工艺技术-棕化层压工艺规范教材(doc 37页)

1、目的：规范层压工序制程能力的管控。 2、范围：适用于层压工序制程能力的管控。 3、职责： 3.1 层压工序工艺工程师按规范要求管控该工序制程能力； 3.2 技术中心负责该规范的编制与更新。 4、模块划分： 序号 规范模块 内容 1 制程目标 工序产品能力、设备能力、制程能力、产品类型及工艺流程 2 工序资源 工序设备物料资源 3 基本原理 工序药水反应机理、设备作用原理 4 工艺原则 工序参数设定原则、生产控制原则及特殊产品要求 5 工艺维护 工序维护保养内容方法和标准 6 制程监控 工序制程监控内容及制程测试方法和标准 7 制程改善 制程状态改善方法和途径 8 偏差处理 规范和生产实际偏差的处理方法和途径。 5、制程目标 5.1 产品能力：详见附件三层压工序产品能力参数表 5.2 设备能力：详见附件二层压工序设备能力参数表 5.3 制程能力：详见附件四层压工序制程能力参数表 5.4 产品类型和工艺流程 产品类型 工艺制作流程 常规板 来板棕化预叠叠合压合X-Ray 钻靶铣边出板 内层底铜大于等于 20Z 板，盲孔板、高频 板 来板棕化烘板预叠叠合压合X-Ray 钻靶铣边出板 内层过电镀的板 来板烘板棕化烘板预叠叠合压合X-Ray 钻靶铣边出板 6、工序资源 6.1 设备资源：详见附件六层压工序设备列表 6.2 物料资源：详见附件五层压工序物料列表 7、基本原理 7.1 棕化 内层芯板经过棕化处理后，在铜面形成一层均匀的棕色有机金属膜，可增强铜面与半固化片的结合力，同时在高 温压合过程中，阻止铜与半固化片的氨基发生反应。产品实现的基本原理有药水作用原理、设备作用原理等。 7.1.1 棕化反应机理 7.1.1.1 酸洗 酸洗的主要作用是去除铜表面氧化物，中和残余退膜液，粗化铜面，保证稳定的微蚀、成膜及着色。酸洗段的主 要成分为过硫酸钠（NaPS ） 、H 2SO4。其反应机理如下： Cu+CuO+H2SO4+Na2S2O82CuSO 4+Na2SO4+H2O 影响酸洗效果的因素及影响趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 NaPS 浓度 NaPS 浓度是影响酸洗段效果的主要影响因素，随着 NaPS 浓度的增大，微蚀量增大，NaPS 浓度过高会影响内层铜厚及线宽的控制。 2 H2SO4浓度 H2SO4浓度是影响酸洗效果的因素之一，H 2SO4浓度过低，酸洗效果不佳会导致棕化不良。 3 温度 根据阿伦尼乌斯方程：lnk=lnA-Ea/RT。其中 k 为速率常数，Ea 为实验活化能，A 为指 数因子。当温度越高，速率常数越大，反应速率越大。但温度过高，又不利于药水控制 与维护。 4 喷淋压力 喷淋压力影响药水交换速率，喷淋压力过低，酸洗效果不佳会导致棕化不良。喷淋压力过高，易损伤板面。 5 时间 除氧化物、微蚀需要一定的作用时间，酸洗时间过短，酸洗效果不佳会导致棕化不良。 7.1.1.2 碱洗 碱洗的主要作用是去除铜表面的油污、手指印、轻微氧化物及抗蚀剂残渣。碱式除油剂主要成分为 NaOH 和 H2O。其反应过程是利用热碱溶液对油脂的皂化作用和乳化作用来进行除油。 影响碱洗效果的因素及趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 除油剂浓度 除油剂浓度是影响碱洗段效果的主要影响因素，除油剂浓度过低，碱洗效果不佳会导致棕化不良。 2 温度 温度对于碱洗段除油效果影响较大，温度升高虽有助于除油剂皂化作用和乳化作用的发 挥，但随温度升高除油剂本身在高温下挥发并且除油剂中的表面活性剂将出现浊点，导 致除油效果反而降低。 3 喷淋压力 喷淋压力影响药水交换速率，喷淋压力过低，酸洗效果不佳会导致棕化不良。喷淋压力过高，易损伤板面。 4 时间 除油需要一定的作用时间，碱洗时间过短，碱洗效果不佳会导致棕化不良。 7.1.1.3 水洗 棕化线在酸洗、碱洗、棕化之后均有水洗段，主要目的是去除酸洗、碱洗、棕化缸在板面残留的药水，避 免污染下一道工序。 影响水洗效果的因素及趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 DI 水电导率 水洗用水必须具备一定的纯净度，即对电导率有要求，当电导率超过一定范围，则会带来离子污染。 2 水洗时间 水洗需要一定的时间去作用，水洗时间不够，则无法去除板面残留药水，从而引起缸与缸之间的药水污染。 3 喷淋压力 采用喷淋水洗主要是为了全面去除板面各个位置的残留药水，若水洗压力不当，则会导致局部区域水洗效果不佳，引发污染。 7.1.1.4 预浸 预浸的主要作用是活化铜表面以利于棕化处理快速均匀，增强结合力。预浸段的主要成分为活化剂（成分 为苯并三唑，乙二醇单异丙基醚和水） 。 影响预浸效果的因素及趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 活化剂浓度 活化剂浓度是影响预浸段的主要影响因素，浓度过低，活化效果不佳会影响后续棕化效果。 2 温度 根据阿伦尼乌斯方程：lnk=lnA-Ea/RT。其中 k 为速率常数，Ea 为实验活化能，A 为指 数因子。当温度越高，速率常数越大，反应速率越大。但温度过高，又不利于药水控 制与维护。 3 时间 预浸活化需要一定的作用时间，预浸时间不够，活化效果不佳会影响后续棕化效果。 7.1.1.5 棕化 棕化的主要作用是粗化铜面并在铜表面形成一层均匀的棕色有机金属转化膜以增强多层板内层结合力。棕化的主 要成分为苯并三唑、硫酸和水。其反应机理如下： 2Cu+H2SO4+H2O2+nA+nBCuSO 4+2H2O+CuA+Bn 有机物 A 为：乙二醇单异丙基醚； 其作用机理：1、参与半固化片环氧树脂聚合； 2、与含 N 的杂环化合物 B 和金属铜形成化学键。 杂环化合物 B 为：苯并三唑 其作用机理：1、与基体铜结合；2、通过有机物 A 的桥键与环氧树脂结合；3、化合物 B 分子之间通过 Cu2+以配 位键形式连接，增加了棕化层的厚度和平整性。 影响棕化效果的因素及影响趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 H2SO4浓度 H2SO4浓度影响微蚀速率和棕化剥离强度，随着 H2SO4浓度的增大，微蚀速率增大， H2SO4浓度过低，微蚀速率低，微观粗糙度小，剥离强度低，H 2SO4浓度过高，溶液 PH 值高，不利于棕化膜在铜面沉积。 2 H2O2浓度 H2O2浓度是影响影响微蚀速率、棕化剥离强度的关键因素，随着 H2O2浓度的增大，微蚀 速率增大，H 2O2浓度过低，微蚀速率低，微观粗糙度小，剥离强度低，H 2O2浓度过高， 蚀铜量大，不利于内层铜厚和线宽控制，棕化膜发红，耐化学性下降。 3 棕化剂浓度 棕化剂浓度影响棕化膜的质量、棕化剥离强度，随着棕化剂浓度的增大，剥离强度增大， 棕化剂浓度过低，棕化膜在铜面覆盖率低，剥离强度低，棕化剂浓度过高，剥离强度不 再增大，药水成本增加。 序号 影响因素 具体影响 4 Cu2+浓度 Cu2+浓度影响影响棕化膜的质量、棕化剥离强度，Cu 2+浓度过低，不利于棕化膜在铜面 沉积，所以新开缸时需保留部分原液，保持一定的 Cu2+浓度；Cu 2+浓度过过高，缸底或 缸壁析出黑色结晶, 药水消耗量大，成本增加，且剥离强度下降。 5 温度 温度影响微蚀速率，根据阿伦尼乌斯方程：lnk=lnA-Ea/RT。其中 k 为速率常数，Ea 为 实验活化能，A 为指数因子。当温度越高，速率常数越大，微蚀速率越大。温度过低， 微蚀速率低，微观粗糙度小，剥离强度低；温度过高不利于药水控制与维护。 6 时间 棕化时间影响微蚀量和棕化剥离强度，时间过短，微蚀量小，微观粗糙度小，棕化膜不 致密，剥离强度低；时间过长，蚀铜量大，不利于内层铜厚和线宽控制，棕化膜发红， 耐化学性下降，孔口易形成粉红圈。 7.1.2 棕化设备作用原理 系统名称 作用原理 作用缸体/段 温控系统 保证棕化温度参数的准确性 酸洗缸、碱洗缸、预浸缸、棕化缸、烘干段 过滤系统 将药水中的杂物、结晶等滤去，防止喷嘴堵塞，同时防止杂物附在板面导致棕化不良 酸洗缸、碱洗缸、预浸缸、棕化缸、水洗缸 喷淋系统 减少板中间和板边、上下板面的除氧化物、除油等清洗效果差异 酸洗缸、碱洗缸、水洗缸 自动添加 系统 自动控制药水添加，保证药水浓度的准确性。其主要有： 1、计片添加系统：设定单次药水添加量，根据电眼感应到的做板数 量添加药水 2、比重添加系统：设定比重控制范围，低于比重控制添加点时添加 棕化药水 酸洗缸、碱洗缸、预浸缸、 棕化缸 传送系统 传送产品的主要载体，传送感应电眼还可用于记录过板数量和卡板警报 所有缸体 7.2 烘板 烘板的作用主要体现在以下两个方面：对于内层经过电镀的板棕化前烘板的主要作用为去除水分，此阶段 的温度和时间可以按参数上限设置。对于棕化后烘板的主要作用为去除水分，防止后续层压板因内层芯板吸 潮引起的分层等缺陷；增强棕化膜与半固化片的结合力。基本原理有设备作用原理。 项目 具体内容 主要设备 烘箱 作用 1、去除水分；2、增强棕化膜与半固化片的结合力。 基本原理 烘箱通过电能使加热管加热，并通过电机通过风道送风使烘箱内部温度达到均匀。 影响因素 1、温度：温度偏低，除水效果不好；温度偏高，结合力、耐酸性下降； 2、时间：时间偏短，除水效果不好；时间偏长，结合力下降，生产效率降低； 3、温度均匀性：均匀性差会导致温度差，产生应力。 7.3 叠合（含预叠） 棕化后需要对内层芯板进行预叠和叠合，预叠是通过邦定或铆合等定位方式把内层芯板、半固化片按 ERP 的叠层结构指示信息固定起来，防止后续压合过程滑动出现层间偏位。 铆合方式是通过铆钉将内层芯板、半固化片固定起来，而邦定方式则通过高频电磁波穿透内层铜网，加以 邦定头施加的热量将半固化片熔合，在一定的压力下将内层芯板与半固化片固定在一起，其中邦定方式的定位 作用强于铆钉铆合方式。对内层芯板比较薄，对位精度要求高的板进行预叠时，优先采用邦定+铆合方式生产， 而对超出邦定能力范围的、对位精度要求不高的板则可采用铆合方式生产。 叠合是以钢质载板为底盘，放入一定数量的缓冲材料，中间一层分离钢板一层预叠板，预叠板与预叠板、 钢板与钢板之间上下左右需对准，再放入牛皮纸及盖板即完成一个开口的组合。 叠合产品实现的控制点为层间对位、板面清洁，基本原理有物料作用原理、设备作用原理等。 7.3.1 物料作用原理 7.3.1.1 铆钉 铆钉的主要作用是完成内层芯板与半固化片的固定，防止压合过程出现滑动。影响该作用的因素及趋势如 下： 序号 影响因素 具体影响 1 铆钉长度 铆钉长度决定铆合的开花质量，直接影响层间对位。当铆钉过短，铆合过紧，压合时容易撑爆铆钉，从而滑板；当铆钉过长，铆合过松，压合时容易出现层间滑动。 2 铆钉数量 铆钉数量是影响预叠效果的主要因素。铆钉数量少时，固定效果差，压合合时容易滑动。 7.3.1.2 钢板 钢板的主要作用在于防止铜箔皱褶凹陷及拆板容易，影响该作用的因素及趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 钢板平整度 钢板平整度影响层压板厚度均匀性，当钢板平整度不达标时，层压板厚度不均，表面凹凸不平。 2 钢板洁净度 钢板有残胶或污染物时会导致层压板出现压痕。 3 钢板硬度 钢板硬度影响钢板的耐磨性能，硬度低，打磨时易磨损变薄从而影响钢板平整度。 4 钢板膨胀系数 钢板 X、Y 方向的膨胀系数需要与铜箔的膨胀系数匹配，是引起铜箔起皱的重要因素。 7.3.1.3 缓冲材料 缓冲材料的主要作用在于均热均压、防滑。一般的缓冲材料为牛皮纸。特殊的缓冲材料有如：硅胶片（主 要用于冷板压合，其可压缩性、均衡压力、温度的性能均优于牛皮纸） 、pacopad（用于铝板厚度较大、形状较 为复杂的冷板压合，可防止局部溢胶过多，其导热性及可压缩性均优于硅胶片） 。影响缓冲材料作用（主要为牛 皮纸）的因素及趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 牛皮纸数量 牛皮纸数量过少，均热、均压、防滑效果不佳；牛皮纸数量过多，热阻增大，传热速率慢，会影响层压板的升温速率和固化温度。 2 牛皮纸使用次数 高温下牛皮纸会逐渐失去透气特性，均热、均压效果不佳。新旧牛皮纸按一定比例搭配使用，使用 4 次后应停止使用。 3 牛皮纸厚度/克重 牛皮纸克重、厚度越大，热阻增大，传热速率慢，会影响层压板的升温速率和固化温度。 7.3.1.4 蜡布 蜡布的主要作用在于清洁铜箔和钢板，避免出现层压杂物和铜箔起皱缺陷。蜡布质量不佳，掉蜡在铜箔上， 引入新的杂物，多次使用后蜡布变脏会影响清洁效果，需及时更换。 7.3.2 设备作用原理 设备名称 作用原理 影响因素 铆钉机 利用压缩气体在一定的气压下将铆钉打开花，从而完成内层芯板与半固化片的铆合。 铆合压力是主要影响因素，当压力过小，铆合过 松，压合时容易滑板；当压力过大，铆合过紧， 压合时容易撑爆铆钉，出现滑板。 邦定机 （P2） 利用压缩气体在一定的气压下将内层芯板与半 固化片压紧，再通过邦定发热头传输热量将半 固化片熔融，使内层芯板与半固化片粘结，其 对内层芯板与半固化片的固定作用强于铆钉铆 邦定能量影响半固化片和芯板的熔合情况，邦定 能量过低，粘结效果差压合时容易滑板，邦定能 量过高，邦定位置半固化片固化过度易出现分层 缺陷。 合的方式。 磨钢板机 在一定的压力下研磨钢板，再通过高压水洗，保证钢板表面的平整清洁。 主要影响因素是磨板压力（电流控制）和水洗压 力， 压力过小打磨效果不佳，影响钢板的平整度、洁 净效果，从而影响到层压板的外观；磨板压力过 大，会导致钢板划伤及钢板的厚度变薄、平整度 变差。 红外线定 位系统 保证叠合时每层板均处于相同的位置，保证压 合时压力、温度的均匀性，避免压合时滑板。 无影响因素。 7.4 压合 压合是在高温高压条件下利用树脂（半固化阶段）的流变行为，完成对内层线路空隙的填充，使各线路层 粘结在一起，获得多层印制电路板。产品的控制为层压板外观、厚度、内层对位精度、热性能、翘曲度，基本 原理有物料作用原理、设备作用原理、产品设计影响。 7.4.1 物料作用原理 7.4.1.1 半固化片 半固化片作用是粘结各层线路层，并起绝缘层的作用。其主要成分是树脂、填充物和玻璃纤维布。 （1） 树脂是热固性材料，应用到 PCB 主要有酚醛树脂、环氧树脂、聚四氟乙烯等，目前常用的是环氧树脂。 环氧树脂是泛指分子中有两个或两个以上环氧基团的有机高分子化合物，其环氧基团可以位于分子链的末端、 中间或呈环状结构。由于活泼环氧基团的存在，环氧树脂与固化剂在一定的条件下发生固化反应，生成立体网 状结构的产物，从而显现出各种优良的性能。 最常用的环氧树脂是由溴化的丙二酚制成的耐燃性环氧树脂，称为 FR-4 环氧树脂。其各组分的作用： 单体：常见的有双酚 A、环氧氯丙烷等，与固化剂发生交联反应，成为固体聚合物。如双酚 A 型单体结 构如下： 固化剂：双氰胺、PN 等固化剂，在有促进剂下和树脂发生固化反应。 常见的固化反应机理如下： 双氰胺作为固化剂时： PN 作为固化剂时： 促进剂：2-甲基咪唑等，加快单体与固化剂的交联反应 溶剂：二甲基甲酰胺、丙酮等. （2）填充物：碳酸钙、氢氧化铝等，其主要作用是增加阻燃效果、调整 Tg 和 CTE 值。 （3）玻璃纤维布：一种无机物经过高温融合后冷却成一种坚硬的非晶态物，然后由经纬纱纵横交织的补强材料。一 般采用的玻璃纤维布均是采用平纹布。相比其它布（如斜纱、锻纹等组织）具有断裂强度大，尺寸稳定性好，不易变 形，重量厚度均匀的优点。玻璃纤维布的基本性能有：经纬纱种类、织布密度、厚度、单位面积重量及断裂强度等。 半固化片在压合过程中，存在三个阶段： 整个压制升温过程，是 B-stage 树脂从难以流动的粘弹态逐渐变为胶凝状的变化过程。在这个过程中，树脂 于高温下进行熔融和流动，并同时完成对玻璃纤维空隙的进一步浸润且赶出气泡。树脂的流动性逐渐增加，随 着分子链的不断增长，随即发生交联作用，而随着交联程度的不断增加，它的流动性又成指数规律下降，最后 达到不再流动的固化态。 多层板生产中，半固化片必须满足填隙充分，排除空气及挥发物，保留一定的介质层厚度，主要的影响因 素及影响趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 树脂含量 树脂含量直接决定填隙填胶效果的可实现性和压板后的介电层厚度，树脂含量低，容易导致 缺胶、分层、白斑；树脂含量高，流动度大，填充性能好，但容易造成压合过程中层间滑移。 2 树脂流动度 树脂流动度直接决定树脂能否流动到需要填胶的区域，树脂流动度低，容易导致板内留有气泡、分层；树脂流动度高，容易造成压合过程滑板、白边白角、翘曲及铜箔起皱。 3 凝胶时间 凝胶时间反映树脂的固化速度，凝胶时间短，容易导致板内留有气泡、分层。 4 挥发物含量 挥发物含量偏高，容易导致板内留有气泡、空洞。 5 存储环境 存储环境主要影响着半固化片的性能。温度低，湿度高容易使半固化片吸潮，从而引起分层；较长时间高温放置，凝胶时间降低，导致板内留有气泡、分层。 6 加压时机 加压时机一般参考树脂在热压中的熔融粘度，理想的加压点一般为熔融粘度的最低点，其 作用如下： 1、树脂与铜面之间充分接触与结合； 2、提高树脂流动速度，尽快均匀地填充导线间的空隙； 3、将树脂反应产生的气泡挤到板边。 加压过早，将导致过多的低粘度树脂被挤出，板厚偏薄甚至缺胶，在后续工艺流程中产生 分层；加压过晚，将会出现空洞缺陷。 7 加压大小 压力小，树脂不能填充满导线间隙，不利于层压板品质；压力大，流胶过多，板内应力大，且容易滑板，影响层压板板厚及品质。 8 加压方式 真空层压机一般均使用多段加压。各段的作用机理如下： 初压：把板料压实，提高传热速率，驱赶层间夹杂空气。初压不可太大，树脂尚未流动， 压力太大，玻璃纤维布将承受大的剪切应力，变形严重； 中压：将熔融的流动树脂顺利填充并赶走胶内气体，防止一次压力过高带来的铜箔起皱、 空气通道封锁等； 高压：完成最后的填隙、赶气，使树脂与铜箔牢固结合。 9 升温速率 升温速率影响树脂粘度变化和凝胶时间，进而影响层压板板厚均匀性、填充性能及排气效 果。升温速率慢，树脂黏度大，流动性差，易产生空洞、白斑缺陷，压合时间长导致生产 效率降低；升温速率快，流动窗口小，树脂来不及填充导线间隙，不易掌握加压时机，易 出现滑板、起泡、分层、空洞缺陷。 10 最高加热温度 最高加热温度影响树脂体系固化效果。最高加热温度低，树脂体系固化不完全，层压板热性能不良；最高加热温度高，树脂体系固化过度，层压板热性能变差、板材变脆。 11 固化时间 固化时间影响树脂体系固化效果，固化时间短，树脂体系固化不完全，层压板热性能不良；固化时间长，树脂体系固化过度，层压板热性能变差、板材变脆。 7.4.1.2 铜箔 铜箔是生产多层印制线路板不可缺少的原材料，是外层图形制作的基础。按制造方法分为压延铜箔与电解 铜箔。由于电解铜箔对基材的附着力较强，故刚性板一般使用电解铜箔。 铜箔对压合作用的影响因素及趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 铜箔品质指 标 铜箔品质指标主要包括铜箔的剥离强度、粗糙度、延展性、耐化学腐蚀性及抗氧化性。 剥离强度低，线路易剥落，焊接过程焊盘易翘起甚至剥离；粗糙度太低，剥离强度难 保证，粗糙度太高，信号传输损耗大；耐化学腐蚀性差，湿流程加工过程易受药水侵 蚀导致剥离强度下降；延展性低，热涨冷缩过程铜箔与基材易分离或铜箔易断裂。 2 铜箔表面清 洁 铜箔的表面清洁状况决定压合后板面有无压痕、有无起皱等外观问题。 7.4.1.3 离型膜 离型膜是具有不粘性能和高温蠕动形变性能的塑料薄膜，其在压合过程中的主要作用是防粘、阻胶。一般 用于盲孔板、局部混压板及一些散热冷板的压合。特殊离型膜如 pacovia 则用于局部混压，其阻胶性能优于一 般的离型膜。在此类板压合过程中，离型膜与铜箔对比的优缺点如下： 物料类型 优点 缺点 离型膜 1、阻胶性能好、盲孔板后续板面处理更容易； 2、成本低。 耐温性能较铜箔差，不适宜 Tg210的高 Tg 板。 铜箔 耐温性好，可用于高 Tg 板。 1、成本高；2、阻胶性能差，盲孔板后续板面处理需过除胶。 离型膜对压合作用的影响因素及趋势如下： 序号 影响因素 具体影响 1 离型膜品质 指标 离型膜品质指标主要包括耐温性、阻胶效果，耐温性差，离型膜易熔化、破损导致流胶至钢板上，阻胶效果差，板面流胶量过多则对后续板面除胶难度大。 2 离型膜表面 清洁 离型膜的表面清洁状况决定压合后有无压痕等缺陷外观问题。 7.4.2 设备作用原理 压机大多都采用液压系统提供各开口的闭合与加压。即压机顶部的热盘固定于压机的主体结构上，其它各 开口的热盘由液压系统推动闭合与加压。如下图所示： 压机系统可以分为以下 5 个系统，各系统的作用及影响趋势如下： 序号 设备系统 作用及影响 1 机体系统 机体系统是压合的场所，影响压机机体系统对压合作用的因素是热盘平整度，其 直接影响压合板的厚度均匀性及翘曲度。 2 加热系统 加热系统主要提供压机压板时所需要的热能，要求其满足材料固化反应的温度条 件。热煤油加热工作原理是在热盘中加设油管，先将热煤油在机外的加热交换器内进 行加热，然后将热油通入热盘内。电加热的原理是直接通过电加热管对热盘进行加热。 加热系统对压合作用的影响因素为热盘温度均匀性，温度均匀性差会导致传热不 均，从而影响局部树脂流动均匀性差异和固化效果。 序号 设备系统 作用及影响 3 冷却系统 热压后的板降温须均匀，各层同步降温，以免造成局部冷却太快产生板翘。按 冷压设备，可以分为冷热同台和单独冷压机，具体工作原理如下： 冷热同台：热压成型菜单运行到降温段时，冷却塔提供的冷却水通过一热交换 器带走热煤油的热量，使各热板降温。其温度变化连续均匀，不会翘曲，尺寸稳定 性好，但降温时间长，生产效率低； 单独冷压：单独冷压是由封闭循环的软水完成，由冷却塔提供的冷却水通过一 热交换器不断带走软水的热量，从而达到冷却产品的目的。单独冷压能提高生产效 率，但从热压机中出炉后温度差异大，易板翘，内应力大，尺寸稳定性差。 4 抽真空系统 采用真空方式，可降低层压压力，减少内应力与尺寸变形。采用真空方式后， 把叠层间的空气、湿气、挥发物抽走，多层板内不易出现气泡、空洞、分层、白斑、 白边角等缺陷。抽真空系统对压合作用的影响因素及影响趋势如下： 1）真空度：真空度的设置偏低，易出现气泡、空洞、分层、白斑等缺陷； 2）抽真空时间：抽真空需要一定的时间完成，时间不够，真空度不够，易出现 气泡、空洞、分层、白斑等缺陷。 5 回流线 回流线是连接层压内围排板台、压机、层压外围卸板台的重要设备。回流线的运行速度、运行精度、运行平稳度等都会影响压合过程的生产效率。 7.4.3 产品设计影响 工程设计是影响层压板质量的主要因素之一。以下为图形设计项目不同对层压板质量的影响列表： 项目 影响 图形区域 图形区域局部有大的无铜区，容易引起铜箔起皱，尤其是封闭的无铜区，容易引起分层起泡。 叠层结构设计不对称的电路板层压后会形成翘曲。这里所说的不对称，主要是指板材类型、芯板厚 度和半固化片结构，这些因素共同影响着层间应力分布。 应力与翘曲的关系如图所示，受力分析时用等效切向力 S 来代替层间应力积分，S 产生的 力矩为 M。假设翘曲形状为圆弧，翘曲角为 。在压合过程中，等效力 S 破坏了芯板的力学平 衡，在力矩 M 的作用下开始弯曲，芯板两侧形变产生了抵抗弯曲的内应力，形成“抵抗”力矩， 两个方向的力矩最终达到平衡，弯曲过程停止。根据几何关系可得：曲率 K=12M/E*a*h3，a、h、E 分别为芯板的宽度、厚度和弹性模量。 具体参考翘曲度分析研究 。 叠层设计 叠层设计半固化片选用多张料时，容易引起压合时滑移，从而影响对位精度。 板边设计 板边设计不同图形时，对涨缩及板厚平整度均有一定的影响。具体参考内层板边图形设计对涨缩的影响分析 。 项目 影响 内层芯板选择较薄芯板时，容易导致预叠时芯板被打爆，引起压合过程的滑移，从而影响对位精度。 内层芯板采取厚铜芯板时，一般选取多张料的叠层设计，其容易引起压合滑移，影响对位精度。内层芯板选取 内层芯板选取的厚芯板当不能采用 PE 冲孔时，当其和较薄芯板进行铆合时，由于压合前涨缩不一 致，有时会引起铆合不上或铆合不良，从而引起偏位。 7.5 钻靶、铣边 钻靶、铣边的作用是利用基材和铜透光性能差异及 X-Ray 的穿透性原理（P3 为 CCD 抓靶）进行钻靶，进而通过 机械加工获得标准尺寸的层压板。为了满足钻靶、铣边的不同要求和得到尺寸精度良好的层压板，必须选择合适的钻 靶、铣边设备。 设备名称 作用原理 影响因素 钻靶机 利用基材和铜透光性能差异及 X-Ray 的穿透性 原理（P3 为 CCD 抓靶）进行钻靶，为铣边、钻 孔提供定位孔。 光学靶标如图： 1、钻靶精度，其影响定位孔精度。定位孔精度不好， 后续钻孔精度无法保证。 2、测量精度，其影响涨缩测试的准确性。涨缩测试 不准确，钻带准确性差，易致整板孔偏。 铣边机 利用钻靶机钻的三个定位孔通过机械加工得到标准尺寸的层压板。 铣边转速、行速是影响铣边效果的主要因素。铣边转 速及行速控制不佳时，铣边精度差，铣边时容易滑板， 导致铣边进图形，同时毛刺多，严重时引起沉铜孔内 铜瘤。 8、工艺原则 8.1.参数设定原则（具体参数见附件一层压工序生产参数表 ） 8.1.1 棕化 参数类别 项目 设定原则 设备参数 酸洗压力 用棕化线最大制作尺寸的板，按正常参数过一遍，要求板面无氧化物。 碱洗压力 用棕化线最大制作尺寸的板，按正常参数过一遍，要求板面无手指印等油迹。 水洗压力 通过实验室对棕化线离子污染度测试结果设定，保证棕化后离子污染度合格。 烘干段温度 用棕化线最大制作尺寸的板，按正常参数过一遍，要求板面无水迹。 浓度药水参数 温度 根据药水特性及反应速率来设定，保证实验室所测棕化线微蚀速率在标准范围之内。 传送速率 保证微蚀量在标准范围内。操作参数 放板间距 保证不叠板。 8.1.2 烘板 参数类别 项目 设定原则 设备参数 温度 保证烘板后除水效果良好，且棕化膜不氧化。 时间 保证烘板后除水效果良好，且棕化膜不氧化。操作参数 叠板高度 保证各层均能达到要求的烘板温度。 8.1.3 叠合（含预叠） 参数类别 项目 设定原则 铆钉机压力 保证铆钉铆合时开花均匀且紧固，层间无滑移。 邦定机能量 保证半固化片和内层芯板熔融后紧固，无滑动。 磨钢板机电流参数设备参数 磨钢板机水洗压力 通过用磨钢板机最大生产尺寸的覆铜板调整好磨痕标准范围，再放入同等厚 度的钢板检验磨刚板效果。 铆钉长度 保证铆钉铆合时开花高度合适，铆合结合力牢固，层间无滑移。 叠板层数操作参数 配板参数 通过对压合过程的升温速率测试和压合后的板面厚度均匀性测试，来设定合 适的叠板层数和配板参数。 8.1.4 压合 参数类别 项目 设定原则 温度 根据树脂配方特性、设备特性来设定，保证压合效果，固化完全且表面平整 设备参数 压力 根据树脂配方特性、设备特性、排板尺寸来设定。压力大小=板压力*板面积*拼版数/ 压 机活塞轴截面积。 操作参数 加压时机 根据树脂配方特性、设备特性来设定，理想的加压时机是树脂熔融粘度的最低点附近，根据树脂黏度曲线和产品升温速率设定。 8.1.5 钻靶、铣边 参数类别 项目 设定原则 设备参数 铣边机转速、行速 保证铣边精度，防止铣边毛刺。 铣边叠板层数 保证铣边精度，防止铣边毛刺。操作参数 退应力参数 根据板材 Tg、生产效率设定（一般为 15010烘 2-4h，高 Tg 板取参数上限） 8.2 生产控制原则 8.2.1 棕化 开线收线 序号 阶段 操作说明 1 开线 1、对棕化线进行大保养（具体见工艺维护模块） ，对行辘、喷嘴、烘干段等作清洁保养（依照保养 标准） ； 2、待 DI 水的电导率达到要求后开缸； 3、待药水分析正常后方可试做首板，首板合格后方可做板； 2 收线 棕化线收线时排尽所有药水及水洗缸的水，加 DI 水清洗喷淋后，加 2/3 缸清水。 药水控制 序号 类别 控制要求 1 开缸原则 1按照附件七层压工序棕化线开缸原则要求的药水添加顺序和量开缸，开缸量以药水 控制中点计算； 2开缸时为避免药水超出液位，需先添加部分水，然后添加药水，最后补充水至液位； 3每次加完一种药水，必须清洁干净加药工具后才可以用来添加其它药水； 序号 类别 控制要求 1 开缸原则 4各缸药液配置后，开启温度控制，将温度控制在参数表要求范围内，开启循环泵； 5各缸药液搅拌均匀后，由化学实验室进行药液分析，据分析结果进行调整，待药水混合均 匀 后复测，复测结果达到控制范围内方可生产。 2 药水监控 1化验室按照经审核的化学分析项目控制表(工艺工程师制定、工艺及品质经理审核) 频次 进行分析； 2棕化线操作员按照药液分析报告单要求添加药液； 3自动添加控制的药液，超出控制范围的需立即停止生产，检查校准自动添加系统。 操作控制原则 操作类别 控制要求 1、生产前检查设备参数、药水浓度是否在控制范围内 2、确认生产流程卡及 ERP 指示，明确板材基本信息、板材流程等作业前准备 3、必须进行来料检验，防止上工序缺陷板流入到本工序 首板控制 1、每次开机运行生产时需注意首板控制，检查棕化质量，防止棕化不良 1、放板间距适当，防止叠板 2、大铜面朝上，朝前放置，防止卡板过程控制 3、接板人员需每块板检查棕化质量，防止棕化不良 1、棕化后每块板之间需用干净的珍珠棉隔开，需烘板的用白纸隔开，保护棕化面不损伤作业后控制 2、棕化后到压板前停留时间要求小于 24h，防止棕化膜结合力下降 1、对划伤板可以采用 1000 目以上砂纸打磨并重新过棕化线返工 2、对棕化不均匀或星点漏铜的板直接过棕化线返工返工处理 3、0.5OZ 的板件只允许返工一次，1OZ 的允许 2 次，2OZ 以上允许返工 3 次 1、停机超过一定时间重新生产前，需开机循环一定时间以增加药水活性异常处理 2、每种生产型号、保养、故障维修完成恢复生产必须做首板 8.2.2 烘板 操作控制原则 操作类别 控制要求 作业前准备 1、生产前检查烘箱温度、时间设置是否在控制范围内 1、烘板时需用白纸隔开，防止棕化膜擦花过程控制 2、烘板时叠层高度需保持适当，保证各层均能达到规定的烘板温度 8.2.3 叠合（含预叠） 操作控制原则 序号 操作类别 控制要求 1、生产前检查设备参数是否在控制范围内作业前准备 2、确认生产流程卡及 ERP 指示，明确预叠时叠层要求 首板控制 1、对于批量板及对位精度要求高的板必须进行首板检查，观察同心圆及内层图形对位情况，首板合格再批量生产 1、铆钉长度应合适选取，防止铆钉长度不合适而导致铆合不牢过程控制 2、铆钉开花须均匀，保证铆合紧固 1、铆合后不宜停留太长时间（保证棕化到压板在 24h 之内） ，防止棕化膜结合力下降作业后控制 2、铆合后注意板面棕化膜损伤及铆钉屑残留 返工操作 1、对于首板检查不合格的板必须进行返工操作 预叠 异常处理 1、保养、故障维修完成恢复生产必须做首板 作业前准备 1、生产前确认生产流程卡及 ERP 指示，明确叠合时叠层要求 1、钢板打磨前需要进行磨痕测试，保证磨钢板的质量 2、叠板时应检查半固化片、铜箔、钢板质量，防止带来杂物影响层压板质量 3、叠板层数据生产参数规定进行，当超出规定层数时，料温偏低，易导致固化不足 4、钢板、铜箔、化片、光板、芯板/预排板需放置在托盘的中心，防止压合时滑板 5、同一钢板上的板厚必须一致；有配压其它板时应注意配板参数，防止因厚度不一致时导致 局部压力、温度不均匀，影响层压板质量 6、对“芯板+PP+芯板”的叠层结构，叠板时需要用离型膜或者保护铜箔把板与钢板隔开，以 防树脂胶流到钢板上，难以清洁 叠合 过程控制 7、内围环境包括半固化片存储环境及叠合环境，其温湿度需要控制在标准范围之内，保证半 固化片质量不受温湿度影响 8.2.4 压合 操作控制原则 操作类别 控制要求 作业前准备 1、确认生产流程卡及 ERP 指示，按照附件一层压工序生产参数表设置压合程序，保证压合参数的准确性 首板控制 1、对于批量板、有特殊要求的板，需要做首板压合，检查压合质量 1、压板过程中需随时查看温度、压力等参数是否正常，保证压合参数的准确性过程控制 2、热压后将板转入冷压机中，并调节压力与时间，防止残余应力过多 返工操作 1、有以下严重缺陷的可考虑返工处理：严重擦花、厚度偏薄、偏厚、滑板等。但阻抗板、 军品板、客户要求不能更改叠层的、使用 N4000-13 对应 P 片的不能返工 2、返工流程：剥皮高压冲洗烘干棕化烘板（只对返工棕化的）测量厚度确定 叠层重新压合 异常处理 1、保养、故障维修完成恢复生产必须做首板，并送实验室进行 Tg 测试确认压合效果 8.2.5 钻靶 操作控制原则 序号 操作类别 控制要求 1、生产前检查设备参数是否在控制范围内 2、确认生产流程卡及 ERP 指示，明确是否为盲孔板流程及生产尺寸作业前准备 3、钻靶前应检查钻嘴质量并校正精度，首板应检查披锋、对准度，合格后才可生产 过程控制 1、生产过程中随时检查钻靶质量，每钻一定数量孔后应校正钻靶机中心和像点 钻靶 异常处理 1、停机保养、故障维修完成恢复生产必须先进行精度校正，方可进行正式生产 8.3 特殊产品原则 对于层压来说，特殊产品原则主要体现在压合参数的不同，其参数是根据特殊结构板制作方法及特殊结构 基本性能参数所设定的，具体如下表： 特殊类型 控制参数点 控制方法 偏离控制要求 含三张 PP 片 叠层结构 高压压力适当降低或加高压时机适当 提前 压合程序设定 压力过大，则流胶过多，且容易滑板， 影响层压板板厚及品质 厚铜板 高压压力适当增加或加高压时机适当提前 压合程序设定 压力小、加压晚更容易导致层压空洞 特殊板材结构 抽真空时间加长，各压合参数按照其板材本身的性能来控制 压合程序设定 特殊板材压合参数偏离要求容易导致固化不良及其他层压缺陷 8.4 前后工序关联 上工序影响 编号 前工序缺陷 对本工序的影响 解决/预放措施 1 预叠孔冲孔不良 对位精度不良 及时进行冲孔精度测试并校正，保证冲孔精度 对后续流程影响 编号 主要问题 原因分析 解决措施 对后工序的影响 1 划伤 员工操作不规范 加强员工操作的规范性 1、露基材纤维 2、严重时可引起 开路 2 棕化不良 1、前工序擦花、划伤 2、棕化药水浓度异常 3、棕化擦花 1、加强前工序来板的检查 2、加强棕化药水的监测 3、加强操作规范性 热应力及剥离强度 不合格 3 分层起泡 1、铜皮或基材表面有污染、杂 物、水汽等 2、半固化片挥发物含量高 3、固化不足或固化过度 4、压力过小 5、板子受潮 6、工程设计（图形区域有大封 闭区） 1、内层压合前烘板（特别是盲埋孔 板、厚铜板、高 Tg 板等） 2、改善存放环境 3、优化压合程序 4、压合后进行烘板 5、优化工程设计，避免图形区域的 大封闭区 热应力及剥离强度 不合格 4 铜箔起皱 1、铜箔未展平 2、钢板不平整 3、工程设计（局部无铜区过大） 4、外层半固 化片含胶不足 5、 层压压力过小、压力不均匀 1、加强操作的规范性 2、保证钢板质量：平整度、清洁度 及厚度在标准范围之内 3、优化工程设计（空白区铺铜处理， 减少空白区面积） 4、外层选用树脂含量较大的半固化 片 5、适当降低排板层数，减少压力传 递中的损失 6、增大压力 1、外观不平整 2、影响钻孔及线 路制作 5 压痕 1、排板时铜箔清洁不到位 2、钢板有凸点，不平整 3、洁净房的洁净度不达标 1、排板时清洁工作需到位 2、做好钢板打磨和清洁工作 3、改善通风口的过滤网效果，加强 洁净房的清洁工作 1、介质层厚度不 合格，影响阻抗 2、导线压痕可致 线厚不合格，严重 时引起开路 6 板翘 1、开料烘板不到位 2、排板时经纬不一致 3、层压过程产生的各种残留应 力 4、工程设 计（叠层不对称） 1、料烘板操作需到位 2、排板时分清经纬向，保证经纬一 致 3、层压完进行烘板除去层压残留应 力 4、工程设计尽量避免出现不对称的 结构 1、容易导致在后 工序自动线上卡板 2、翘曲严重可导 致丝印不良 3、影响钻孔、铣 板精度 编号 主要问题 原因分析 解决措施 对后工序的影响 7 层压杂物 排板时板面清洁不到位 保证环境清洁到位，控制层压杂物 来源（如碎铜屑、半固化片毛边、 毛发等） 1、金属杂物可引 起短路 2、非金属不耐热 杂物热冲击后引起 分层 8 层压白斑 1、半固化片胶含量低，流动度 大 2、预压过大，高压时机不对 1、需保证半固化片来料质量合格 2、增大压力 3、优化工程设计 1、钻孔及喷锡后 可能会分层 2、热应力及剥离 3、压机温度均匀性及平整度差 4、压力过小 5、工程设计（图形区域有大封 闭区） 4、定期测试压机温度均匀性及平整 度，不达标需通知设备工程师或供 应商进行校正 强度不合格 9 层压偏位 1、PE 冲孔不良 2、预叠时偏位，预叠效果不佳 3、排板叠层过高，上下层位置 不一致，引起滑板偏位 4、升温速率过快 5、内层芯板涨缩不一致 1、加强前工序来板检查 2、严格按规范操作，保证预叠时对 位良好 3、适当降低排板层数，上下层位置 应保持一致 4、降低升温速率 5、优化内层预放规则，减少因涨缩 不一致引起的层压偏位 电测时开短路 10 冲孔不良 1、靶标不全 2、冲孔时操作不规范 3、钻靶机冲孔精度异常 1、加强前工序来板检查 2、冲孔岗位需按规范操作 3、制程工艺需定时测试钻靶机精度， 不达标需通知设备工程师或供应商 进行校正 钻孔时钻偏孔 11 板厚不符 1、半固化片错用、多用、少用 2、芯板用错 3、工程设计错误 1、叠合需按原则进行作业前准备和 作业操作 2、优化工程设计，避免板厚理论厚 度 趋近于工程设计范围的上下限 介质层厚度不合格， 影响阻抗 12 涨缩超标 1、内层预放不合理 2、光绘预放时没有按规定值预 放 1、优化内层预放规则 2、光绘员工操作时应细心 1、影响铣板精度， 尺寸不合格 2、严重时可致电 测短路 9、工艺维护 9.1 工艺工程师根据生产线特点制定工艺维护计划和工艺控制表，交付审批实施； 9.2 工序员工执行工艺维护计划和工艺控制表规定的维护项目，工艺工程师需监控各项维护内容得到切实的执 行。 9.3 对于工序关键维护保养项目，由工艺工程师执行或主导进行维护保养，维护情况记录在层压工序制程状 态监控表 。 9.4 各段需维护保养内容 序号 工段 项目 保养要求 维护频率 1.检查各缸药水液位、温度 每班 2.检查各喷淋压力及喷嘴是否堵塞 每班 3.检查各水洗溢流量及 DI 水电导率 每班检查项目 4.检查各管道阀门位置是否正确，管道有无泄漏 每班 1.各缸过滤系统保养 每周 2.酸洗、碱洗、预浸、棕化缸及各水洗缸换缸 每月（或 停线 48h） 1 棕化 维护项目 3.行辘、喷嘴清洗 每周 关键维护保养 棕化线大保养 每月 2 烘板 检查项目 1.检查烘箱的温度均匀性 每周 1.检查气压铆钉机压力、气缸气压 每班检查项目 2.检查上下动作是否顺畅、模具中轴线是否在一直线上 每班3 铆合 维护项目 1.清洁铆钉机工作台 每班 1.检查传动部分、接头有无松动，元件有无异常 每班检查项目 2.检查邦定平台进出是否顺畅 每班4 邦定（P2） 维护项目 1.清洁邦定机熔合头 每班 检查项目 1.检查各传送系统是否正常 每班5 压合 维护项目 1.清洁并更换空气过滤器的滤芯 每月 检查项目 1.检查钻靶机供气系统 每班 1.清洁钻靶机吸尘工作头碎屑、异物 每班6 钻靶 维护项目 2.更换钻靶机钻刀 一定孔数 1.检查磨钢板机水洗压力、传送速率、电流 每班 2.检查磨钢板机零件有无损坏，按钮及配件是否正常 每班检查项目 3.检查磨痕是否正常 每月 1.清洁半固化片存储间、铜箔放置架、净化房 每班 2.净化房正压测试 每班 7 其它 维护项目 3.烘箱温度测试 每周 9.5 关键维护说明 序 号 维护项目 维护方法 标准 1 酸洗、预浸、棕化缸大保养 1、 排空各缸旧药水，取出过滤棉芯，清除过滤网可见垃圾，对各缸 进行水洗。 2、 在缸内加入清水；将氢氧化钠溶解后加入缸内；进行碱洗。 3、 加满清水喷淋一段时间后排掉。主要作用为将缸内氢氧化钠残留 清洗干净，防止后续硫酸时与之发生中和反应降低算洗保养效果。 4、 加入清水；在缸内加入硫酸，进行酸洗。 5、 再加满 DI 水循环后排空。 6、 安装新过滤棉芯，用清水清洗全压过滤器过滤袋。有破损的更换。 2 碱洗缸大保养 1、 排空各缸旧药水，清除过滤网可见垃圾，对各缸进行水洗。 2、 加入清水；在缸内加入硫酸；进行酸洗。 3、 加满清水喷淋一段时间后排掉。主要作用为将缸内硫酸残留清