CN119413088A 空气隙测量方法、装置、计算机设备和存储介质 （浙江求是半导体设备有限公司）

述第一干涉图组包括至少两幅基于不同入射样涉图对应的入射样品角度和所述第一干涉图间用本方法能够在非接触的情况下提高掠入射干2获取待测样品的第一干涉图组；所述第一干涉图组包括至少两幅基于基于每幅所述第一干涉图对应的入射样品角度和所述第一干涉图获取待测样品的初始干涉图组；所述初始干涉图组包括至少两幅基于基于预设恒定相位差、所述初始干涉图组的光束相位差数据和每幅依次计算每幅所述初始干涉图与首幅初始干涉图之间的相位差，得基于所述初始干涉图组的光束相位差数据，确定所述入射样品角度基于所述预设恒定相位差和所述映射关系，确定对应于所述预设基于每幅所述第一干涉图对应的棱镜入射角，分别确定每幅所述第一干基于所述每幅所述第一干涉图对应的光路角3将任意一幅第一干涉图依次与其余每幅第一干涉图两两组合，得到依次计算每个所述第一子干涉图组的入射样基于所述光路角度信息、所述入射样品角度偏导和所述掠入射干涉设备的激光波长，基于每个所述第一子干涉图组的所述光路角度信息、所述掠入射将任意一幅第一干涉图依次与其余每幅第一干涉图两两组合，得到基于每个第一子干涉图组中所述第一干涉图的入射样品角度、所述第9.根据权利要求7或权利要求8所述的空气隙测量方基于多个所述第一子干涉图组的空气隙厚度进行平均值计算，得厚度计算模块，用于基于每幅所述第一干涉图对应的入射45基于所述每幅所述第一干涉图对应的光路角度信息和所述第一干涉图间的相位依次计算每个所述第一子干涉图组的入射样67[0021]本申请实施例提供的空气隙测量方法，可以应用于如图1所示的应用环境中。其样品角度可以是从棱镜出发并入射至待测样品8[0032]其中，所述初始干涉图组包括至少两幅基于不同入射样品角度得到的初始干涉以是根据相位变化规律或其他因素进行不同的设置。基于所述待测样品的初始干涉图组，[0034]预设恒定相位差可以是预先设定的固定相位差，用于对定在相位差固定为预设恒定相位差的情况下所应当采取的多个入射9基于所述每幅所述第一干涉图对应的光路角度信息和所述第一干涉图间的相位依次计算每个所述第一子干涉图组的入射样的激光波长和所述第一子干涉图组的相位差，计算每个所述第一子干涉图组的空气隙厚[0066]基于多个所述第一子干涉图组的空气隙厚度，确定所述[0074]基于多个所述第一子干涉图组的空气隙厚度，确定所述并根据该映射关系确定恒定相位差下的多个棱镜入射角：通过线性回归等数学处理方式，sin8=nzsinA[0098]根据首幅干涉图的第一入射角θ3和入射样品角度为θ4，以及棱镜折射率n2和入射[0107]厚度计算模块200，用于基于多幅第一干涉图的光路角度信息和相邻第一干涉图基于所述每幅所述第一干涉图对应的光路角度信息和所述第一干涉图间的相位依次计算每个所述第一子干涉图组的入射样[0116]上述空气隙测量装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实算机设备的通信接口用于与外部的终端进行有线或无线方式的通信，无线方式可通过现一种空气隙测量方法。该计算机设备的显示屏可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，机程序被处理器执行时实现上述任一实施例的空气通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器（Read_Only库和非关系型数据库中至少一种。非关系型数据库可包括基于区块链的分布式数据库等，