Chroma异常及解决

1、Chroma异常及解决,韩长清,机台死机,机台死机后，首先确定软体有无死机，若软体死机，则按一下红色半圆按钮，强制关机，然后按一下绿色半圆按钮开机；若软体未死机，按一下红色圆形复归按钮，再顺时针旋转，进行复归动作。如果复归后还是出现异常，可以正常关闭软件、关闭Windows系统，再开机。,Peak值异常,1、peak1值正常范围是（25003000）； 2、如果过高或过低，对波长亮度都会有影响； 3、正常情况下调节Exp1（最低值1.2）； 4、如果调节Exp1无效，需要动滤网（参见下页）；,注意： Exp1最好不要过大，50以下都还OK，如果过大，可以考虑增加滤网层数,滤网调节,这里有个小内

2、六角螺丝，松开后，微调伸出或缩进，如果peak1能达到要求，再拧紧即可； 如果微调无效，将光纤向上顶，取出滤网。如果peak1为3900左右，减少一片后再装好即可；如果peak1为几十，则增加一片滤网。,注意： 1、内部的滤网需压平整，且滤网口要旋紧，否则会造成Peak1值不稳定的情况！ 2、滤网多少没有特别规定，按需添加即可,附： 图中蓝色箭头指示位置有两个固定光纤的内六角螺丝，须固定紧，防止机台在Run过程中造成光纤头晃动，使波长测值出现偏差,背面,CHUCK平台卡死,CHUCK平台固定在一个位置卡死后，安全关闭电脑软件及系统，关闭电源，手动将CHUCK拉回HOME位置后，停机10分钟，再

3、打开机台供电，开机。 若还是无法解决，安全关机，关闭供电，将连接到轨道上的接线插头插拔一下，再开机。 若还是无法解决，一般是轨道接线有问题，联系厂商调换。,机台电源，逆时针旋转90即可关闭机台供电,角过大，无法自动调节,转轮,角调节开启,若上片时圆片放置角度过大，机台无法自动调节水平，可按一下按钮，然后转动转轮，手动调节水平，调整OK后再按一下按钮。,点测中心和显微镜中心十字校准,如果出现偏针情况，可对CCD中心和点测中心进行十字校准： Map有个十字线，显微镜也有个十字线，将目标晶粒放置水平，并将其中心对准在两个十字中心即可； 如果还是不行，可进行P2P校准，详见SOP。,显微镜视图,Map

4、视图,中心,XY轴伺服器问题,伺服驱动报警，每次动作后需要关闭机台电源，以清除报警信号,伺服马达Driver,显示屏正常会显示一个5位的坐标数据，如异常报警，则显示“AL”（即报警Alarm的缩写）+报警代码,XY轴驱动报警：AL E6,异常名录：伺服的紧急停止报警 异常原因：表示紧急停止无效（EMERGENCY-SG断开） 异常解决：可以以EMERGENCY为起点，逐一排查相关电路，特别需要注意与接地相关的电路连线,EMERGENCY背面接地线,XY轴驱动报警：AL 20,异常名录：编码器错误 异常原因：在编码器和伺服放大器间的通讯错误 异常解决：,Driver的三根信号线,控制面板指示灯不

5、亮,控制面板指示灯不亮时，先整机断电，再将控制面板下的信号线重新拔插，重开机即可。 如果还是不行，可更换信号线，进行检查。,控制面板的信号线一端在面板下方，另一端在机台前面右下角的电源组件的中间机箱上的长条并口线,控制面板下的信号线，两边有拨阀，须左右打开拨阀方可拔下信号线,电源模组的控制面板信号线接头,52961 mw亮度卡设置,通道选择须软、硬体一致,CH1通道,CH2通道,测试电流 小于100mA用CH2通道 大于100mA用CH1通道,由于测试机对各波段的亮度响应不同，故厂商写了一个CSV格式的修正文件，推荐使用，路径如下： 软件目录PVResponseFile QE 081022-L

6、ED-S3.CSV,控制响应文件生效与否,测试项数据缺失,正常测试时，发现某一项或几项测试数据为空值时，首先检查软体信号接口是否OK，接着检查测试机接头是否有接触不良，然后对相应板卡进行拔插动作，最后用OK机台的板卡替换进行测试，如确认是板卡问题，可联系厂商。,1-1：并行打印机端口 1-2：RS232串行端口 1-3：显示器、网线、键盘端口 1-4：USB端口 2-1：52983通讯卡 2-2：52981 ESD卡 2-3: 52962 mw波长卡 2-4： 52961 mw亮度卡 2-5： 52958 逆向电压卡 2-6： 52953 VF卡 2-10: 52962 mcd波长卡 2-11： 52961