GB∕T 20510-2017 氧化铟锡靶材

ICS7715060 H 62 . . 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T205102017 代替 GB/T205102006 氧 化 铟 锡 靶 材 Indium-tinoxidetarget2017-10-14发布 2018-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/T205102017 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。本标准代替 氧化铟锡靶材 与 相比 主要变动如下 GB/T205102006 。 GB/T205102006 , : 删除了 失氧率 的要求 “ ” ; 对氧化铟锡靶材的化学成分进行了修改 删除了对杂质元素锌 钙 镁量的控制 增加了杂质 , 、 、 , 铬 铊量的控制 、 ; 修改了相对密度的含量范围 ; 增加了 表面粗糙度 “ ”; 增加了 组织均匀性 “ ”; 修改了组批的方式 ; 删除了标准附录 失氧率的测定 “ ”。本标准由中国有色金属工业协会提出 。本标准由全国有色金属标准化技术委员会 归口 (SAC/TC243) 。本标准负责起草单位 株洲冶炼集团股份有限公司 : 。本标准参加起草单位 中国船舶重工集团公司第 研究所 北京冶科纳米科技有限公司 : 725 、 。本标准主要起草人 谭仪文 黄剑 彭小苏 郗雨林 孙振德 梅方胜 崔晓芳 张士察 : 、 、 、 、 、 、 、 。本标准所代替标准的历次版本发布情况为 :GB/T205102006。 GB/T205102017 氧 化 铟 锡 靶 材1 范围 本标准规定了氧化铟锡 简称 靶材的要求 试验方法 检验规则及标志 包装 运输与贮存 质 ( ITO) 、 、 、 、 、 量证明书 订货单 或合同 内容等 、 ( ) 。 本标准适用于以 金属铟 锡为原料生产的氧化铟锡靶材 用于制作透明导电膜 99.99% 、 , 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 金属材料电阻系数测量方法 GB/T351 烧结金属材料 不包括硬质合金 可渗性烧结金属材料 密度 含油率和开孔率的 GB/T5163 ( ) 、 测定 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T8170 金属显微组织检验方法 GB/T13298 精细陶瓷线热膨胀系数试验方法 顶杆法 GB/T16535 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 。31 . 表观密度 density 每单位体积物质的质量 。32 . 相对密度 relativedensity 物质的密度与参照物的密度的比值 。 注 在本标准中 氧 化 铟 锡 靶 材 的 相 对 密 度 为 靶 材 表 观 密 度 与 理 论 密 度 的 比 值 氧 化 铟 锡 靶 材 当 质 量 百 分 比 : 。 时 理论密度以 3 计算 In2O3SnO2=9010 , 7.155g/cm 。33 . 开尔文电桥 Kelvinbridge 开尔文电桥 是一种利用电位比较的方法进行测量的仪器 具有很高的灵敏度和准确性 在电测技 , , , 术和自动控制测量应用极为广泛 而开尔文电桥又是惠斯通电桥的变形 在测量小阻值电阻 通常 欧 。 , ( 1 ) 时具有相当高的准确度 适于测量