CN115166810B 一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法 （中国科学院电工研究所）_第1页
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号一种电子束参数测量装置及电子束参数测一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方本发明提供了一种可快速测量的电子束参数测2h为第三通孔上平面至第一通孔上平面的距li为第i个法拉第杯组件中的电子束在上层法拉第杯中束流大小；lzi为第i个法拉第杯组件中的电子束在下层法拉第杯中束流大小；N为法拉第杯的个数；p为相邻两个杯体的中心间距。微器件阵列结构多层板（11所述多层板（11）上设有多个阵列分布的法拉第杯组件第杯贯通设置，电子束经上层所述法拉第杯射入下层所述法拉第杯中，获取每层所述法拉34所述法拉第杯组件包括同轴设置的至少两个法拉第杯，至少两个所述法拉第杯贯通设置，52arccos(θih/d)-θih(d2-θi2h2)1/2=πI2id/2(I1i+I2i)67便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、[0068]法拉第杯外周还设有第二绝缘板4和第三绝缘板6，第二绝缘板4中心位置开设有819

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