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文档简介
电子显微镜的组成,电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。 镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件,这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体。 真空装置用以保障显微镜内的真空状态。 电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。,发展历史,1926年汉斯布什研制了第一个磁力电子透镜。 1931年厄恩斯特卢斯卡和马克斯克诺尔研制了第一台透视电子显微镜。 1937年第一台扫描透射电子显微镜推出。 1938年他在西门子公司研制了第一台商业电子显微镜。 1949年可投射的金属薄片出现后材料学对电子显微镜的兴趣大增。 1960年代投射电子显微镜的加速电压越来越高来透视越来越厚的物质。 1980年代人们能够使用扫描电子显微镜观察湿样本。 1990年代中电脑越来越多地用来分析电子显微镜的图像。,两个重要的参数,分辨率:分辨能力是电子显微镜的重要指标,电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的最小间距来表示。 放大率:单就放大率(magnification)而言,是指被观察物体经电子显微镜放大后,在同一方向上像的长度与物体实际长度的比值。,
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