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文档简介

电子级水测试方法通则

1范围

本文件规定了电子级水的采样、贮存与运输及报告的格式。

本文件适用于EWⅠ~EW-Ⅳ级电子级水。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T11446.1电子级水

GB/T14666分析化学术语

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级

3术语和定义

GB/T11446.1和GB/T14666界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

在线监测on-linemonitoring

在高纯水生产过程中,选择合适的取样点用仪器直接对水质指标进行测量。

3.2

离线检测off-linetesting

从高纯水系统中采样后,在实验室或专用检测场所进行的非在线检测。

4试剂

4.1水:EW-Ⅰ级;

4.2盐酸:(MOS级)1+1;

4.3硝酸:(MOS级)1+1。

5采样

5.1采样环境

5.1.1采样环境应符合GB/T25915.1-2021中ISO5级要求。

5.1.2采样和样品处理区域应不得使用挥发性有机溶剂,应排除所有可能的污染物。

5.2采样容器

5.2.1盛水的容器(采样瓶)应使用为聚四氟乙烯(PFA)容器,容器盖采用相同的材质。细菌测试的

采样容器应采用一次性灭菌袋。

5.2.2采样前,盛水样的容器应预先用洗净剂清洗干净,再用盐酸(1+1)或硝酸(1+1)浸泡48h(分析

阴离子用的容器除外),然后用EW-Ⅰ级电子级水冲洗干净后,贮满电子级水,将其放入聚乙烯袋中,并在储存过程中密封袋子。聚乙烯袋中的水应每5天更换一次。细菌测试的采样容器应采用一次性灭菌袋。

5.2.3操作容器时需佩戴一次性聚乙烯手套,若接触到受污染表面,应立即更换手套。

5.3在线采样

5.3.1电子级水水样的采集必须选择有代表性的采样点,通常选择在电子级水系统终端过滤器出口。

5.3.2选择适当的材料作为采样管线将样品从采样点输送到测量仪器,采样管线应保证冲洗良好和具备连续的流量(建议冲洗24小时),在采样前45分钟内不要重新调整流量。

5.3.3自动采样器安装时需采取防护措施,初次安装完成后,需要用空白水冲洗,确认冲洗充分后方可使用。

5.3.4通过使用在线测量技术,可以最大限度地减少由于取样过程而产生的误差。样品在运输过程中的停留时间可以影响最终准确性。

5.4离线采样

5.4.1离线采集样品前,将采样容器取样,前倾出水,以待测水反复冲洗后再采样。

5.4.2采集水样前应使制水系统运行一段时间(30min以上),使各装置及系统中的水达到平衡后方

可采样。采样前应开启所有阀门,使各个死角的积水放尽,并经过新鲜水充分冲洗后再采样。采集用于微粒分析的水样时,应保证水样不与空气接触,无颗粒引入。

5.4.3采样体积约为容器体积的3/5~4/5。取样完毕后,应迅速盖上瓶塞。

5.4.4所采集水样的数量应满足试验和复验的需要。供全分析用的水样不得少于3L;供单项分析用的

水样不得少于0.3L。

5.4.5采样人员采样时应戴医用手套、口罩和帽子,操作时不得用手触及水样及瓶塞与水样接触部分。

5.4.6采集用于非碱性痕量金属分析的样品时,应通过向每500mL样品中加入1mLHNO3(MOS级)将

样品酸化至pH小于2。

5.4.7采集用于挥发性有机物分析的样品时,样品瓶需住满至溢出,使液面形成凸液面,瓶盖贴合凸

液面,盖上瓶盖并密封,确保瓶内无空气残留。

5.4.8采集水样后应贴标签,并注明:水样名称、采样人姓名、采样地点、时间、温度以及其他条件(如气候条件)等。

5.4.9将瓶子放入塑料袋中,密封,并采集平行样品。

6贮存与运输

6.1水样采集后应及时进行测定,应尽量缩短运输与存放时间。

6.2为了保证水样不挥发、不被污染,应密封保存,不允许空气进入。

6.3为了降低由于水样的不稳定性所造成贮存过程中其性质的改变,贮存24h以上的水样应保持在4℃

冷藏;如果需要检测磷酸根、硝酸根、硫酸根、铵根,样品采样后应马上在4℃冷藏,不得让阳光直接照射。

6.4运输水样过程中应防晒、防冻,不得倒置贮样容器。

6.5过存放或运输的水样在测试时,应在报告中注明存放的时间和温度条件。

7报告

电子级水水样

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