变效应
即当导体和半导体材料发生机械变形时,其电阻值将发生
变化。
dRdlRlKKsRl
dl:应变,表示金属丝长度的相对变化IdR数,电阻灵敏
度系数KdlR:材料的电阻应变系1
K反映了单位应变引起的电阻相对变化,对于确定的应变
片,该值为一个常数:
对于金属材料:K约为2~6对于半导体材料:K约为
60~180(1)结构
丝式应变片:用金属丝贴在塑料薄膜上、腐蚀等工艺在基
板上加工成的金属箔栅箔式应变片:利用光刻形式的薄膜电
阻
(2)温度误差及补偿方法:
2)压阻效应
*特殊半导体承受应力时
用集成电路工艺直接在硅平膜片上按一定晶向制成扩散压
敏电阻,当硅平膜片某一轴向施加一定应力时,膜片变形使扩
散电阻的电阻率、电阻值发生变化的现象。
3)前者(应变效应)是因为外部的机械形变引起电阻变化,
后者(压阻效应)是由于半导体内部载流子的迁移引起电阻变
化
4)电容式传感器极间介质的介电常数sCs极板面积dd极
板间距将压力引起的弹性元件的位移转换成电容量的变化,实
现压力测量的传感器。
(1)电容式传感器原理
①.变极间距d型:
差动式结构:如图,活动极板位于两个固定极板之间,未
开始测量时,将活动极板调至中间位,此时两边电容相等,设
为CO;测量时,假设中间活动极板右移△(!,则C1C2。
定片②.变面积s型:
♦直线位移式:如图。bd动片
a
ab(aa)bba
电容变化量:Cddd
abaa极板超始遮盖长度b极板宽daa极板超始遮盖长度
a动极板位移d极板间距极板宽ba动极板位移d极板间距
CC灵敏度:KOaa
COKa不能太大。否则,边缘效应将使传感器产生非线
性变化
♦角位移式(略)
③.变介质(介电常数)型:
量可进行介质介电常数测可进行介质厚度测量
5)压电效应
一些结晶材料、高分子材料在压力作用下,内部分子的极
化情况发生变化,使材料表面带电荷,称为压电效应。
这些表面电荷会很快与环境中的杂散电荷或材料内部自由
电荷中和,呈电中性,因此压电效应不能用来检测恒定压力。
但由于电荷中和时间远远大于在压力作用下的极化变化时间,
所以它可以响应动态压力,用于加速度与振动检测。
①.压电式压力传感器原理:
利用压电材料的压电效应将被测压力转换为电信号,实现
动态压力检测,不适宜测量缓慢变化的压力和静态压力。
压电材料制成的压电元件受到压力作用时将产生电荷,当
外力去除后电荷将消失。在弹性范围内,压电元件产生的电荷
量与作用力之间呈线性关系。电荷输出为:
测知电荷量可知被测压力大小。其中:P为压力;S为作用
面积:q为电荷量:k为压电常数。
十)仪表量程选择
2最大被测压力Pmax的测量上限1、被测压力较稳定时:
312、测量脉动压力时:最大被测压力Pmax的测量上限233、
测量高压时:最大被测压力Pmax的测量上限514、被测压力的
最小值Pmin的测量上限3Pmax被测压力最大值根据计算仪表的
上下限被测压力最小值Pmin再按压力仪表的标准系列选定量程
♦若上、下限不能同时满足要求,应首先满足最大工作压
力。
十一)取压点位和取压口形式
为真实反映被测压力的大小,要合理选择取压点,注意取
压口形式。工业系统中设取压点的选取原则遵循以下几条:
①.取压点位避免处于管路弯曲、分叉、死角或流动形成涡
流的区域。不要靠近有局部阻力或其他干扰的地点,当管路中
有突出物体时(如测温元件),取压点应在其前方。需要在阀
门前后取压时,应与阀门有必要的距离。
②.取压口开孔的轴线应垂直设备的壁面,其内端面与设
备内壁平齐,不应有毛刺或突出物。
③・测量液体介质的压力时,取压口应在管道下部,以避免
气体进入引压管;测量气体介质的压力时,取压口应在管道上
部,以避免液体进入引压管。
例一压力容器在正常工作时压力范围为0.4-0.6MPa,要求
使用弹簧管压力表进行检测,并使测量误差小于被测压力的5%,
试确定该表的量程和精度等级。
解:由题知被测压力比较稳定,设弹簧管压力表量程为A,
则选择压力表时,应满足以下关系:2最大工作压力(0.6)
AA0.9MPa31最小工作压力(0.4)AA1.2MPa3
因此,可选用量程范围为(fLOMPa的弹簧压力表。
由题意,被测压力允许的最大绝对误差
max<0.45%=0.02MPa
要求选用仪表的最大引用误差
0.02max<100%2%1.00
按精度等级,可选用1.5级压力表。
第四章机械量测量**填空、判断、简答
一)机械量:
长度、位移、速度、转角、转速、力、力矩、振动等二)
电气式位移测量:
电容式差动电容式自感式差动自感式差动变压器式
1)电容式位移检测方法(1)变极距法:sllCsddd
极间介质的介电常数ab)s极板面积(d极板间距位移
(2)变面积法:极间介质的介电常数sabas极板面积
(ab)Cbbdddd极板间距b对应位移
2)差动电容式位移检测方法两个固定极板之间设可移动极
板。如图
sClsC2dxdxCl
C2
x可见:
采用差动式电路,可明显改善线性,具有较高的
灵敏度,此外,因静电、温度、电源变化等因素引起的误
差也大为减少。
3)自感式
匝数N①.原理图:
铁心线圈衔铁
0②.原理:12d02d磁阻Rms0s0sN20sNL电感
L2dN2ILINRmRm
Lf(s)sN20sL曲线:12dLf(d)d采用差动式电桥电路,如图。
则有:
ss
2ClEdxdx2xECUssC2Cldxdx
图中实线代表理论特性,虚线代表实际特性,两者在
曲线的端部有所差别,即在位移c较小、较大时,曲线线
性差,表明电感式位移检测法的线性范围非常有限。
③,衔铁位移变化时,电感量变化
分析:
电感变化量AL和衔铁位移变化量之间呈线性关
系的前提是忽略高次项,即高次项的存在是产生非线性误
差的原因。
4)差动自感式:
将位移d转换成电信号的差动电感变换如图所示。
随着衔铁的移动,电感口、L2反对称变化,将L1、
L2接入交流电桥电路,实现位移变化的交流电压信号线性
输出。
分析:
设初始时,衔铁处于中间位,即dl=d2=d0;两个单
线圈的参数完全相同,即LI=L2ao.
当衔铁移动时,一个线圈电感量增加,另加一个减
少,设L1增加,L2减少。
222N0sN0sN0sllLLlL22(dOx)2(dOx)2d01xlxd0d02L0
xLx相对变化量22xx2L0d0d0d0d0
N0sN0sN0sllLLlL22(dOx)2(dOx)2d01xlxd0d0xLx2L0相对
变化量22x2L0d0xd0d0d0222相对变化量和单线圈自感式比
较:
①.灵敏度提高一倍,即衔铁位移相同,输出信号大一倍②.
非线性量的偶次项为零,即非线性特性得到改善;③,温度变化、
电源变化、外界干扰等共模信号对传感器精度的影响,能通过
差动方式互相抵消而减少。
5)差动变压器位移检测
(1)结构:实质为互感式位移传感器。
(2)原理:
被测对象位移变化,带动铁心移动,一次线圈和上下对称
的两个二次线圈之间的互感应随铁心的位而发生变化。
将两个二次线圈反向串联,其输出电势和铁心位移关系
xx3x5Lx22d...x2L0dd000d0d0
为差动方式。在铁心位于中央位时,差动信号输出电压为
零;为当铁心因位移而偏离中央位时,差动信号的输出为与位
移成正比的交流电压。其波形关系:
三)光栅标尺结构:
①.标尺光栅G1:②.指示光栅G2:③.光源、透镜:④.光
电元件SI、S2:
输出信号大小和接收光线强弱有近似线性关系。
1)测量位移2)测量原理
固定G2,G1随被测对象移动,G1每移动一个栅距,SK
S2都输出一个周期的近似正弦波形,通过对G1波形整形,对
整形脉冲计数,反映位移。
3)辨向原理
G2上、下两排光栅错位(1/4)p,使得SI、S2输出信号也
错位(1/4)周期,用于判断移动方向:1G1右移时:S1相
位超前S2相位周期4G1左移时:S1相位滞后S2相位1周期
4
四)莫尔条纹标尺结构:
在光栅标尺的基础上,将G2、G1的光栅刻线错开一个很小
的夹角Gl、G2片间留有很小的间隙。如图:
莫尔条纹:
光源照射时,在近似于垂直G2栅线方向上出现明暗相间的
条纹,称为莫尔条纹。
其中:
pa-a线:两光栅栅线彼此重合,亮带莫尔条纹间距:W光
线从缝隙中通过b-b线:两光栅栅线彼此错开,光线通不过暗
1)测量位移2)测量原理
当G1左右移动一个栅距,则莫尔条纹上下移动一个条纹间
距。通过测定移过的莫尔条
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