扫描电镜实验报告

1、扫描电镜实验报告姓名:XXX专业:XXX学号:xxxxxXxx一、实验目的1.了解扫描电子显微镜的结构和工作原理。学习扫描电镜样品制备；学习扫描电镜操作。用扫描电镜观察了铝粉的形态。二、实验原理扫描电子显微镜的原理是通过电子枪发射并聚焦的电子束扫描到样品表面，刺激样品产生各种物理信号，通过检测、视频放大和信号处理，从荧光屏上获得反映样品表面各种特征的扫描图像。扫描电子显微镜由以下五部分组成，主要作用如下：1.电子光学系统。由电子枪、电子镜片、膜片、样品室等组成。为了提高信号强度和扫描图像，电子枪发射的扫描电子束必须具有较高的亮度和尽可能小的光束斑点直径。常用电子枪有三种形式：普通热阴极三极电子

2、枪、六硼化镧阴极电子枪和场发射电子枪。前两个是热发射电子枪。后者也称为场发射电子枪，冷发射电子枪的亮度最高，电子源的直径最小，是高分辨率扫描电子显微镜的理想电子源。通过逐步缩小电子枪的束斑，照射到标本上的电子束斑越小，分辨率越高，这就是电磁透镜的功能。扫描电子显微镜通常有三个磁透镜，前两个用强镜头减少束斑，第三个镜头用弱镜头缩短焦距，可以在样品室和聚镜之间方便地装载各种信号探测器。为了减少电子束的发散度，每个级磁透镜都装有膜片；为了排除海难，安装了散光器。样品室有样品台和信号检测仪，样品台也可以进行样品转换、倾斜、旋转等运动。2.扫描系统。扫描系统的作用是提供入射电子束在样品表面，阴极射线管电

3、子束在荧光膜上的同步扫描信号。信号检测，放大系统。样品在入射电子作用下产生各种物理信号、二次电子、后向散射电子、特性x射线、阴极荧光和透射电子。不同的物理信号应该使用不同类型的检测系统。主要分为三类：电子探测器、阴极荧光灯和x射线探测器。4.真空系统。在高真空状态下，气缸和样品室由机械泵和分子涡轮泵实现。打开电源后，首先在机泵中降低真空，大约20分钟后在分子涡轮中抽真空，大约几分钟后就可以达到高真空度。这样，在放入试板、放入试板或更换灯丝时，阀门可以分别分离气缸部分、电子枪室、样品室，防止气缸部分真空损坏。5.电源系统。由电源、正常流量和适当的安全保护电路组成，为扫描电子显微镜的各个部分提供所

4、需的电源。三、实验阶段1.准备开机(1)打开电子交流电压调节器，电压指示应为220V，并打开冷却循环水装置电源开关。(2)打开样品室真空开关，打开样品室准备状态启动。(3)打开控制柜电源开关。2.试样状态在试验台上粘贴少量导电胶，用棉签粘贴少量干燥固体样品，然后涂在导电胶上，去除未粘在导电胶上的多余粉末。这个样品是铝粉，导电性能好，不用撒金。3.工作程序(1)打开样品室进气阀控制开关，将样品放入样品室，然后真空解除样品室进气阀控制开关。(2)打开工作软件，在5KV上添加高压(非导电样品)；(3)全屏View图像选择区域；调整为；(4)将显示器对比度(CONTRAST)、亮度(BRIGHTNES

5、S)调整到适当的位置；(5)将焦点旋钮调整到图像清晰度。(6)放大图像选择区域的最高状态。(7)消除x和y方向的图像分布。(8)选择相应的“SCAN RATE(扫描速度)”以观察图像。(9)根据需要进行观察和摄影(freeze)；(10)做好实验记录和仪器使用记录。四、实验结果分析图1显示了我们队拍摄的铝粉的扫描电镜照片。dcba图1铝粉的扫描电镜在图1中，a到d比例为100倍、3000倍、3500倍、4500倍，一次增加一个。可见样品中的铝粉颗粒分布不均，颗粒大。值得注意的是，该样品的扫描电镜检查具有良好的导电性，二次电子产量高，特别是在粒子的边缘显示出明显明亮的图像。五、实验经验扫描电子显微镜直接观察样品的表面结构，样品制备方法简单，取样后无需任何变化即可观察表面形态。样品可以在样品室进行三维空间的平移和旋转，放大倍数可以在大范围内连续调