（材料学专业论文）氧化铝陶瓷的微波连接.pdf

摘要 本文利用活性粉体常温下吸收微波而a 1 2 0 3 几乎不吸收微波的特性，结合过 渡液相扩散及化学反应连接的思想，用活性a l 粉，s i 粉，a j s i 合金作为连接相 的主要成分，成功实现了a h 0 3 x a 1 2 0 3 的连接。实验中对微波连接装置及保温 结构进行了设计；尝试了测定微波场强的分布：对埋烧措施的作用进行了分析： 研究了基体的吸波特性和不同中间层的升温机制，并由此确定不同中间层的微波 加热制度；对不同中间层的连接试样的s e m 和x r d 进行了分析：通过a 1 s i 合 金质量的变化分析，判断其氧化程度，从而控制在连接过程中的膨胀率实现不同 界面的连接。 结果表明：( 1 ) 通过对升温特性曲线分析得出，适合活性a l 粉，s i 粉的升 温机制分别为：1 k w ( 2 0 m i n ) - - - 2 k w 0 0 m i n ) ，2 k w ( 4 0 m i n ) 一3 k w ( 2 0 m i n ) 。( 2 ) 埋 粉减缓了热交换和降温速率，促进了物质扩散，有利于实现连接。( 3 ) 中间层中 金属a l 粉在吸收微波升温的同时将热量通过热传导传递给a i 2 0 3 基体，a 1 2 0 3 基 体开始被缓慢加热，提高了a 1 2 0 3 陶瓷基体吸收微波的能力，促进了中间层金属 向两侧基体的缓慢扩散和氧化，形成液相与固相混存的中间层结构而实现连接。 ( 4 ) 中间层中的s i 粉在微波加热和缓慢降温的过程中，与颗粒周围的0 2 发生 反应，生成s i 0 2 。其氧化产物s i 0 2 具有新生成相的高活性特点，利于界面反应 的发生。( 5 ) a 1 s i 合金粉在不同微波功率作用下随加热时间的延长，质量变化 呈上升趋势，且微波功率越大，质量随时间变化越大。通过控制微波加热制度， 可以控制其氧化程度，从而控制氧化反应的膨胀率。a 1 s i 合金粉体在微波作用 下得到a i s i 合金连接界面，实验适宜采取的升温制度为：i k w ( 4 0 m i n ) ；得到莫 来石连接界面宜采取的升温制度为：2 k w ( 6 0 m i n ) 。 关键词：微波连接a 1 2 0 3a i s ia 1 s i a b s t r a c t a c t i v ea ip o w d e r ，s ip o w d e ra n da i s ia l l o yw e r eu s e da si n t e r l a y e ri n t h i s p a p e rf o rt h ed i f f e r e n tm i c r o w a v e sa b s o r b i n gc h a r a c t e r i s t i c b e t w e e nt h ea c t i v e p o w d e rb o d ya n da 1 2 0 3a n dt h et h o u g h to fu n i o nt r a n s i t i o nl i q u i dp h a s ep r o l i f e r a t i o n j o i n i n g t h ej o i n i n go fa 1 2 0 3 x a 1 2 0 3w a ss u c c e e d e d i nt h ee x p e r i m e n t ，t h er i g h t m i c r o w a v e j o i n i n gd e v i c ea n dt h ek e p tw a r ms t r t i c t u r ew e r ed e s i g n e d ；t h em i c r o w a v e f i e l di n t e n s i t yd i s t r i b u t i o nw a sa t t e m p t e dt ot e s t ；t h em i c r o w a v ea b s o r t i o np r o p e r t yo f t h em a t r i xa n dt h ed i f f e r e n tt e m p e r a t u r eh e a t i n gm e c h a n i s m so fd i f f e r e n ti n t e r l a y e r s w e r es t u d i e d ，u n d e rw h i c ht h ei n t e r m e d i a t em i c r o w a v eh e a t i n gs y s t e mw e r es e t ；t h e b u r i e sf u n c t i o nw h i c ht h em e a s u r ew ec a r r i e do nw a sd i s c u s s e d ；t h es e ma n dx r do f d i f f e r e n t i n t e r l a y e r s w e r e a n a l y s e d ；d i f f e r e n tj o i n t s u r f a c e sw e r ea c h i e v e db y c o n t r o l l i n gt h e e x t e n to fo x i d a t i o na n de x p a n s i o np r o c e s st h r o u g ha n a l y s i so ft h e c h a n g e so ft h em a s so f a l s ia l l o y t h er e s u l t si n d i c a t e d ：( 1 ) t h er e s p e c t i v es u i t a b l et e m p e r a t u r em i c r o w a v eh e m i n g m e c h a n i s m so fa c t i v ea 1p o w d e ra n ds ip o w d e ri s ：1k w ( 2 0 m i n ) - - - 2 k w ( 3 0 m i n ) ， 2 k w ( 4 0 m i n ) - - - - 3 k w ( 2 0 m i n ) ；( 2 ) b u r i e sc a ns l o wd o w nt h er a t eo fh e a te x c h a n g ea n d c o o l i n g ，w h i c hc a np r o m o t et h es p r e a do ft h em a t e r i a lt oa c h i e v es u c c e s s f u lj o i n i n g ； ( 3 ) a ip o w d e rt r a n s f e r e dt h eh e a tt ot h ea 1 2 0 3m a t r i x ，w h i c hr a i s e dt h ec a p a c i t yo f m i c r o w a v ea b s o r p t i o no fa 1 2 0 3a n dp r o m o t e dt h ed i f f u s i o na n do x i d a t i o nf r o m i n t e r l a y e rt ot h em a t r i x ，t h ef o r m a t i o no fs o l i d - l i q u i dm i x e dt h ej o i n i n g ；( 4 ) s ip o w d e r r e a c t e dw i t h0 2t og e n e r a t es i 0 2i nt h em i c r o w a v ei n c r e a s i n ga n dd e c r e a s i n gp r o c e s s ； t h eo x i d a t i o np r o d u c t ss i 0 2w a saf l e wp h a s ew i t hh i g ha c t i v i t y , c o n d u c i v et ot h e o c c u r r e n c eo fi n t e r f a c i a lr e a c t i o n ( 5 ) u n d e rd i f f e r e n tm i c r o w a v ep o w e ra n dt h e e x t e n s i o no ft i r n e ，t h em a s so fa l s ia l l o yp o w d e rc h a n g e si na nu p w a r dt r e n d ，a n dt h e g r e a t e rt h em i c r o w a v ep o w e r , t h eg r e a t e rt h ec h a n g ei nq u a l i t yo v e rt i m e c o n t r o l l i n g t h em i c r o w a v eh e a t i n gs y s t e mc a nd e t e r m i n et h ed e g r e eo fi t so x i d a t i o na n dt h e s w e l l i n g o x i d a t i o n i no r d e rt o g e tt h ea i s ia l l o yi n t e r f a c e ，t h ea p p r o p r i a t e t e m p e r a t u r ee x p e r i m e n t a ls y s t e mt oa d o p tw a s ：lk w ( 4 0 m i n ) ；t og e tt h em u l l i t e i n t e r f a c et ob et a k e nu ps y s t e mi s ：2 k w ( 6 0 m i n ) k e y w o r d s ：m i c r o w a v e ，j o i n i n g ，a 1 2 0 3 ，a l ，s i ，a l - s i - 1 - - - j 一 剐罱 先进结构陶瓷材料作为一种新型结构材料，其以耐高温、高强度、超硬度、 耐磨损、抗腐蚀以及重量轻等优越性能特征，而受到普遍关注，在汽车、航空等 领域逐步得到应用。但随着器件大型化、形状复杂化和高可靠性的要求，工程结 构陶瓷材料其脆性大、强度分散和加工困难三个固有的缺点导致其抗冷热冲击能 力差、难以制成尺寸大、形状复杂的构件，从而也限制了其应用范围。由此可见， 在现阶段技术水平下，将陶瓷连接起来制成复合构件，充分发挥两种或两种以上 材料的性能优点，弥补各自的不足，对于改善结构件内部应力分布状态、降低制 造成本、拓宽陶瓷材料的应用范围具有特别重要的意义。陶瓷连接技术一方面使 复杂陶瓷构件的制备成为可能，大幅度降低了昂贵的加工费用；同时简单形状的 部件容易进行缺陷检验和检测，可大大提高陶瓷部件的可靠性。 然而陶瓷材料由于其化学键的特点，往往具有脆性大、强度分散和加工困难 的缺点，导致其难以制备或加工成大尺寸、形状复杂的构件，从而限制了其应用 范围。近年来，通过连接基本形状的陶瓷构件来获得大尺寸或复杂形状的陶瓷制 品的陶瓷连接技术越来越受到人们的重视。 连接工艺研究的重点在于：根据不同的连接基体寻找一最合适的中间连接层 材料，并由此选定合适的连接方法，制定相应的连接工艺制度( 如时间、温度、 压力及气氛等) ，以获得高强度、高可靠性的陶瓷连接体。并希望在高温下仍保 持相当的连接强度及具有一定的耐热、耐磨、耐蚀和一定的抗热震性。 氧化铝陶瓷具有硬度高、耐腐蚀、耐磨损、电绝缘性好等一系列优良的物理 化学性能，被广泛应用于电子、化工、机械、冶金等领域然而其固有的脆性增 大了陶瓷整体结构件的制作加工难度，影响了其在工程中的实际应用因此，实 现氧化铝陶瓷之间的连接，不仅具有理论意义，而且具有很高的实用价值。其中 氧化铝含量在9 2 9 6 的9 5 a 1 2 0 3 陶瓷已成为生产陶瓷基板及集成电路封装管 壳的一种基本陶瓷材料，也是电真空陶瓷的主要瓷种，实现9 5 a 1 2 0 3 陶瓷的连接 将对于降低制造成本，拓宽陶瓷材料的应用范围具有十分重要的意义。 微波烧结和传统烧结得到的产物在性能、结构、相组成等方面都有所不同。 微波烧结技术的应用研究热点主要集中在制备陶瓷材料，陶瓷相微波连接和微波 非热效应等方面。陶瓷微波连接与其它陶瓷连接工艺相比，以其独有的选择性加 热、加热迅速、耗时短、节约能源、成本低等优点，吸引了国内外众多学者的关 注，并获得了较快的发展。 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的 研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表 或撰写过的研究成果，也不包含为获得鑫鲞盘堂或其他教育机构的学位或证 书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中 作了明确的说明并表示了谢意。 学位论文作者签名：专研t 签字日期沙，7 年多月z 二1 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解鑫鲞盘堂有关保留、使用学位论文的规定。 待授权苤鲞盘堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校 向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。 ( 保密的学位论文在解密后适用本授权说明) 学位论文作者签名： 签字日期：加0 年 多绣 l 多月7 同 导”警数卜球 签字同期：口归? 年乙月2 同 第一章文献综述 第一章文献综述 在实际应用方面，陶瓷材料以其优异的抗高温、抗热震、耐磨等性能被誉为 2 1 世纪最有希望的结构材料，世界各国正在大力研究与开发陶瓷材料。然而， 其应用与发展越来越依赖于成型技术的进步。实际构件对尺寸、形状和成本的需 求千差万别，已有的陶瓷材料成型方法难以满足具体应用的需要，所以阻碍了先 进陶瓷在更多领域的更深层次的应用。为了能够达到实用的目的，陶瓷材料也必 须开发出与之相适应的技术。近年来，陶瓷材料的连接技术，即通过连接基本形 状的陶瓷构件来获得大尺寸或复杂形状的陶瓷制品，越来越受到人们的重视。 对于不同材料之间如陶瓷与金属、玻璃与金属、陶瓷与玻璃等的连接过程都 涉及到新的界面的形成，因此在界面处或多或少的存在材料性能的不连续。材料 的连接主要是如何控制和改变连接界面的性能以获得高性能的接头。通常情况 下，在连接界面处材料有以下一些性能发生突型l 】：( 1 ) 陶瓷与其他材料晶格不 匹配；( 2 ) 在陶瓷与金属连接界面处存在电子结构和价键结构的突变；( 3 ) 材料在 界面处弹性模量的改变；( 4 ) 两种材料在界面处热力学不平衡将倾向于发生反应， 形成新的界面产物；( 5 ) 材料之间的热膨胀系数的不同。 p a s k 2 j 认为要得到陶瓷与其他材料之间的高强度结合，须满足以下几个基本 条件：( 1 ) 在整个界面上原子间充分接近产生范氏吸引力( 物理结合) ，或产生连续 的电子结构( 化学结合) ，从而形成致密的界面；( 2 ) 在界面处存在稳定的热力学平 衡；( 3 ) 界面处应力尽可能的小。条件( 1 ) 对固相之间可以通过加压而对固相和液 相可通过液相在固相表面上的润湿及扩展开来实现。条件( 2 ) 可以通过界面反应 及界面相和基体之间的溶解得到保证。 陶瓷构件的连接方法可分为两大类：烧结体的连接与坯体的连接。 1 1 陶瓷坯体的连接 1 1 1 陶瓷坯体连接的进展 陶瓷的坯体连接技术一直广泛应用于传统粘土基陶瓷工业中用来制造各种 形状构件，由层状粘土结构中的碱性离子产生的塑性使得这类陶瓷的坯体连接比 较容易。然而到了近代，先进陶瓷的粉末或是浆料被用于制造高性能陶瓷，陶瓷 材料在各个方面的性能上有很大的提高，但是由于先进陶瓷料的瘠性，他们的坯 第一章文献综述 体不能像传统陶瓷那样报方便的连接起来，所以在运用上受到了很大的限制，直 到近年来的研究才验证了陶瓷材料的坯体连接的可行性”j 。 目前陶瓷坯体连接最常用的就是扩散连接，即主要利用母材的塑性形变使 两表面紧密接触，便于原子的吸引和扩散，使两种陶瓷材料结合在一起。这种扩 散连接机理类似于压制烧结机理，即：( 1 ) 塑性屈服引起突出部位的塑性变形；( 2 ) 在表面和接触区之间发生表面扩散：( 3 ) 在表面和接触区之间发生体扩散：( 4 ) 宏观表面在接触区的致密部消失，形成界面：( 5 ) 在界面和接触区之间发生晶界 扩散；( 6 ) 在界面和接触区之间发生体积扩散；( 7 ) 强化蠕变。 圉】- i a l 2 0 3 和z r 0 2 坯体连接的s e m 圉 f i g l - is e mp h o l o m i “o g r a p h so f a l 2 0 3 拍dz r 0 2 j o i n e db yg r e e n b o d i e s 传统粘十基陶瓷中，粘士坯体的塑性使得坯体连接相对比较容易，所卧陶瓷 的坯体连接被广泛使用。到了近代，先进陶瓷的粉末或是浆料被用于制造高性能 陶瓷，陶瓷材料在各个方面的性能上有很大的提高，但是由于先进陶瓷料的瘠性， 他们的坯体不能像传统陶瓷那样根方便的连接起来，所以在运用上受到了很太的 限制，直到近年来的研究才验证了陶瓷材料的坯体连接的可行性。 九十年代初，美国橡树岭实验室的f o l e y 等人hj 采用古高分子粘接剂的陶瓷 料浆结合冷等静压的方法，成功的将s i j n ，和s i c 陶瓷的坯体连接后烧结 ( c o s i n t e r i n g ) 证实了先进陶瓷坯体连接的可能性。 德国s t u t t g a r t 大学口1 学者将定量的明胶结合剂分散在a 1 1 0 3 料浆中，进行 了注浆坯体在湿态下进行无压连接( s h a p e f o r m i n g ) 的研究。他们的研究主要立 第一章文献综述 足于一种新的含胶陶瓷坯体胶态成形的方法，它需要加入的胶质形成强的凝固体 才能做到。所用的胶质是一种蛋白质，主要由氨基酸组成。使温度、盐分、和使 胶体膨胀最大而又远离胶体等电子点( i e p ) 的p h 值的之间达到均衡，使加入 的胶体达到陶瓷坯体胶态成型的要求。 基于使用胶粘剂的坯体粘性成型处理方法，陶瓷材料的坯体连接技术近来有 了一些进展。陶瓷材料能够成功的坯体连接的一个关键因素就是使用含有胶粘剂 的陶瓷料浆作为连接材料。这种连接材料具有粘土的塑性特征，对连接母体有很 好的润湿和连接效果。坯体连接工艺会产生很少的气孔与缺陷，确保了高质量接 点的形成。文献【6 1 将膨润土2 0 份与天然橡胶胶乳1 0 0 份、聚醋酸乙烯胶( 5 0 ) 1 2 0 份，表面活性剂( 1o ) 石膏2 0 0 - 2 5 0 份、增粘树脂分散剂2 0 份和适量水混合。 可制成陶瓷粘接剂。 美国的k c g o r e t t a 等人【7 】用5 0 v 0 1 a 1 2 0 3 5 0 v 0 1 z r 0 2 的中间层，利用 1 2 0 0 1 3 5 0 的超塑性变形将4 0 v 0 1 a 1 2 0 3 6 0 v 0 1 z r 0 2 ( v s z ) 连接起来。原始 粉末的粒径均小于2 0 n m 。研究表明，这种连接技术不需要任何的表面处理技术， 连接体颗粒的增长很小所以颗粒致密无气孔。 近年来，国内一些研究人员将反应烧结技术引入到陶瓷材料的坯体连接中， 利用中间相在烧结过程中与其它组分或与烧结气氛之间发生化学反应，获得与坯 体物理性质相同或相似的陶瓷组分，从而提高接点强度。该方法可以使用低成本 原材料，并可合适地引人第二相，在相对较低的温度下实现烧结，特别是材料在 烧结后收缩极小，实现近尺寸烧结，还可以通过坯体的原始形状来获得构件的最 终设计，从而大大降低成本。与传统的陶瓷工艺相比，反应烧结工艺的主要的特 点如下：处理温度低、时间短、不需特殊及昂贵的设备；反应烧结坯件不收缩， 尺寸不变；成型方法多( 挤压、注射、压制及浇注等) 。由于素坯成型方法较多， 而且烧结过程无需加压，就可以制备大尺寸、形状复杂的制品。 至今为止，关于先进陶瓷的坯体连接技术报道并不是太多，目前已有的坯体 连接研究所用待连接材料从碳化物陶瓷或氮化物陶瓷的逐渐转变为常用的具有 优良性能的氧化铝或氧化锆陶瓷的坯体连接。其主要连接机理是利用界面反应和 扩散而形成的，在扩散连接中，一个重要的工艺措施就是采用中间层。采用中间 层的出发点有两个，_ 是缓减被连接相的热胀系数不同而引起的残余应力，二是 控制界面反应，抑制或改变界面反应产物，其根本目的都是提高接头的性能。针 对近年来常用的氧化铝与氧化锆陶瓷基体，近年来国内研究人员正在逐步探索各 种中间相的连接效果。主要有以下几种：z r a i 中间相连接，插层连接，梯度连 接，坯体塑性连接等等。然而与此同时，坯体连接的缺点仍然不容忽视。采用陶 瓷坯体的无压连接法连接异种陶瓷时，常常由于基体的物理性能如热膨胀系数、 第一章文献综述 密度、弹性模量、烧成收缩、颗粒大小等差异较大，在接点处存在残余应力等缺 陷，容易导致连接体的开裂。 1 1 2 陶瓷坯体连接的机理 1 1 2 1 界面反应 界面反应一直是陶瓷扩散连接中最受重视的问题，它包括界面结构和形成机 理两方面内容。扩散连接以连接相区分，可分为以金属相连接陶瓷和以陶瓷相连 接陶瓷两种，前者起步较早，相关研究比较成熟；后者是为改善界面高温性能近 十几年发展起来的新技术，其界面反应和机理认为是陶瓷固相反应和高温扩散机 制，更深层次的针对性研究报道较少。一般认为与前者有相近的规律。 1 1 2 2 界面结构 界面结构是指界面反应产物及其分布形态。取决于连接相和被连接相的组 成。就用金属中间相连接陶瓷而言，已经发现s i c 一般生成该金属的碳化物、硅 化物乃至三元化合物；s i 3 n 4 与金属的反应一般生成该金属的氮化物、硅化物甚 至三元化合物，但与f e 、n i 及f e - n i 合金则不生成化合物；a 1 2 0 3 与金属的反 应一般生成该金属的氧化物、铝化物甚至三元化合物；z r 0 2 与金属的反应一般 生成该金属的氧化物和铝化物。此外，研究还发现，生成化合物的类型也与连接 温度和时间以及连接气氛有关。ts h i m o o 和ko k a m u m 在对s i s n 4 与t i 的高温 反应研究中就发现，当分别采用氮气和氖气作保护气氛时，即使采用相同的连接 温度和连接时间，所得到的反应产物也不相同；而同在氮气或氖气气氛下，当连 接温度和连接时间不同时，所得到的反应产物也不相同，甚至于有些产物只是 中间产物，最后还要在扩散反应过程中消失。实践证明，在由陶瓷与金属组成的 扩散偶中，具体生成何种产物，只能通过试验并采取微观分析手段加以判定。然 而，有时反应产物的尺寸较小，且多相同时存在，再加上相的成分本身变化范围 较大，这些都给反应产物种类的确定带来了困难。因此各种微观分析手段必须 综合运用。 反应产物的分布形态与具体连接工艺有关。研究表明，某一产物既可以层状 形式存在也可以断续分布，还可以粒状形式混杂在其它产物中。mn a k a 和jc f e n g 在s i c 与t i 的扩散连接研究中就发现，作为反应产物的t i 5 s i s c 。和t i c ， 当连接时间较短时，二者相互混杂在一起；当时间较长时，除了相互混杂的 t i 5 s i 3 c 。+ t i c 之外，在s i c 侧还出现了层状的t i 5 s i 3 c x ，在t i 侧则出现了断续的 t i c ；而当t 被完全耗尽并经足够长时间后，无论是相互混杂的t i 5 s i 3 c 。+ t i c ， 还是层状的t i 5 s i s c x 及断续的t i c ，均作为中间产物而消失。因此，合理控制反 4 第一章文献综述 应过程就能控制反应产物及其分布形态，亦即控制接头的界面结构。表1 - l 给出 了些陶瓷与金属扩散连接的反应产物或界面结构。 表i 1 陶瓷与金属扩散连接的反应产物或界面结构 ：! 垒! ! 兰! ：! 1 2 1 宝垡j 宝! ! 垒塑宝璺m i 已l 坐e 出i i i f m s i o n 坠，n 尘n g m2 1 宝翌巴i ! i 璺2 q 翌璺垒! i - _ _ l - l _ _ l l l _ - _ l l - l - - _ _ l _ _ _ - - _ _ _ _ _ _ - _ i 一- l o _ l - o o - l _ _ - o o 。一 母材与夹层的组配 温度k时间1 ( s 压力m p a气氛m p a 反应产物或界面笙构一 s i c v s i c1 5 7 3 7 27 31 3 3 s i c n 3 s i 3 c x v 2 c v s i c z r s i c15 7 3 3 67 31 3 3 s i c z r c z r 3 s i 3 c f f z r s i c 厂t 彰s i c 17 7 3 2 8 87 31 3 3 s i c 瓜c t a 3 s i 3 c 。t a s i c c r s i c 15 7 31 87 31 3 3 s i c c r 3 s i 3 c x c r a c a c r s i c n b s i c 17 9 07 27 31 3 3s i c 胁c n b 3 s i 3 c 。胁 s i c t i s i c 16 7 33 67 31 3 3 s i c t i c t i 3 s i 3 c x t i s i c m o 1 9 7 33 62 02 0 0 0 0 s i c m 0 3 s i 3 c 。m o s i c n i 1 2 2 35 40 a r n i 2 s i + c n i ，s i s i c a i s i c 8 7 37 25 04 0 0 0 a i - s i - c - o 非晶相 s i c a i 。m g s i c 8 3 47 25 04 0 0 0 m g s i ，m g o ，a 1 m g s i c f e 2 6 n i 1 2 2 31 4 40a r ( f e n i h s i + c s i 3 n 以i 1 3 2 37 20 a rt i nt i 3 s i 3 s i 3 n n i 2 0 c r s i 3 n 4 1 4 7 33 65 0o 1 4 c r nn i 3 s i 2 s i 3 n a v m o 15 2 35 4 2 05 v 3 s iv s s i 3 s i 3 n d l n c o l o y 9 0 9 1 2 0 01 4 4 2 0 0a rt i nn 1 6 n b 6 s i 7 s i 3 n 4 e c y7 6 8 13 2 33 6 0 0l t a 3 s i c 2 ( c o c r ) s s i c 2 s i ，n 4 a i s i31 6 1 2 7 38 6 4 7l 伊；t - f e 固溶体 n i c z r o ，z r1 2 7 33 6 2l n i n i 3 e r c - z r 0 2 m - - z r 0 2 z r 0 2 n i c r - ( o ) z r 0 2 1 3 7 31 0 8 1 01 0 0 n i o l ，x c r 2 0 3 y z 旬2 z a 1 2 0 j c u a i 2 0 3 1 3 1 38 6 4 5o 1 3 c u 2 0c u a l 0 2 a 1 2 0 3 厂i a - 3 3 t i 13 7 31 8 3o 13t i a lt i 3 a it a 3 a ! a 1 2 0 f f c u a i s i10 1512 7 318 3 0 2 c u 2 0c t l a l 0 2c u a l 2 0 4 垒1 2 q 2 1 型【! 】塑i ! 卫 ! ! 曼i! ：! ： ! i ：2 ： ! | q ：! 淦k ： 1 2 2 3 形成机理 形成机理是指界面结构的形成条件和过程。主要涉及化学反应、反应热力学 和反应动力学等内容。在陶瓷与金属的扩散连接中，反应产物的形成都是按定 5 第一章文献综述 的化学反应进行的，反应能否发生则由其热力学条件所决定。从目前的研究情况 来看，一方面是根据已经形成，还取决于动力学条件。sdp e t e v e s 等人在对s i 3 n 4 与n i 2 0 c r 合金的扩散连接研究中确定的产物来书写可能形成该产物的化学反 应式，同时用标准自由能变化来解释试验结果；另一方面则与相图相结合，根据 已知反应的标准自由能变化来推测可能出现哪些产物。但应注意的是，尽管在热 力学上指出一个反应的标准自由能变化越负，与该反应对应的产物形成的可能性 越大，但在试验条件下能否就发现，在14 7 3 k 时，c r n 、c r 2 n 、c r s s i 3 和n i s s i 3 四种化合物的生成自由能均为负值且以c r s s i 3 为最负，但在反应产物中并未观 察到c r s s i 3 的存在，只观察到了另外三种化合物，并且这三种化合物的生成次序 也不是按生成自由能的高低排序的。 反应产物的形成过程比较复杂，需要大量的试验才能确定。即使对同种陶瓷 与同种金属的反应进行研究，由于不同的研究者所采用的材料成分、连接工艺及 分析手段等差异也会得出不一致的结论，尤其是反应产物的生成次序更难于确 定。反应产物一旦出现，随即面临的就是成长问题。目前，在对各种陶瓷与金属 的扩散连接研究中，试验结果都证实整个反应层的厚度随温度和时间的变化关系 符合抛物线规律，而且反应产物中单个反应层的厚度也可用抛物线规律来描述。 通过对不同温度和不同时间的连接条件下所得到的有限的试验数据进行处理，即 可得到反应产物成长的速度常数和激活能，从而建立反应产物成长的数学表达 式，以此就可对给定条件下反应产物的成长情况进行模拟计算。 1 1 3 陶瓷坯体连接的优缺点 先进陶瓷的坯体连接技术提供了一种获得以现有的技术难以成型的陶瓷构 件的制造方法，其工艺简单，只需将陶瓷料浆敷于需要连接的陶瓷坯体表面，把 他们像“三明治 那样连接在一起共同烧结。异种属性陶瓷的连接，还可以使不 同部位陶瓷适用各种具体环境条件的要求，对制造大异型和陶瓷构件的多功能化 都具有重要意义。 与陶瓷烧结体连接相比，坯体连接有以下几个显著的优点：一是成型与连接 过程十分简单，不需要任何特殊的实验设备，因此使用这种技术来制造复杂形状 或大尺寸构件经济实用：二是由于中间层与被连接母材材料成分相同，连接过程 中的残余应力小，同时也保证了烧结收缩的一致性；三是烧结反应后中间层的微 观结构与母材相似，因此接点的机械性能高，甚至可与母材材料相比较。 总体来讲，将两种不同的陶瓷在坯体状态下连接成本较低，操作较简单，人 们在这方面进行了大量的工作，也取得了显著的成果，尽管如此，界面反应研究 的理论性、残余应力分析的准确性、接头性能评定的可比性及连接工艺的实用性 6 第一窜文献综述 等方面还有待深入研究。目前仍存在很多问题：首先两种陶瓷的颗粒大小和其生 长习性的不同，不利于形成相互镶嵌、致密的界面层；其次烧成收缩和热膨胀系 数的不一致，会导致界面应力，不利于连接；最后烧成温度范围的不一致，会限 制连接体系或初始颗粒尺寸等。这些方面，是陶瓷坯体材料连接技术中难以克服 的缺点。 1 2 陶瓷烧结体的连接 相对于坯体连接方法，烧结体的连接能形成较高强度的接点，尤其在异种 陶瓷的连接方面极有发展前景，所以成为近年来各国争相研发的重点。烧结体 的连接方法主要包括：钎焊澍鲫i 、固体连接法【1 0 j 、熔接法 1 1 - 1 2 j 、燃烧反应法【1 3 j 及近些年发展起来的微波加热连接法 1 4 - - 1 6 1 等，如图1 - 2 。 图1 2 陶瓷材料的各种连接方法 f i g l 一2t h ec e r a m i cj o i n i n gm e t h o d s 1 2 1 陶瓷的钎焊连接法 钎焊是通过熔化的钎料润湿被连接材料而形成接头，在连接过程中被连接母 材可以保持不熔化，因此在连接性能差异较大的材料和对熔化敏感的材料时有其 独特的优点。陶瓷钎焊主要是由于陶瓷与焊料之间发生相互扩散，反应及机械作 用的结果i 用。扩散可以归为两种：一种是陶瓷组元向液态钎料中的扩散，即通常 第一章文献综述 说的溶解；另一种是钎料的组元向陶瓷基体中的扩散。陶瓷组元向钎料中的适当 扩散能大幅度改善润湿程度，这样对接头的性能改善有利，但陶瓷基体的过量溶 解会改变钎料的性能，影响接头质量。钎焊时钎料组元向陶瓷中的扩散及与陶瓷 的反应对获得良好接头性能具有重要作用。陶瓷与钎料的反应与扩散会在界面处 形成一个扩散层。其产生的原因可能是：一是对于烧结陶瓷体，一般都存在一定 量的空隙，由于毛细现象而引起机械渗透；二是钎料中的某些组元与陶瓷在高温 下有一定的有限互溶；三是钎料中的某些元素( 特别是活性元素) 与陶瓷反应引 起这些元素的扩散。 对于先进结构陶瓷，钎焊是一种比较合适的方法。新发展的活性钎焊方法基 本上都适用于各种陶瓷及陶瓷基复合材料的连接。比较成熟的银铜钛钎料更具有 广泛的适用性可以用于连接各种陶瓷及其复合材料【i s 】。 钎焊连接新型结构陶瓷时的主要不足是钎焊接头的强度低于母材以及异种 材料接头中因热膨胀系数的不匹配而产生的应力问题和一般钎料钎焊耐高温材 料时接头的耐热性能不足等问题。结构陶瓷性能比较稳定，所以陶瓷焊接技术的 关键在于如何使金属能够浸润陶瓷材料。下面主要介绍上述这几个方面国内外的 最新研究成果和常用的方法。 钎料是钎焊中的重要因素，它的性能在很大程度上决定了钎焊接头的质量。 一般来说，钎料应该具备以下一些特性【l8 】： 1 钎料能很好的润湿陶瓷表面。这是钎料能钎焊陶瓷所具备的基本条件。 2 在钎焊温度下有适当的流动性，以保证在毛细作用下的流动和使钎料完全 铺开。如果流动低，钎料填不满缝隙；流动性太大，钎料容易流散。 3 钎料中的合金元素在钎焊温度下必须有低的挥发性。 4 与陶瓷有适当地相互扩散、反应和溶解能力。 5 避免与陶瓷基体反应形成低熔点或高熔点产物以及脆性产物。低熔点产物 会使陶瓷基体出现熔蚀缺陷；高熔点产物会使钎料流动性降低；脆性产物会使接 头性能变坏。 6 能满足钎焊接头机械、物理及化学性能要求。 1 2 1 1 活性金属法 固体表面的润湿性或者扩展性与固体、液体和气体之间的表面能或晁面能有 关。由于氧化物液体具有比固体金属低的表面能，因此就有润湿金属的倾向，相 反，润湿性就差，不能够在陶瓷表面扩展开。但是当添加某种元素时，界面能是 可以减小的。图1 3 表示将t i ，c r ，s n 和i n 等金属加于a 1 2 0 3 表面存在的液体 镍时的界面能的变化。t i 的添加使界面能急剧降低，这可能是由于界面上的t i 第章文献综述 的选择性吸附而形成钛的氧化物所致。表1 2 为在较高温度与强腐蚀环境中能使 用的钎接材料及其连接条件。活性金属钎焊法虽然简单便捷，但一般情况下要求 在真空或纯度很高的惰性保护气体中进行，成本过高。 表1 2 活性金属法的嵌入材料及其连接条件 t a b l el - 2j o i n i n gc o n d i t i o n so f a c t i v em e t a lb r a z i n g 嵌入材料 大体钎材料 接温度 体系高熔点 石墨a 1 1 0 3( ) 金属 t i v c r1 5 5 0 1 6 5 0 x x t i z r t a】6 5 0 一2 1 0 0 x t i z r g e1 3 0 0 1 6 0 0 x ti z f n b1 6 0 0 一17 0 0 t i z r c r1 2 5 0 一1 4 5 0 x t i z r b 1 4 0 0 l6 0 0 t i v n b1 6 5 0 t 卜v k l o1 6 5 0 x 注x 表示能连接。 昂：乏毋妻孥：旁叠，略 图1 3 添加元素对存在于a 1 2 0 3 表面的液体镍的界面张力的影响 f i g l 一3t h ei n f l u e n c et ot h el i q u i dn i c k e le x i s t e do nt h ea 1 2 0 3s u r f a c eb ya d d e de l e m e n t 1 2 1 2 陶瓷熔合法 陶瓷熔合法是用比要连接的陶瓷熔点还低的氧化物混合系材料作为嵌入物 的一种方法，更多使用于陶瓷与金属的连接。a 1 2 0 3 c a o m g o s i 0 2 ， a 1 2 0 3 m n o s i 0 2 为使用的代表性氧化物。前者为陶瓷与耐热金属在1 2 0 0 c 以上， 后者为陶瓷与铁合金在1 1 4 0 ( 2 以上连接时使用。有时也使用较低熔点( 11 0 0 1 2 以 下) 的b 2 0 3 c a o s i 0 2 - z n o 系氧化物。玻璃作为更低熔点的氧化物在密封连接时 9 第一章文献综述 采用。这方面连接的实例，有a 1 2 0 3 与m o 连接时使用a 1 2 0 3 c a o m g o m n o s i 0 2 氧化物作为嵌入物的，有透光性的a 12 0 3 与n b 或t a 封接时使用结晶状被璃 ( c a o a 1 2 0 3 一m n o b 2 0 3 ) 等氧化物混合系的。此法的连接机理可认为是在a 1 2 0 3 侧产生a 1 2 0 3 向嵌入的熔融氧化物中溶解的迁移层和在金属侧产生了金属氧化 物与熔融氧化物形成的迁移层的连接。 1 2 1 3 氧化亚铜法 氧化亚铜法是将c u 2 0 粉末( 粒径2 - s m m ) 做成嵌入材料进行陶瓷( a 1 2 0 3 ， m g o ，z r 0 2 ) 之间或与金属间的一种连接方法【2 0 1 。此方法利用c u 2 0 向c u 还原后 与a12 0 3 发生反应生成c u a l 0 2 这一性质实现连接的，不仅在真空中而且在大气 中都能进行【2 1 ) 。在进行a i2 0 3 与钢的连接时，认为在a i2 0 3 界面上形成了f e o a 1 2 0 3 的尖晶石。 1 2 1 4 超声波法 超声波法是利用超声波振动所引起的表面磨擦功能与搅拌等作用直接对陶 瓷( 玻璃和a 1 2 0 3 等) 用钎料( s n p b 合金) 进行钎焊的一种方法【2 2 】。钎料以s n p b 为主并添加z n ，s b 系金属。在添加z n 时，连接过程为z n 向玻璃中进行扩散的 连接，空气中的氧对连接有较大影响。 1 2 2 陶瓷扩散焊接 扩散焊接也称为固态焊接，因为此工艺的目的在于使焊接零件的材料在未熔 化的情况下完成焊接。扩散焊接工艺有两点主要要求：( 1 ) 连接表面必须是尽可 能最紧密的连接；( 2 ) 扩散焊接的材料间必须充分扩散，以在适当的时间内，形 成一连接件。它的技术不算太成熟，研究表明使用颗粒较小的陶瓷材料容易连接 成功，而以金属作为中间材料可提高焊接强度。它也难于运用于金属和陶瓷材料 之间。 1 2 3 陶瓷熔焊接 运用电弧焊，电子束焊，和激光焊熔融焊接。这种方法能够成功，但有较大 缺陷，如有的材料不能熔融或之后会产生裂纹，又或有的熔融时有较大蒸汽压， 易形成缺陷。 1 2 4 蒸发涂膜工艺 金属化方法中的一种是采用金属蒸散法沉积表面涂层，以改善陶瓷的浸润 1 0 第一章文献综述 性。这种方法早已为人所知，但是，这处金属化方法似乎还未广泛应用于实践。 此工艺的关键是在焊接前通常沉积层活性金属涂层如像钴金属涂层于陶瓷表 面上。 总的来看，以金属为连接相的连接方法简便易行，但由于金属的熔点低，使 这种连接体的耐温性受到限制，不利于充分发挥陶瓷材料的高温特性；以陶瓷为 连接相的连接技术，由于陶瓷材料较强的化学键性，质点移动需依赖于高温，实 施连接时都要依靠高温下加压实现，工艺复杂性及可适用的构件形状都限制了这 类技术的推广应用。不仅如此，任何的烧结体连接，为增加连接时的接触面积， 在连接前一般都要进行表面处理，陶瓷材料的脆硬特性，都不同程度增加了各种 烧结体连接技术的工艺成本。这些方面，是陶瓷烧结体材料连接技术中需要加以 克服的缺点。 1 2 5 陶瓷烧结体连接的其他方法 总的来说，以金属为连接相的连接方法已趋于成熟，以陶瓷为连接相的连接 技术，目前尚处于开发阶段，报道并不是太多。近年来有一些比较新的连接技术 得以发展，比如黏合剂黏结法，此法虽然具有工艺简单、效率高和成型性能好的 特点，但是粘接得到的接头强度相对较低、耐热性差；自蔓延高温合成连接法， 虽然连接材料的配方、压力、气氛等均易于控制，反应时间短，能显著地减少连 接时间，但是反应速度太快，焊料燃烧时间难于控制，从而也就使界面反应难于 控制。 此外先驱体热分解法【2 3 j 、燃烧反应法f 2 4 】、e p d 法 2 5 - 2 6 等等。这些方法虽然 也能生成有一定强度的接点来达到连接陶瓷材料的目的，但连接过程中会产生较 多的缺陷、气孔以及较大的剩余压力，同时，其工艺过程比较麻烦且花费较大， 所以限制了它们的大规模推广与应用。因此研究新的烧结体连接技术势在必行。 1 3 微波应用及微波连接 1 3 1 微波的应用