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传感器与检测技术(第2版)[徐科军主编]

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传感器 检测 技术 徐科 主编
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内容简介:
4.5 光栅传感器,4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术,什么是光栅,在玻璃尺(或金属尺)或玻璃盘上进行长刻线的密集刻划,得到间隔很小的黑白相间的条纹,没有刻划的地方透光(或反光),刻划的发黑处不透光(或不反光),这就是光栅,其中刻线称为栅线。 a 栅线的宽度 b 缝隙的宽度 W 光栅的栅距,4.5 光栅传感器,4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术,莫尔条纹形成原理,横向莫尔条纹的斜率,莫尔条纹间距,莫尔条纹的宽度BH由 光栅常数与光栅夹角决定,4.5 光栅传感器,4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术,莫尔条纹技术的特点,调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度,起到了放大作用,又提高了测 量精度,例:当,时,得,莫尔条纹的移动量、移动方向与光栅的移动量、移动方向具有对应关系。 光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻线的局部误差和周期 误差对于精度没有直接的影响,例如:设 ,接收元件为10 x10mm的硅光电池,则在接收范围内将有500条栅线,由此,使得任意栅线的栅距误差或瑕疵,对整个莫尔条纹的位置和形状影响很小,莫尔条纹技术的特点,光栅传感器的结构,光栅传感器由光源、透镜、光栅副(主光栅和指示光栅)和光电接收元件组成,光栅传感器光源,钨丝灯泡: 输出功率较大,工作范围较宽(-40到+130) 与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时,使用寿命将降低。 半导体发光器件: 转换效率高,响应特征快速。 如砷化镓发光二极管,与硅光敏三极管相结合,转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns,可以使光源工作在触发状态,从而减小功耗和热耗散,光栅副:指示光栅主光栅,光电元件,包括有光电池和光敏三极管等部分。 在采用固态光源时,需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件,以获得高的转换效率。 在光敏元件的输出端,常接有放大器,通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响,4.5 光栅传感器,4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术,光栅的光路,透射光路 反射光路,1)透射式光路,1-光源 2-准直透镜 3-主光栅 4-指示光栅 5-光电元件,此光路适合于粗栅距的黑白透射光栅。 特点:结构简单,位置紧凑,调整使用方便,应用广泛,2)反射式光路,1反射主光栅 2-指示光栅 3-场镜 4-反射镜 5-聚光镜 6-光源 7-物镜 8-光电电池,该光路适用于黑白反射光栅,4.5 光栅传感器,4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术,辨向原理,单个光电元件接收一固定点的莫尔条纹信号,只能判别明暗的变化而不能辨别莫尔条纹的移动方向,因而就不能判别运动零件的运动方向,以致不能正确测量位移。 如果能够在物体正向移动时,将得到的脉冲数累加,而物体反向移动时可从已累加的脉冲数中减去反向移动的脉冲数,这样就能得到正确的测量结果,辨向光路设置,在相距的位置上设置两个光电元件1和2, 以得到两个相位互差90的正弦信号,辨向电路,正向移动时脉冲数累加,反向移动时,便从累加的脉冲数中 减去反向移动所得到的脉冲数,这样光栅传感器就可辨向,辨向电路各点波形图,4.5 光栅传感器,4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术,细分技术,提高分辨力方法: 在选择合适的光栅栅距的前提下,以对栅距进行测微,电子学中称“细分”,来得到所需的最小读数值。 细分就是在莫尔条纹变化一周期时,不只输出一个脉冲,而是输出若干个脉冲,以减小脉冲当量提高分辨力,1)直接细分,直接细分又称位置细分,常用的细分数为4。四细分可用4个依次相距的光电元件,在莫尔条纹的一个周期内将产生4个计数脉冲,实现了四细分。 优点:对莫尔条纹信号波形要求不严格,电路简单,可用于静态和动态测量系统。 缺点:光电元件安放困难,细分数不能太高,未细分(a)与细
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