洁净室设计综合规范

中国国家标准

洁净厂房设计规范

编制说明

本规范是依据原国家基础建设委员会（78）建发设字第562号文要求，由

我部负责主编。具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、

航空工业部第四计划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第

五设计研究院、中国船舶工业总企业第九设计研究院、航天工业部第六设计研究

院、化工部第六设计院、中国有色金属总企业北京有色治金设计研究总院、中国

建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。

在编制过程中，规范编制组进行了广泛调查研究，认真总结了中国洁净厂

房建设和使用实践经验，组织相关单位开展了必需科学试验研究工作，并广

泛地征求了全国相关单位意见。最终，由我部会同相关部门审查定稿。

本规范共分八章和七个附录，关键内容有：总则、空气洁净度等级、总体

设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。

鉴于本规范系首次编制，实施过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，

认真总结经验，如发觉需要修改和充实之处，请将意见和相关资料寄交我部第十

设计研究院，以供以后修订时参考。

电子工业部

一九八四年八月二十七日

目录

第一章总则

第二章空气洁净度等级

第三章总体设计

第一节洁净厂房位置选择和总平面部署

第二节工艺部署和设计综合协调

第三节噪声控制

第四节微振控制

第四章建筑

第一节通常要求

第二节人员净化和物料净化设施

第三节防火和疏散

第四节室内装修

第五节装配式洁净室

第五章空气净化

第一节通常要求

第二节洁净室正压控制

第三节气流组织和送风量

第四节空气净化处理

第五节采暖通风

第六节风管和附件

第六章给水排水

第一节通常要求

第二节给水

第三节排水

第四节消防设施

第七章工业气体管道

第一节通常要求

第二节管道材料、阀门和附件

第三节管道连接和清洗

第四节安全技术

第八章电气

第一节配电

第二节照明

第三节控制、通信和防护

附录一名词解释

附录二洁净室空气洁净度测试

附录三洁净厂房生产火灾危险性分类举例

附录四净化空气调整系统设计对施工要求

附录五净化空气调整系统设计对维护管理要求

附录六净化空气调整系统风管壁厚

附录七本规范用词说明

第一章总则

第1.0.1条洁净厂房设计必需落实实施国家相关方针政策，做到技术

优异、经济合理、安全适用、确保质量、符合节省能源和环境保护要求。

第1.0.2条本规范适适用于新建和改建、扩建洁净厂房设计，但不适用

于以细菌为控制对象生物洁净室。本规范相关防火和疏散、消防设施章节规

定，不适适用于建筑高度超出24米高层洁净厂房和地下洁净厂房设计。

第1.0.3条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必需根

据生产工艺要求，因地制宜、区分对待,充足利用已经有技术设施。

第1.0.4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运

行发明必需条件。

第1.0.5条洁净厂房设计除应按本规范实施外，尚应符合现行国家标

准、规范相关要求。

第二章空气洁净度等级

第2.0.1条空气洁净度应按表2.0.1要求划分为四个等级。

空气洁净度表2.0.1

等级I每立方米（每升）空气I每立方米（每升）空I

|中20.5微米尘粒数|气中25微米尘粒数|

100级|W35X100(3.5)

1000级|W35X1000(35)1^250(0.25)

10000级|^35X10000(350)|W2500(2.5)

100000级|^35X100000(3500)|W5000(25)

注：对于空气洁净度为100级洁净室内大于等于5微米尘粒计数，应进行数次采

样，当其数次出现时，方可认为该测试数值是可靠.

第2.0.2条洁净室空气洁净度等级检验，应以动态条件下测试尘粒

数为依据。洁净室空气洁净度测试，应符合附录二要求。

第三章总体设计

颂&第一节洁净厂房位置选择和总平面部署

第3.1.1条洁净厂房位置选择，应依据下列要求并经技术经济方案比

较后确定:

一、应在大气含尘浓度较低，自然环境很好区域；

二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道和散发大量粉尘和有害气体

工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰区域，如不能远离严重

空气污染源时，则应在其最人频率风向上风侧，或整年最小频率风向下风侧；

三、应部署在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越地域。

第3.1.2条对于兼有微振控制要求洁净厂房位置选择，应实际测定

周围现有振源振动影响，并应和精密设备、精密仪器仪表许可环境振动值进行

分析比较。

第3.1.3条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房和烟囱之

间水平距离不宜小于烟囱高度12倍。

第3.1.4条洁净厂房和交通干道之间距离不宜小于50米。

第3.1.5条洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路）。如

有困难时，可沿厂房两个长边设置消防车道。

第3.1.6条洁净厂房周围道路面层，应选择整体性好、发尘少材新。

第3.1.7条洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘浓

度不产生有害影响树木，并形成绿化小区，但不得防碍消防操作。

幽&第二节工艺部署和设计综合协调

第3.2.1条工艺部署应符合下列要求:

一、工艺部署合理、紧凑。洁净室或洁净区内只部署必需工艺设备和有

空气洁净度等级要求工序和工作室；

二、在满足生产工艺要求前提下，空气洁净度高洁净室或洁净区宜靠近空

气调整机房；空气洁净度等级相同工序和工作室宜集中部署；靠近洁净区入口处

宜部署空气洁净度等级较低工作室；

三、洁净室内要求空气洁净度高工序应部署在上风侧易产生污染工艺设

备应部署在靠近回风口位置；

四、应考虑大型设备安装和维修运输路线，并预留设备安装口和检修口；

五、应设置单独物料入口，物料传输路线应最短，物料进入洁净区之前必

须进行清洁处理。

第3.2.2条洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可给予分隔：

一、按生产火灾危险性分类，甲、乙类和非甲、乙类相邻生产区段之间，

或有防火分隔要求者；二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和

有害气体，且不能采

取局部方法加以控制者；

三、生产联络少，并常常不一样时使用两个生产区段之间。

第3.2.3条洁净厂房平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料

净化和其它辅助用房进行分区部署。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、

气流组织型式、管线部署和净化空气调整系统等多种技术设施综合协调效果。

笫3.2.4条洁净厂房设计必需合理确定多种管线平面位置和坚向标高。

第3.2.5条洁净厂房内多种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、多

种管线等）部署，宜首先考虑净化空气调整系统要求。

@@&第三节噪声控制

第3.3.1条洁净室内噪声级，应符合下列要求：

一、动态测试时，洁净室内噪声级不应超出70分贝A。

二、空态测试时，乱流洁净室噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室噪

声级不应大于65分贝Ao

注：①因为技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声

级可合适放宽，但小宜大于75分贝A；

②上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）测量值。对于

变动噪声，则取相同位置处于一个正常工作口内等效连续声压级。第3.3.2

条洁净室噪声频谱限制，应采取倍频程声压级；各频带声压

级值不宜大于表3.3.2要求。

噪声频谱限制表3.3.2

IIIIIIIII

-1

I倍频程\中心频IIIIIIIII

|'高声'率|63|125|250|500|1000||4000|8000|

I洁净\压值\（赫）IIIIIIIII

I室分类,（分贝）I

T

I空态I乱流|79|70|63|58|55|52|50|40|

||层流|83|74|68|63|60|57|55|54|

I----------1---------1——I——I——I——I——

T

|动态|87|78|72|68|65|62|60|59|

第3.3.3条洁净厂房平、剖面部署，应考虑噪声控制要求，其围护

结构应有良好隔声性能，并宜使各部分隔声量相靠近。

第3.3.4条洁净室内多种设备均应选择低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净

室许可值设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。

第3.3.5条净化空气调整系统噪声超出许可值时，应采取隔声、消声、

隔振等控制方法。

除事故排风外,应对洁净室内排风系统进行减噪设计.

第3.3.6条净化空气调整系统，依据室内噪声级要求，风管内风速宜

按下列要求选择：

一、总风管为6—10米/秒;

二、无送、回风口文风管为6〜8米/秒；

三、有送、回风口文风管为3〜6米/秒。

第3.3.7条洁净厂房噪声控制设计必需考虑生产环境空气洁净度要

求，不用因控制噪声而影响洁净室净化条件。

@@&第四节微振控制

第3.4.1条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动设备（包含水泵

等）及其通往洁净室管道，应采取主动隔振方法。

第3.4.2条对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房综合振动

影响。如受条件限制，也可依据经验对综合振动影响进行评价。并应和精密设备、

精密仪器仪表许可环境振动值进行比较，以确定对其采取必需田振方法。

第3.4.3条精密设备、精密仪器仪表隔振方法，应考虑降低发尘量、

保持洁净室内合理气流组织等要求。当采取空气弹簧隔振台座时，应对气温进行

处理，使其达成洁净室空气洁净度等级。

第四章建筑

@@&第一节通常要求

第4.1.1条洁净厂房建筑平面和空间布局，应含有合适灵活性。洁

净区主体结构不宜采取内墙承重。

第4.1.2条洁净室高度以净高控制，净高应以100毫基础模数。

第4.1.3条洁净厂房主体结构耐久性和室内装备和装修水平相协调,

并应含有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计要求）。

厂房变形缝应避免穿过洁净区。

第4.1.4条送、回风管和其它管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹

道或地沟等；穿越极层竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。

第4.1.5条对兼有通常生产和洁净生产综合性厂房，其方案设计和构

造处理，应避免在人流和物流运输和防火方面对洁净生产带来不利影响。

眺&第二节人员净化和物料净化设施

第4.2.1条洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根

据需要设置生活用室和其它用室。

第4.2.2条人员净化用室，宜包含雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣

室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。

厕所、淋浴室、休息室等生活用室和工作服清洗间和干燥间等其它用室，可依

据需要设置。

第4.2.3条人员净化用室和生活用室设计，应符合下列要求：

一、人员净化用室入口处，应设净鞋器。

二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置“外衣存衣柜和洁净工作服柜应按

设计人数每人设一柜。

三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。

四、洁净区不得设厕厅。人员净化用室内厕所应设前室。

五、空气吸淋室应设在洁净区人员入口处，并应和洁净工作服室相邻。单人

空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时，可

改

设气闸室。

洁净区工作人员超出5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。

第4.2.4条人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室部署，

通常按图4.2.4人员净化程序进行部署。

第4.2.5条依据不一样空气洁净度等级和工作人员数量，洁净厂房内人

员净化用室和生活用室建筑面积应合理确定。通常可按洁净区设计人数平均每

人4〜6平方米计算。

第4.2.6条洁净工作服室内，对空气净化应有一定要求。

第4.2.7条洁净室设备和物料出入口，应依据设备和物料性质、形

状等候征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室部署，应预防净化后物料

在传输过程中被污染。

@@&第三节防火和疏散

第4.3.1条洁净厂房耐火等级不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体，

其耐火极限不宜小于0.25小时。

第4.3.2条洁净厂房内通常生产工作间火灾危险性，可按附录三进

行分类。

第4.3.3条甲、乙类生产洁净厂房，宜采取单层厂房。其防火墙间最

大许可占地面积，单层厂房应为3,000平方米，多层厂房应为2,000平方米。

第4.3.4条甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中装配式洁净室，

其顶棚和壁板（包含内部填充物）应为非燃烧体。

第4.3.5条在一个防火区内综合性厂房，其洁净生产和通常生产区域

之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其对应顶板耐火极限不应低于1小

时，隔墙上门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板管线周围空隙

应采取非燃烧材料紧密填塞。

第4.3.6条技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井

壁上检验门耐火极限不应低于0.6小时；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应

采取相当于楼板耐火极限非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔管线

周围空隙，应采取非燃烧材料紧密埴塞。

第4.3.7条洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区安全出

口数量，均不应少于两个。但符合下列要求者，可设置一个安全出口：

一、甲、乙类生产厂房每层总建筑面积不用过50平方米，且同一时间内

生产人员总数不用过5人；

二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行《建筑设计防火规范》要求

者。

安全出口应分散均匀部署，从生产地点至安全出口不用经过曲折人员净化

路线。

第4.3.8条洁净区和非洁净区和洁净区和室外相通安全疏散门应向疏

散方向开启。安全疏散门不得采取吊门、转门、侧拉门和电控自动门。第4.3・9

条当洁净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房洁净区门窗，

其洞口间距大于80米时，则应在该段外墙合适部位设置专用消防口。

专用消防口宽度不应小于750毫米，高度不应小于1800毫米，并应有显著

标志。

楼层专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬楼。

@@&第四节室内装修

第4.4.1条洁净厂房建筑围护结构和室内装修，应选择气密性良好，

且在温度和湿度等改变作用下变形小材料。墙面内装修当需附加结构骨架和保

温层时。应采取非燃烧体或难燃烧体。

第4.4.2条洁净室内墙壁和顶棚表面，应符合平整、光滑、不起灰、

避免眩光、便于除尘等要求；应降低凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采取

于操作；如为抹灰时，应采取高级抹灰标准。

第4.4.3条洁净室地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚

静电、避免眩光、并有舒适感等要求。

第4.4.4条洁净厂房技术夹层墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内

更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。

地面、回风地沟和在地下技术夹层，应采取防水或防潮、防霉方法。

建筑风道和回风地沟内表面装修标准，应和整个送、回风系统相适应，并应易

于除尘。

第4.4.5条洁净室和人员净化用室设置外窗，应采取双层玻璃金属窗，

并应有良好气密性。

第4.4.6条洁净室内密闭门宜朝空气洁净度较高房间开启。无窗洁

净室密闭门上宜设观察窗。

第4.4.7条洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面结构和施工缝隙，

均应采取可靠密封方法。

第4.4.8条洁净室内色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料光反射系数，

顶棚和墙面宜为0.6-0.8；地面宜为0.15—0.350

@@&第五节装配式洁净室

第4.5.1条在新建或改建洁净厂房设计中，龙于面积不大、层高较低、

要求空气洁净度较高生产环境可采取装配式洁净室。

第4.5.2条装配式洁净室所在房间应有空气净化要求，并应和装配式洁

净室空气洁净度等级相适应。外围建筑耐火等级不得低于二级。

第4.5.3条装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室本身内壁板或支柱支承，

也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑地面以下。

第4.5.4条装配式洁净室设计应满足在该室室内安装壁板要求。装配

式洁净室构配件应做到：连接结构整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、

包装和运输。

第4.5.5条装配式洁净室四面壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外

围建筑墙壁。紧贴时，壁板和墙壁之间安装缝隙应封闭；靠近时，应留有清

扫距离。当装配式洁净室时，壁板外侧设有技术夹道时.，壁板和外围建筑内墙面

之间净宽不宜小于600毫米。

第五章空气净化

第一节通常要求

第5.1.1条洁净厂房内各洁净室空气洁净度等级确实定，应符合下列

要求：

一、洁净室内有多个工序时，应依据各工序不一样要求，采取不一样空气洁

净度等级。

二、在满足生产工艺要求前提下，洁净室气流组织，宜采取局部工作

区空气净化和全室空气净化相结合形式。

第5.1.2条层流洁净室和乱流洁净室和运行班次和使用时间不一样洁

净室，其净化空气调整系统均宜分开设置。

第5.1.3条洁净室内计算温、湿度，应符合下列要求：

一、满足生产工艺要求；

二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20〜26℃,湿度小于70%；

三、人员净化用室和生活用室温度为16—28℃。

第5.1.4条洁净室内应确保一定新鲜空气量，其数值应取下列风量中

最大值：

一、乱流洁净室后送风量10—30%,层流洁净室总送风量2〜4%；

二、赔偿室内排风和保持室内正压值所需新鲜空气量；

三、确保室内每人每小时新鲜空气量大于40立方米。

第5.1.5条洁净区清扫，宜采取移动式高效真空吸尘器或设置集中式

真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统管道，应暗敷。

第5.1.6条在净化空气调整系统设计中，对施工和维护管理要求，可按

附录四和附录五要求。

幽&第二节洁净室正压控制

第5.2.1条洁净室必需维持一定正压。不相同级洁净室和洁净区

和非洁净区之间静压差，应大于0.5亳米水柱；洁净区和室外静压差，不

应小于1.0毫米水柱。

第5.2.2条洁净室维持不一样正压值所需正压风量，宜按下式计算：

Q=a.L(q.L)(5.2.2)

式中Q一维持洁净室正压值所需正压风量(立方米/时)，

a一依据围护结构气密性确定安全系数，可取1.1—1.2；

q一当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙渗漏风量(立方

米/时・米）；

L一围护结构缝隙长度（米）。

第5.2.3条围护结构单位长度缝隙渗漏风量可按表5.2.3采取。

围护结构单位长度缝隙渗漏风量表5.2.3

漏风'门窗I|密|单层|单层I单层|传输I壁板I

'量（'形I非密I闭I固定I固定I开启I窗II

压差'米'3'式|闭门|门|密闭|密闭|式密|||

差（毫V时\II|木窗|钢窗|闭钢|||

米水柱）'米）IIIII窗III

0.5|17|4|1.0|0.7|3.5|2.0|0.3|

1.0|24|6|1.5|1.0|4.5|3.0|0.6|

-----------------------1-------1-I---------1----------1---------1---------1---------1I1.5|30

8|2.0|1.3|6.0|4.0|0.8|

2.0|36|9|2.5|1.5|7.0|5.0|1.0|

2.5|40|10|2.8|1.7|8.0|5.5|1.2|

3.0|44|11|3.0|1.9|8.5|6.0|1.4|

3.5|48|12|3.5|2.1|9.0|7.0|1.5|

4.0|52|13|3.8|2.3|10.0|7.5|1.7|

4.5|55|15|4.0|2.5|10.5|8.0|1.9|

5.0|60|16|4.4|2.6|11.5|9.0|2.0|

第5.2.4条送风、回风和排风系统启闭应联锁。系统开启时，联锁程

序应为先开启送风机，再开启回风机和排风机；系统关闭时，则联锁程序应相反。

第5.2.5条非连续运行洁净室，可依据生产工艺要求在置值班风机，

并应对新风进行处理。

@@&第三节气流组织和送风量

第5.3.1条气流组织选择，应符合下列要求：

一、洁净工作区气流速度，应满足空气洁净度和人体健康要求来。并应

使洁净工作区气流流向单一;

二、回风口宜均匀部署在洁净室下部；

三、余压阀宜设在洁净室气流下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。

第5.3.2条洁净室气流组织和送风量，宜按表5.3.2选择。

气流组织和送风量表5.3.2

空气洁净|100级|1000级|

度等级III

I气流流型|垂直层流|水平层流|乱流|

气I--------------------1--------------------------1--------------------------1-------------------

流I送凤门.顶棚满布高效I1.送风墙满布高门.孔板顶棚送风I

组I关键I空气过滤器送风I效空气过滤器I2.条形部署高效|

织I方法I（高效空气过I水平送风I空气过滤器顶棚|

形II滤器占顶棚面积I2.送风墙局部布|送风|

式||大于60%）|置高效空气过滤|3.间隔部署带扩|

III器水平送风|散板高效空气I

II2.侧布高效空气|（高效空气过滤|过滤器顶棚送风|

II过滤器，顶棚设|器占送风墙面I|

I阻尼层送风|积大于40%）||

I3.全孔板顶棚送|||

IHIII

回风11.格栅地面回风I1.回风墙满布IL相对两侧墙下|

关键I⑴满布I回风口I部均匀部署回|

方法|⑵均匀局部部署|2.回风墙局部布|风口|

I2.相对两侧墙下|置回风口|2.洁净室面积较|

I部均匀部署回II大时，可采取I

|风口||地面均匀部署|

III回风口I

送I气流流经室I大于0.25|大于0.35||

风I内断面风速1111

量I（米/秒）1111

I换气次数III大于50|

I（次/时）IIII

送风口风速|孔板孔3〜5||孔板孔口3〜5|

（米/秒）1111

I回风口风速|小于2|小于1.511.洁净室内回风|

I（米/秒）III口小于2|

IIII2.走廊内回风口|

IIII小于4|

।।।।।

注：1.垂直层流洁净室采取相对两侧墙下部均匀部署回风口方法，仅适适用于

两对侧

侧墙间距小于5米.

2.乱流洁净室送风量确实定，宜考虑室内含尘浓度不均匀扩散原因.

空气洁净I10,000级|100,000级|

等级III

气|气流流型|乱流|乱流|

流I------------------1-------------------------------------1-----------------------

组I送风|1.局部孔板顶棚送风11.带扩散板高效空气过|

织I关键I2.带扩散板高效空气过|滤器顶棚送风|

型I方法I滤器顶棚送风I2.上侧墙送风|

式I|3.上侧墙送风||

回风I1.单侧墙下部部署回风口I1.单侧墙下部部署回风口I

关键|2.当采取走廊回风时，在|2.当采取走廊回风时，在|

方法I走廊内均匀部署回风口或I走廊内均匀部署回风口或|

I在走廊端部集中设置回I在走廊端部集中设置回I

I风口I风口I

送|气流流经室|||

风I内断风面风III

量I速III

I（米/秒）III

I换气次数I大于25|大于15|

I（次/时）III

送风口风速|1.孔板孔口3〜5|侧送风口|

（米/秒）|2.侧送风口|⑴贴附射流2〜5|

I⑴贴附射流2〜5|⑵非贴附射流同侧墙下部|

I⑵非贴附射流同侧墙下部I回风1.5〜2.5,对侧墙|

|回风1.5〜2.5,对侧墙|下部回凤1.0〜1.5|

|下部回凤1.0〜1.5||

回风口风速|1.洁净室回风口小于2|1.洁净室回风口小于2|

（米/秒）I2.走廊内回风口小于4|2.走廊内回风口小于4|

第5.3.3条乱流洁净室送风量，应取下列要求最大值：

一、为控制室内空气洁净度所需要送风量；

二、按表5.3.2要求送风量；

三、依据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需送风量：

四、按空气平行所需要送风量。

第5.3.4条当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达成更高空气洁

净度时，其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室不一样区

域形成不一样气流流型和空气洁净度等级洁净工作区，其型式可分别按图5.3.

4—1、图5.3.4—2选择。

第5.3.5条层流洁净室内不宜设置洁净工作台；乱流洁净室内可设置洁

净工作台，但其位置应远离回风口。

第5.3.6条洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流下风侧。

一鲍&第四节空气净化处理

第5.4.1条各等级空气洁净度空气净化处理，均应采取初效、中效、

高效空气过滤器三级过滤。

注：100,000级空气净化处理,可采取亚高效空气过滤器替换高效空气过滤器。

第5.4.2条确定集中式或分散式净化空气调整系统时，应综合考虑生产

工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等原因。凡生产工艺连续、洁净室

面积较大、位置集中和噪声控制和振动控制要求严格洁净室，宜采取集中式

净化空气调整系统。

第5.4.3条净化空气调整系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大

量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其它工序有危害时，则不应利用回

风。

第5.4.4条净化空气调整系统除直流式系统和设置值班风机系统外，

应采取预防室外污染空气经过新风口渗透洁净室内防倒灌方法。

第5.4.5条空气过滤器选择、部署和安装方法，应符合下列要求：

一、初效空气过滤器不应选择浸汕式过滤器

二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调整系统正压段；

三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调整系统末端；

四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选择;

五、阻力、效率相近高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内；六、高效空气过

滤器安装方法应简便可靠，宜于检漏和更换。

第5.4.6条送风机可按净化空气调整系统总送风量和总阻力值进行选

择。中效、高效空气过滤器阻力宜按其初阻力两倍计算。

第5.4.7条净化空气调整系统如需电加热时，应选择管状电加热器，位

置应部署在高效空气过滤器上风侧，并应有防火安全方法。

@@&第五节采暖通风

第5.5.1条洁净室采暖型式，应按下列不一样情况确定：

一、100级、1000级、10,000级洁净室，小应采取散热器采暖；100,000级

洁净室，不宜采取散热器采暖。

二、值班采暖可利用技术夹道散热器进行间接采暖，或采取间歇运行净化

空气调整系统、值班风机系统进行热风采暖。

第5.5.2条散热器应采取表面光滑、不易积尘、便于清扫型式。

第5.5.3条洁净室内产生粉尘和有害气体工艺设备，应设局部排风装

置，排风罩操作口面积应尽可能缩小。

第5.5.4条局部排风系统在下列情况下，应单独设置：

一、非同一净化空气调整系统；

二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；

三、所排出有害物毒性相差很大。

第5.5.5条洁净室排风系统设计，应采取下列方法：

一、防倒灌方法；

二、含有易燃、易爆物质局部排风系统防火、防爆方法。

第5.5.6条换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风

方法。其室内静压值，应低于洁净区。

第5.5.7条洁净室事故排风系统换气次数，应采取每小时15〜20次。

事故排风装置控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作地点，并应和净

化空气调整系统联锁，其室内宜设报警装置。

颂&第六节风管和附件

第5.6.1条风管断面尺寸确实定，应考虑能无•风管内壁进行清洁处理，

并在合适位置设置密闭清扫口。风管壁厚按附录六选择。第5.6.2条净化空

气调整系统新风管、回风总管，应设置密闭调整阀。

送风机吸入口处和需要调整风量处，应设置调整阀。洁净室内排风系统，应

设置调整阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必需设置

防火阀。

第5.6.3条净化空气调整系统风管和调整阀和高效空气过滤器保

护网、孔板和扩散孔板等附件制作材料和涂料，应依据输送空气洁净要求及

其所处空气环境条件确定。

洁净室内排风系统风管、调整阀和止回阀等附件制作材料和涂料，应根

据排除气体性质及其所处空气环境条件确定。

第5.6.4条在中效和高效空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管

和送回风总管和需要调整风量支管上，应设置风量测定孔。

第5.6.5条排除腐蚀性气体风管，可采取塑料风管。其它风管和风

管保温和消声材料及其粘结刑，应采取非燃烧材料或难燃烧材料。

第六章给水排水

第一节通常要求

第6.1.1条洁净厂房内给水排水干管，应敷设在技术夹层、技术竖井、

地沟管槽内或地下埋设。

洁净室内应少敷设管道。引入洁净室支管宜明敷，但对空气洁净度等级要求高

洁净室可暗敷。

第6.1.2条洁净厂房内管道外表面，如可能结露，应采取防结露方法。

第6.1.3条管道穿过洁净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道和套管

之间应采取可靠密封方法。

第5.1.4条管道不宜穿过防火墙。如必需穿过时，穿墙管及其套管应为

非燃烧体管材。

@@&第二节给水

第6.2.1条洁净厂房内给水系统设计，应依据生产、生活和消防等各

项用水对水质、水温、水压和水量要求，分别设置直流、循环或反复利用给

水系统。高纯水系统应设置循环管道。

第6.2.2条管材选择，应符合下列要求：

一、纯水管、高纯水管应采取硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管；

二、冷却循环给水和回水管宜采取镀锌钢管；

三、生产用水设备和管道连接宜采取优质软管；

四、管道配件应采取本应材料。

第6.2.3条洁净厂房内可设置开水供给设施；盥洗室内盥洗盆宜供给

热水；软化水、纯水管适应预留清洗口；纯水终端净化装置应放在靠近用水点处。

第6.2.4条洁净厂房周围，应设置洒水设施。

幽&第三节排水

第6.3.1条洁净厂房排水系统设计，应依据生产排出废水性质、浓

度、水量等特点确定排水系统，并应有废水处理或综合利用设施。第6.3.2

条洁净室内排水设备和和重力回水管道相连接设备，必

须在其排出口以下部位设水封装置.，并应有预防水封被破坏设施。

第6.3.3条100级、1000级洁净室内，不宜设置地漏；如必需设置时，应

采取有盖地漏，并不应设排水沟。10,000、100,000级洁净室内许可穿过排水

蜕管，但在竖管上不得设置检验口。

第6.3.4条洁净厂房内应采取不易积存污物、易于清扫卫生器具、管

材、管架及其附件。

@@&第四节消防设施

第6.4.1条洁净厂房应依据生产火灾危险性分类和建筑物耐火等级等

原因确定消防设施。

第6.4.2条洁净厂房室内消火栓给水系统消防用水量不应小于10升/

秒，每股水量不应少于5升/秒；

第6.4.3条洁净厂房消火栓设置，应符合下列要求：

一、消火栓水枪充实水柱，不应小于10米。

二、消火栓栓口直径应为65毫米，配置水带长度不应超出25米，水枪喷

嘴口径不应小于19毫米。

第6.4.4条洁净室及其技术夹道和技术夹层内，均宜同时设置卤代烷或

二氧化碳等灭火设施和消防给水系统。对设有珍贵设备仪器或生产火灾危险性

较大洁净室，和当火灾发生时消防人员难以进入扑救技术夹层和技术夹道等部

位，应同时设置卤代烷或二氧化碳等固定灭火装置和消防给水系统。

第七章工业气体管道

@@&第一节通常要求

第7.1.1条工业气体管道干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢

气和氧气管道宜明敷；如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好通风措

施。引入洁净室支管宜明敷。

第7.1.2条高纯气体管道设计，应附合下列要求

一、依据计算确定管径；

二、管道系统应尽可能短；

三、不宜设预留口；

四、不应出现“盲管”等不易吹除部位；

五、干管和支管上应设置吹除口；/,、、在管道系统上应设置必需取样口。

第7.1.3条穿过洁净室墙壁或楼板气体管道，应敷设在预埋套管内，

套管内管段不应有焊缝。管道和套管之间应采取可靠密封方法。

第7.1.4条氢气和氧气管道末端或是高点宜设放散管。放散管应高出

屋脊1米，并应设在防雷保护区内。

第7.1.5条气体净化装置应依据气源和生产工艺对气体纯度要求进行

选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。

第7.1.6条气体过漉器应依据生产工艺对气体含尘量要求进行选择。

高纯气体管道应装设高气体过滤器。

@@&第二节管道材料、阀门和附件第7.2.1条依据不一样气体及其纯度和

用途，管道材料应按下列要求选

用：

一、气体纯度大于或等于99.999%时，应采取不锈钢管；

二、气体纯度大于或等于99.99%时，直采取不锈钢管、铜管、无缝钢管；

三、气体纯度小于99.99%时，可采取无缝钢管;

四、管道和设备连接段，宜采取金属管道；如为非金属软管时，宜采取聚

四筑乙烯管、聚乙烯管，不得采取乳胶管。

第7.2.2条高纯气体管道应采取密封性能好阀门和附件，其材料和管

道相适应。阀门密合圈应为有色金属、锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门填塞料

应采取聚四氟乙烯材粕。

第7.2.3条高纯气体管道和附件连接密封垫，应采取不锈钢、有色金属、

聚四氟乙烯或氟橡胶材料。

幽&第三节管道连接和清洗

第7.3.1条管道连接应采取焊接。高纯气体管道应采取承插焊。

第7.3.2条管道和设备、阀门连接处，宜采使用方法兰、螺纹或其它密封

性能优良连接件。螺纹处宜采取聚四氟乙烯带密封。

第7.3.3条高纯气体管道内内壁、阀门和附件在安装前，应进行清洗、

脱脂等预处理。

@@&第四节安全技术

第7.4.1条工业气体管道设计安全技术，应符合下列要求：一、氢气管道支

管和放散管上，应设置回火预防器；

二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置.；

三、多种气体管道应设显著标志。

第7.4.2条洁净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。

第7.4.3条多种气瓶应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超出一瓶

时，气瓶可设置在洁净室内。

第八章电气

幽&第一节配电

第8.1.1条洁净厂房电力负荷等级，应依据生产工艺要求确定。净化

空气调整用电负荷、照明负荷，应由变电所专线供电。

第8.1.2条电源进线（不包含消防用电）应设置切断装置，并宜设在非

洁净区便于管理地点。

第8.1.3条洁净室内配电设备，应选择不易积尘设备，并宜暗装。

大型配电设备不宜设在洁净室内。

第8.1.4条洁净室内电气管线宜暗敷，管材应采取非燃烧材料。由非

洁净区进入洁净区电气管线管口，应采取可靠密封方法。

@@&第二节照明

第8.2.1条洁净室内照明光源，宜采取荧光灯。如达不到照明设计

技术经济指标要求时，也可采取其它光源。

第8.2.2条洁净室内通常照明灯具宜明装。如灯具嵌入顶棚暗装时，其

安装缝隙应采取可靠密封方法。

洁净室内不应采取格栅型灯具。第8.2.3条无采光窗洁净区工作面上照度值,

不应低于表8.2.3规

定数值。

无采光窗洁净区工作面上照度值表8.2.3

识别对象I视觉工作分类I亮度I照度（勒克斯）I

最小尺、JI---------------------1对比I------------1------------1

d（毫米）|等级||混合|通常|

及场所III照明I照明I

dWO.15|I|甲|小|2500|500|

I|乙|大|1500|300|

--------------1-I----------1——I--------

0.15WdW0.3门I|甲|小|1000|300|

I|乙|大|750|200|

0.8WdW0.6|HI|甲|小|750|200|

I|乙|大|750|150|

d>0.6|IV|||750|150|

I通道、休息室IIIII100I

I暗房工作室||||I30I

第8.2.4条无采光窗洁净区混合照明中通常照明，其照度值应该按等

级混合照明照度值10—15%采取，并不应低于150勒克斯。

第8.2.5条洁净厂房内应设置供人员疏散用事故照明。在应急安全出

口和疏散通道转角处应设置标志灯。在专用消防口处应设置红色应急照明灯。

第8.2.6条洁净室内通常照明照度均匀度不应小于0.7。

眺&第三节控制、通信和防护

第8.3.1条洁净厂房净化空气调整控制系统，应满足生产工艺对温度、湿度

和正压要求。净化空气调整系统所采取电加热器，应设置无风断电保护。

第8.3.2条洁净厂房内应设置和厂房内外联络通信装置。

第8.3.3条洁净厂房（包含技术夹层）应单独或组合设置感温、感光、

感烟等形式火灾探测器。报警器（受讯台）应设置在有些人值班地点，供电应

可靠。

第8.3.4条洁净区内应设紧急按钮。如发生火灾危险时，应能发出报警

信号，并应同时切断风机电源。

附录一名词解释

序I本规范用名词I曾用名词I解释I

1I洁净室II依据需要，对空气中尘粒、I

III温度、湿度、压力和噪声I

III进行控制密闭空间，并I

III以其空气洁净度等级符合I

III本规范要求为关键特征I

2|洁净区|净化区|由洁净室所组成区域|

3|人身净化用室|人净生活|洁净区工作人员在进入洁|

II间I净区之前按一定程序进行I

III净化辅助用室I

4|物料净化用室||物料在进入洁净区之前按一|

III定程序进行净化辅助用室I

5|技术夹层|管道夹层|关键以水平构件分隔组成|

II技术阁楼I供安装管线等设施使用I

III建筑夹道I

6|技术夹道|技术走廊|关键以垂直构件分隔成|

II技术管械I供安装管线等设施使用I

II技术夹墙I建筑夹道I

7|技术竖井||关键以垂直钩件分隔组成|

III供安装竖向管线使用I

III井式建筑辅助空间I

8|建筑风道||以建筑构件组成风道|

9|轻型吊顶|轻吊顶、|以轻型骨架和饰面板材安|

II软吊顶I装组成顶棚I

10I粒径I|指尘粒由某种测定方法测I

III出长度名义尺寸，并不I

III含有具体几何形状意I

III义。当采取光学显微镜测I

III定时，是指尘粒投影经过I

III测微标尺时为标尺刻度线I

III所切两瑞长度I

III当采取光散射式粒子计I

III数器测定时，是指标准尘I

III粒（如聚本烯小球）作散I

III射光强度等效比较而得I

III综合效果I

11I含尘浓度II指单位体积空气中所含悬I

III浮尘粒数量I

12|洁净度||指洁净环境中空气含尘|

III粒多少程度I

13|全室空气净化|全方面净化|经过空气净化等技术方法，|

III使室内整个空间空气含尘I

III浓度达成本规范空气洁净I

III度等级，这种方法称全室空I

III气净化I

14|局部空气净化||仅使室内工作区域特定I

III局部空间空气含尘浓度iAI

III到本规范空气洁净度等级I

III这种方法称局部空气净化I

15|层流洁净室|平行流|在洁净室内，空气以均匀|

III断面速度沿平行流线流动（I

III和流体力学层流概念不完IIIII全相同）I

16|乱流洁净室||在洁净室内，空气以不均匀|

III速度呈不平行流线流动I

17|洁净工作区||指洁净室内（除生产工艺特|

II|殊要求外）离地面0.8〜1.5|

III米高度区域I

18|第一洁净工作||指水平层流洁净室工作区|

I区II内空气洁净度最终工作位|

III置I

19|空气吹淋室、|风淋室、|强制吹除工作人员及其衣|

I通道式空气吹|空气淋|服上附着尘粒设备|

I淋室I浴室I|

20|气闸室||为保持洁净区空气洁净|

III度和正压控制而设置缓冲I

III室I

21|洁净工作服|尼龙服、|为了把工作人员皮肤和|

II无尘服I衣服产生尘粒限于最小程|

III度所使用灰尘量少洁净I

III服装I

22|过滤器额定风||指在一定滤速下，使其效率|

I量II和阻力为最合理时过滤器|

III风量I

23|隧道式洁净室||在洁净室内采取层流罩组|

III成隧道式垂直层流型局I

III部洁净工作区，以部署有较IIIII高空气洁净度要求生产

工I

III序或生产流水线I

24|外围建筑||指安装装配式洁净室所在|

III新建或改建建筑物I

25|气流组织||指对气流流向和均匀度按|

III一定要求进行组织I

26|滤膜显微镜||将测定用薄膜过滤器捕集|

I计数法II到尘粒用显微镜放大后，IIIII观察尘粒大小和数

量方法I

27|纯水|去离子水|指温度25c时，电阻率|

II深度脱盐I大于0.1X10飞欧姆•厘米|

II水I水I

28|高纯水||指温度25°C时，电阻率大于|

I||0.1X10^6欧姆・厘米，水中|

III人于或等于0.5微米尘粒|

III小于300粒/毫升，活微生|

III物小于9个/毫升纯水|

29|纯水终端净|纯水后处|在用水点周围，对水质作进|

I化装置I理设备I一步净化处理装置I

30|高纯气体||指纯度大于或等于|

|||99,9999%,|

III含水量小于5ppm气体|

I31|气体终端净||在用气点周围，对气体作进|

I|化装置II一步纯化处理装置|

I---------1---------------------1---------------1----------------------------------------1I32|高效

气体过II气体经过滤后，达成小于或I

II滤器II等于o.5微米尘粒含量小于|

IIII或等于3.5粒/升气体过|

IIII滤器I

附录二

洁净室空气洁净度测试

一、洁净室空气洁净度，应进行下列测试：

（一）空态、静态测试

空态测试：洁净室已完工，净化空气调整系统已处于正常运行状态，室内没

有工艺设备和生产人员情况下边行测试。

静态测试：洁净室净化空气调整系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装,

室内没有生产人员情况下进行测试。

（二）动态测试

洁净室已处于正常生产状态下进行测试。

二、洁净室风量、风速、正压、温度、湿度、噪声检测，可按通常通用、

空气调整相关要求实施。

三、空态、静态测试

（一）测试前准备

1、应对洁净室及其净化空气调整系统进行根本清洁。

2、采取光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效

空气过滤器上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于0.5微米尘粒数应

为大于或等于30,000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子

计数器（或检漏装置）采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处，能够2〜4厘米

/秒速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。

当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米尘粒超出3粒/分­升（或其

穿透率大于0.01%。）即认为该处有显著渗漏，必需进行堵漏。

（二）测试内容

1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；

2、洁净室压力值；

3、层流洁净室断面风速和气流流向；

4、洁净工作区洁净度；

5、室内温度、湿度及其控制能力调整测试；6、洁净室内噪声。

（三）洁净工作区空气洁净度测试方法

对于粒径大于或等于0.5微米尘粒计数，宜采取光散射粒子计数法。对于

粒径大于或等于5微米尘粒计数。也可采取滤膜显微馍计数法。

光散射粒子计数法：

1、光散射粒子计数器采样量

100级：每次采样量大于或等于1升。

1,000级一10,000级：每次采样量大于或等于0.3升。

100,000级：每次采样量大于或等于0.1升。

对于100级洁净室，宜采取大流量粒子计数器进行测试；

假如条件不含有时，可采取每次采样量大于1升粒子计数那。

2、采样注意事项（1）采样管必需洁净，连接处严禁渗漏。

（2）采样管长度，应依据仪器许可长度。当无要求时，不宜大于1.5

米。

（3）采样管口流速，宜和洁净室断面平均风速相靠近。测试人员应在采

样口下风侧。

（4）采样次序应按含尘浓度从低到高进行。

3、测点部署

（1）检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为

离地面1米。

（2）层流洁净室测点总数大于20点，测点间距为0.5〜2.0米，粒径大

于或等于0.5微米尘粒数许可有一个点超出。水平层流洁净室测点仅部署在第

一洁净工作区内。（3）乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米部署5

个测点（附图2）。

每增加20—50平方米，增加3—5个测点。

4、数据整理

（1）每个测点数据整理应在测试仪器稳定运行条件下连续三次采样,

取其平均值，即为该点实测数值。

（2）对于大于或等于0.5微米尘粒数确定：层流洁净室取各测定点最大

值，乱流洁净室取各测点平均值。

（四）正压值测定应采取精度可达0.01亳米水柱微压计。

四、动态测试。

在洁净工作区操作位置选择有代表性测点气流上风向进行，测试方法同空

态、静态测试。

附录三洁净厂房生产火灾危险性分类举例

生产