CN119395799A 一种内反射式浸没光栅及其制作方法 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所）_第1页
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没介质体形成有第二初始固化层的一侧对准第成连接第二浸没介质体和高反射膜的第二固化降低内反射式浸没光栅的制作难度且实现对光2提供第一浸没介质体和第二浸没介质体，在所述第一浸没介质体的第一光利用所述压印面对所述第一初始固化层进行对准压印，以形成具有光栅的第一固化在所述第一固化层远离所述第一浸没介质体的将所述第二浸没介质体形成有所述第二初始固化层的一侧对准所述第一固化层具有形成所述第二固化层的步骤包括：将所述第二浸没介质体形成有所述3在所述第一光栅面上依次堆叠设置的第一固化层、高反其中，所述第一固化层远离所述第一浸没介质体的一侧具有4栅逐渐被应用于高精度遥感大气监测成像光谱5膜的光栅与涂覆有第二初始固化层的第二浸没介质体对准压印，形成内反射式浸没光栅，图2为本发明创造实施例所述的形成有第一初始固化层的第一浸没介质体以及形图3为本发明创造实施例所述的内反射式浸没光栅的制作方法中形成增透膜和高图5为本发明创造实施例所述的内反射式浸没光栅的入射波长和衍射效率关系的6在保证内反射式浸没光栅的衍射效率的前提下，降低内反射式浸没光栅的制作周期和难了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的7第一浸没介质体2和第二浸没介质体3，在第一浸没介质体2的第一光栅面上形成第一初始成有第二初始固化层42的一侧对准第一固化层51具有高反射膜7的一侧并进行压印，以形成连接第二浸没介质体3和高反射膜7的第二固化层52；第一浸没介质体2和第二浸没介质[0029]本发明实施例提供的内反射式浸没光栅的制作方法中，光栅母版1的作用是提供[0033]进一步的，第一初始固化层41的材料和第二初始固化层42的材料均包括环氧树8浸没介质体2的连接处的侧面缝隙、第二固化层52和第二浸没介质体3的连接处的侧面缝形成抗粘膜层。抗粘膜层避免了将光栅母版从第一固化层上去除时对光栅的结构造成损数总数为几十层甚至上百层的交替排布的高折射率电介质材料层和低折射率电介质材料第一初始固化层41和第二初始固化层42，固化层涂覆在步骤3棱镜的底面和平面基板一侧9步骤5，将步骤2获取的光栅母版1与步骤4获得的带有固化层的棱镜定位对准压步骤7，将步骤6获得的带有铝光栅微结构的棱镜放置在质量浓度为10g/L的NaOH反射膜7金膜的厚度可以为100nm；述实施例提供的内反射式浸没光栅的制作方离第二浸没介质体3的一侧与光栅对应；第一浸没介质体2和第二浸没介质体3中的一者为如，本发明公开中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行

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