CN113689401B 一种直拉硅单晶炉晶棒直径检测方法及其装置 （深圳市霍克视觉科技有限公司）_第1页
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道新田社区大洋路90-14号402(中粮一种直拉硅单晶炉晶棒直径检测方法及其本发明涉及一种直拉硅单晶炉晶棒直径检点对应的左右像点，按三角法计算空间位置坐标，再经矩阵转换改为液面为Z=0的世界坐标后2双摄像头分别同时采集拉晶过程中的左和右获取若干所述同一点实际空间位置坐标并矩阵转换成以液面为z=0平面、以光斑中心对所述左和右光斑平面图像进行边缘检测，对所有封闭边缘计算边缘面积和边缘重每个光斑平面图像选取各自面积最大且重心在图像中心的封闭边缘作为自身特征区在窗口纵向上对所述左和右测量窗口进行等值均分，并分别在按对应相同均分高度和扫描顺序匹配多个同一点，每个同一点只对应3[0003]该技术通过采集固液交界面图像上光斑位置与三条直线间的交点计算晶棒的直[0004]根据正弦公式2R=a/sinA=b/sinB=c/sinC，图像处理装置计算出固液交接面光圈[0010]获取若干所述同一点实际空间位置坐标并矩阵转换成以液面为Z=0平面、以光斑4[0014]对左和右光斑平面图像进行边缘检测，对所有封闭边缘计算边缘面积和边缘重[0015]每个光斑平面图像选取各自面积最大且重心在图像中心的封闭边缘作为自身特左向右或自右向左扫描计算各自边缘梯度最大的点作为左和右待选特征[0020]按照本发明提供的直拉硅单晶炉晶棒直径检测方法，所述光斑是无须外部光源、同一点空间位置坐标，再根据若干同一点空间位置坐标按拟合方程所述左和右像点位置计算对应同一点空间位置坐标的空间位置据若干同一点空间位置进行椭圆或圆方程拟合的5[0041]本发明在单晶炉炉盖上安装两个已经进行过摄像头标定的面阵CCD摄像头，通斑中心为坐标原点的坐标系。6选采用CCD图像传感器，通过单晶炉上的观察窗口进行双目图像采集：左和右光斑平面图[0055]203）分析极限矫正后的图片中光斑区域的位置，得到光斑区域边缘点的像素坐[0056]204）因为CCD1和CCD2两个摄像头视角会有不同，所以边缘点会有不同，在步骤203）中的集合A和集合B中得到同一点对应的CCD1和CCD2极限矫正

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